【課題】下地基板を融液に浸漬させることにより下地基板の表面上に形成される結晶薄板の生産を停止することなく安定した原料の追加供給を行なうことができ、また品質の劣化やばらつきを低減するとともに結晶薄板の製造歩留まりを向上することによって、結晶薄板の生産性を向上させることができる溶融炉を提供する。
【解決手段】融液を保持するための主坩堝と、主坩堝の融液を加熱するための主坩堝加熱装置と、主坩堝に供給される融液を保持するための副坩堝と、副坩堝の融液を加熱するための副坩堝加熱装置と、固体原料を投入するための固体原料投入装置と、副坩堝から主坩堝に融液を供給するための融液搬送部と、固体原料投入装置から副坩堝への固体原料の投入の有無を決定する固体原料投入制御装置とを備えた溶融炉である。 （もっと読む）

【課題】処理室内の圧力が上昇しても、大気圧より高い所定圧力までは確実に処理室内が気密保持される一方で、この所定圧力を超えて圧力上昇した場合に真空処理装置自体の破損を防止することができるようにした真空処理装置を提供する。
【解決手段】チャンバ本体１と、その開口部１ｂに対してＯリング４を介在させて圧接する開閉扉３と、開閉扉の閉位置で処理室１ａ内を真空引きする真空ポンプ３とを備える。処理室を真空引きした状態で、開閉扉に対し、開閉扉のチャンバ本体への圧接方向に引張力を加える引張手段６を更に備える。処理室内の圧力が上昇したとき、大気圧より高い所定圧力までは、前記引張手段が弾性変形して開閉扉を閉位置に保持し、前記所定圧力を超えると、前記引張手段が塑性変形して開閉扉がチャンバ本体から離間する運動エネルギーを吸収するように構成する。 （もっと読む）

【課題】高温強度、特に底部と側壁部とを連結する角部の高温強度に優れるタングステン製ルツボを提供すること。
【解決手段】純度９９．９％以上のタングステンからなり、底部２と側壁部３とが角部４を介して連結された上部開放の有底筒状のタングステン製ルツボ１であって、前記タングステンは、粒径が１０μｍ以上１００μｍ以下のタングステン結晶粒の割合が粒子数の割合で９０％以上であるもの。また、焼結工程やＨＩＰ焼結により製造する。 （もっと読む）