エッチングと化学研磨（つや出し） (8,564) | ドライエッチングの目的 (276)

清浄化 (48)
損傷防止 (12)
平滑化 (14)
粗面化 (17)
加工精度向上 (81)
異方性向上 (26)
選択性向上 (8)
終点検知 (4)
プラズマ制御 (21)
公害防止 (1)
自動化又は省力化 (11)
その他 (33)