【課題】水分を十分に除去しながら、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）あるいはこれに代わる水切り乾燥液の使用量が少ない水切り工程を含む洗浄方法・装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置１（洗浄方法）は、被洗浄物に洗浄溶剤を適用する第１洗浄処理槽２及び第２洗浄処理槽３（薬剤洗浄工程）と、洗浄処理後の被洗浄物を水ですすぐ第１すすぎ槽４及び第２すすぎ槽５（すすぎ工程）と、被洗浄物に付着した水分を除去するための水切り乾燥槽群６（水切り乾燥工程）を備える。水切り乾燥槽群６は、前記被洗浄物を浸漬した後で引き上げる温純水引き上げ槽１１（水引き上げ工程）と、水を取り込む乾燥用溶剤の蒸気を当てる溶剤乾燥槽１３（溶剤乾燥工程）を含む。 （もっと読む）

【課題】 被処理基板への銅の再付着を防止できる銅の再付着防止方法を提供すること。
【解決手段】 銅含有物質を含む膜が形成された被処理基板をチャンバ内に設置する工程（ステップ１）と、チャンバ内に設置された被処理基板から銅含有物質を、有機化合物を用いたドライクリーニングを用いて除去する工程（ステップ２）と、銅含有物質が除去された被処理基板を前記チャンバから搬出する工程（ステップ３）と、銅含有物質が除去された被処理基板がチャンバ内に無い状態で、このチャンバ内に飛散した銅含有飛散物を被覆する被覆膜をチャンバ内に堆積する工程（ステップ４）と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】有機溶剤の回収を確実にし大気への蒸散を効果的に防止するとともに、機器をコンパクトで安価に製作できるシステムを提供することを目的としている。
【解決手段】有機溶剤を貯留する洗浄槽１０１の上方に吸引口２を臨ませた吸引配管１と、洗浄槽１０１の内部に吐出口５を臨ませた吐出配管４と、吸引配管１および吐出配管４に接続された処理装置３とからなり、吸引口２から吸引した低濃度の有機溶剤蒸気を含む空気を、処理装置３で濃縮し高濃度の有機溶剤蒸気にした後に、吐出口５から洗浄槽１０１内部に戻す。また、処理装置３は、吸着剤が内部に充填された複数の吸着塔１０ａ、１０ｂと、吸着排出管１３、吸着吸入管１１、脱着排出管１２、吸着用送風機３１および脱着用ポンプ３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】インキローラー上のインキ除去のみならず、作業効率を低下させずに給水ローラー上のインキ汚れを除去でき、また、印刷版への影響のない印刷機用洗浄剤を提供する。
【解決手段】 実質的に水を含まず、炭素原子数が６〜１０のアルカン類の少なくとも１種、炭素原子数が１〜６のアルコール類の少なくとも１種、及び炭素原子数が８以上の芳香族炭化水素化合物類の少なくとも１種を含むことを特徴とする印刷機用洗浄剤組成物；炭素原子数が６〜１０のアルカン類を５０〜９０質量％、炭素原子数が１〜６のアルコール類を３〜３０質量％、及び炭素原子数が８以上の芳香族炭化水素化合物類を３〜３０質量％含む上記印刷機用洗浄剤組成物；印刷機用洗浄剤組成物が給水ローラー用洗浄剤である上記印刷機用洗浄剤組成物。 （もっと読む）

【課題】
ワーク内部を洗浄することができ、洗浄後のワーク内部に残留する有機溶剤洗浄液を効率的に乾燥させる洗浄装置を提供する。
【解決手段】
ワーク１を洗浄液の流液により洗浄する洗浄装置１００であって、前記洗浄液を揮発性機溶剤とするとともに、前記洗浄液を強制的に液送する循環経路２０中に前記ワーク1を接続させて前記ワークを把持するワーク把持手段１０と、前記ワーク１を出し入れする開口３３を有するとともに前記ワーク把持手段１０を収容してワーク洗浄作動を実行する洗浄実行部３０とを備え、前記開口３３には、その開口面積を狭めるように冷却部４０を設けた。 （もっと読む）

【課題】従来の電解コンデンサ用アルミニウム材の製造法において、アルミニウム材表面層を洗浄により溶解させる際に、アルミニウム材表層の溶け方が不均質であるため最終焼鈍後のアルミニウム材のエッチング特性が不十分であるという問題点を解決し、エッチング特性に優れ高静電容量を実現できる電解コンデンサ電極用アルミニウム材の製造方法等を提供する。
【解決手段】
アルミニウム材に冷間圧延、酸化性雰囲気中での中間焼鈍、仕上げ冷間圧延を順に実施する。さらにその後、酸化性雰囲気中で加熱した後、アルミニウム材表面層を洗浄により除去し、最終焼鈍する。 （もっと読む）