【課題】一時的に基板が供給されない場合において、その間の消費電力量やガス消費量を大幅に低減させることが可能であるとともに、稼働状態に迅速に復帰できるリフロー装置を提供する。
【解決手段】休止モードにおいて、加熱ガス循環機構２によるガス循環速度を低下させるとともに冷却ガス循環機構３の動作を停止させる一方、前記搬送機構１１の動作を停止させ、かつ、前記基板搬出口及び基板搬入口にそれぞれ設置されたシャッタ５を閉塞する。 （もっと読む）

【課題】短時間で効果的に結露を防止し、作業効率を向上させて良好な被処理品を得ることができる単室型真空熱処理炉及び単室型真空熱処理炉における被処理品の酸化防止方法を提供する。
【解決手段】炉壁１１に水冷ジャケット１５が設けられ、該炉壁１１により内部に被処理品Ｗの処理空間Ｓが形成された炉本体１と、炉本体１内に設置された被処理品Ｗを加熱する加熱装置２と、処理空間Ｓ内に冷却ガスを供給する冷却ガス供給装置３と、処理空間Ｓ内に設置された熱交換器５２により前記冷却ガスを介して被処理品Ｗを冷却する第一の冷媒循環系と、前記処理空間内を減圧する減圧装置４と、冷却ジャケット１５に冷媒Ｃを供給する第二の冷媒循環系とを備えた単室型真空熱処理炉Ａにおいて、前記第二の冷媒循環系は、冷媒Ｃを加熱する冷媒加熱部６５を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 密封性の高い炉開閉装置を提供する。
【解決手段】 仕切り扉３１が加熱炉２の開口２ａを開閉する炉開閉装置２１において、仕切り扉３１を開口２ａに沿って移動する駆動機構７１と、閉位置にある仕切り扉３１が収まる開閉ケーシング５０と、この開閉ケーシング５０から仕切り扉３１に沿って突出する複数のガイドレール６２と、仕切り扉３１から突出して各ガイドレール６２に係合する複数のシールレール３２とを備え、各ガイドレール６２と各シールレール３２の係合部によって加熱炉２を封止する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で開口を確実に塞ぐことのできるシャッタユニットを提供する。
【解決手段】シリンダ１２を駆動させて軸１４を下降させることによりシャッタプレート２０，４０が停止位置で停止する。軸１４をさらに下降させることによりリンク２２，４２は段付きねじ７２を中心軸に矢印Ｄ方向に回動し、リンク２４，４４は段付きねじ７０を中心軸に矢印Ｄ方向に回動する。同時に楔状部材６２の傾斜面６２ａ，６２ｂが傾斜面２６ａ，４６ａを摺動し、楔状部材６２が、傾斜ブロック２６，４６の傾斜面２６ａ，４６ａに挟まれた空間に差し込まれ、この楔作用により傾斜ブロック２６に固定されたシャッタプレート２０は開口２ａに押し付けられる。同様に傾斜ブロック４６に固定されたシャッタプレート４０も開口４ａに押し付けられる。 （もっと読む）

【課題】消費電力が少なく、寿命の長い焼成炉を提供することである。
【解決手段】焼成炉は、供給口から搬入される被加熱物を加熱するヒータと、上記被加熱物が搬出される排出口に設けられる扉と、上記被加熱物を検知するワーク検知器と、上記ワーク検知器からの信号に基づいて上記扉を開放する制御手段と、を備える。また、内部から排気する雰囲気ガスが通過する排気ダクトと、外部から給気する雰囲気ガスが通過する給気ダクトと、上記排気ダクトおよび上記給気ダクトに接続され、上記内部から排気する雰囲気ガスと上記外部から給気する雰囲気ガスとの間で熱交換する熱交換器と、が備える。 （もっと読む）