Fターム[4G077PK00]の内容
結晶、結晶のための後処理 (61,211) | 縁部限定薄膜結晶成長 (49)
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Fターム[4G077PK00]に分類される特許
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β−Ga2O3系単結晶の成長方法
【課題】双晶化を効果的に抑えることのできるβ−Ga2O3系単結晶の成長方法を提供する。
【解決手段】EFG(Edge-defined film-fed growth)法を用いたβ−Ga2O3系単結晶25の成長方法であって、種結晶20をGa2O3系融液に接触させる工程と、種結晶20を引き上げ、ネッキング工程を行わずにβ−Ga2O3系単結晶25を成長させる工程と、を含み、すべての方向においてβ−Ga2O3系単結晶25の幅が種結晶20の幅の110%以下とする。
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β−Ga2O3系単結晶の成長方法
【課題】双晶化を効果的に抑えることのできるβ−Ga2O3系単結晶の成長方法を提供する。
【解決手段】EFG(Edge-defined film-fed growth)法によるβ−Ga2O3系単結晶の製造において、β−Ga2O3系単結晶をその(101)面に平行な方向に成長させ、(101)面内における<10−1>方向と成長方向とのなす角度φ(0°≦φ<90°)を90°未満とする。FZ(Floating Zone)法等の他の結晶成長方法を用いた場合であってもβ−Ga2O3系単結晶25の双晶化を効果的に抑えることができる。
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酸化ガリウム単結晶及びその製造方法
【課題】酸化ガリウム単結晶毎のドーパント含有量の再現性向上を図ることが可能な酸化ガリウム単結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】例えば、EFG(Edge Defined Film Fed Growth)法による酸化ガリウム単結晶の製造において、酸化ガリウムを含む原料の融点と、原料に添加されるドーパント酸化物の融点との差が±300℃内に設定されるドーパント酸化物を原料に添加した後、坩堝3内で溶融し、融液2に種結晶10を接触させて融液2から酸化ガリウム単結晶13を結晶成長させる。酸化ガリウムを含む原料の融点と、前記原料に添加されるドーパント酸化物の融点との差を±300℃内に設定することにより、前記原料に対する前記ドーパントの蒸発量制御が容易となる。従って、結晶成長させる酸化ガリウム単結晶に含有されるドーパント含有量の制御が容易化される。
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半導体基板及びその製造方法
【課題】GaNを結晶成長させる場合でも、転移密度が低い良質なエピタキシャル結晶成長が可能なβ―Ga2O3系単結晶からなる半導体基板、(100)面の上にGaNが成長して形成されたエピタキシャル層を有するβ―Ga2O3系単結晶からなる半導体基板、及び、これらのβ―Ga2O3系単結晶からなる半導体基板の製造方法を提供する。
【解決手段】所定の面方位である(100)面を有し、この(100)面の表面層の酸素が除去されたことを特徴とするβ―Ga2O3系単結晶からなる半導体基板とする。
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低吸湿性ハロゲン置換フッ化物シンチレータ材料、及び放射線検出器及び検査装置
【課題】陽電子放出核種断層撮影装置、シングルフォトン断層法、コンピューター断層撮影装置等に有用な、高発光量・短蛍光寿命を有するシンチレータ単結晶、並びに該単結晶の製造法の提供。
【解決手段】REaRE’bMc(F1−dXd)eで表されることを特徴とするハロゲン置換フッ化物シンチレータ材料。(REはCe,Prのいずれか1種以上、RE’はLa,Gd,Yb,Lu,Yから選ばれた1種又は2種以上、Mは、Li,Na,K,Cs,Rb,Mg,Ca,Sr,Ba,Alから選ばれた1種又は2種以上、XはCl,Br,Iから選ばれた1種又は2種以上である。)該単結晶の製造法は、前記で表される組成の融液から、マイクロ引き下げ法により単結晶を育成することを特徴とする。
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