【課題】 釜内の減圧を効率良く行い、短時間でポリマ溶液内から有機溶剤を除去する方法を提供する。
【解決手段】 反応釜中のポリマ溶液を真空設備によって減圧状態にして有機溶剤を除去する方法において、加熱部を備えた反応釜１、蒸発させた有機溶剤を凝縮させるコンデンサ４、有機溶剤を回収するレシーバタンク５、レシーバタンク内の液を抜出すポンプ６、釜内を減圧する真空設備８、及び常圧のタンク７を備え、レシーバタンクに溜まった有機溶剤をレシーバタンク内の液を抜出すポンプ（送液ポンプ）により減圧状態の系内から系外の常圧タンクに移送するポリマ溶液からの有機溶剤除去方法。 （もっと読む）

【解決手段】Ｃ_p−Ｏ−Ｃ_q（但し、ｐ、ｑは炭素数を表わし、２≦ｐ≦６、２≦ｑ≦６であり、各炭素鎖には酸素原子と共役する不飽和結合を含まない）結合を含有する炭素数４〜８の直鎖状又は分岐状の酸素含有炭化水素鎖で結合された２個以上のケイ素原子を含有し、かつ該２個以上のケイ素原子はいずれも１個以上の水素原子又は炭素数１〜４のアルコキシ基を有するプラズマＣＶＤ法によるＳｉ含有膜形成用有機シラン化合物。
【効果】従来、疎水性を向上させようとした場合には成膜速度に犠牲を払ってきたが、本発明のプラズマＣＶＤ法によるＳｉ含有膜形成用有機シラン化合物によれば、膜の疎水性と誘電率特性を確保した上で、成膜速度の低下を抑制することができる。
また、本発明のプラズマＣＶＤ法によるＳｉ含有膜の成膜方法を多層配線絶縁膜の成長方法として利用することにより、配線信号遅延の少ない半導体集積回路を安定して製造することができる。 （もっと読む）

分子層堆積法を用いて有機ポリマー又は有機−無機複合ポリマーの超薄層を基板上に堆積する。この方法は、第１の官能基を有する気相反応物を用いる。この気相反応物は表面に単官能性でのみ反応して、ポリマー鎖に一つの単位を追加する。更に、追加の気相反応物は第１の官能基とは異なる第２の官能基を有するか、又はブロックされ、マスクされ若しくは保護された官能基、又はこのような官能基の前駆体を有する。
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【課題】 熱硬化性樹脂を、効率よく有機溶媒可溶物質に分解する熱硬化性樹脂の分解方法およびリサイクル方法を提供する。
【解決手段】 本発明の分解方法では、炭素数１１〜１８の脂肪族１価アルコール、炭素数１２〜１８のアルキル基で置換されたフェノール、モノアミン、アミノアルコール、およびアミノ化合物よりなる有機化合物の群から選択された少なくとも１種と、水とを用いて、超臨界または亜臨界状態において、熱硬化性樹脂を、有機溶媒可溶物質に分解する。 （もっと読む）