【目的】 ＴｉＡｌＮ皮膜の耐摩耗性ならびに密着性を犠牲にすること無く更に耐酸化性を改善し、切削加工の乾式化、高速化に対応する硬質皮膜被覆工具を提供することが目的である。
【構成】 高速度鋼、超硬合金、サーメット、セラミックスの何れかを母材とし、金属成分のみの原子％で、Ｓｉ、Ｃｒ、Ｎｂの１種もしくは２種以上が１０％以上６０％以下、残Ｔｉで構成される窒化物、炭窒化物、酸窒化物、酸炭窒化物のいずれかで、層厚が０．１μｍ〜３μｍであるａ層と、金属成分のみの原子％が、Ａｌ：４０％越え７５％以下、残Ｔｉで構成される窒化物、炭窒化物、酸窒化物、酸炭窒化物のいずれかであるｂ層とが、それぞれ一層以上交互に被覆され、かつｂ層が母材表面直上にあることを特徴とする硬質皮膜被覆工具。 （もっと読む）

基体を被覆するための装置は、大気圧より低い圧力に維持された蒸着室、前記蒸着室に伴われた二つ以上の拡張性熱プラズマ源（１４）を含む一つ以上の配列体、及び各配列体についてオリフィス（１５）を含む少なくとも一つの注入器（１３）を含む。基体を蒸着室中に配置し、各拡張性熱プラズマ源により中心軸を有するプラズマジェットを生じさせ、同時に注入器によりプラズマ中へ気化反応物を注入して基体上に蒸着された被覆を形成する。注入器オリフィスは、全体的に均一な被覆特性を有する被覆が一般に得られるように、拡張性熱プラズマ源から特定の距離以内に位置させる。
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