【課題】製品の外部と内部の温度差が小さくなるよう効率よく加熱することができ、更には加熱時間の短縮やエネルギーコストの削減も図ることができるシート状積層体の加熱方法を提供する。
【解決手段】シート状本体の表面に樹脂皮膜層が積層されたシート状積層体を、赤外線ヒータを備えた連続炉の第１加熱域において表層温度が目標温度に達するまで昇温する。次いで、均熱域において表層温度の急降下を抑制する程度に加熱温度を制限して表層側から内部側への伝熱により内部温度を上昇させる。最後に、第２加熱域において表層温度を目標温度まで再び昇温して、シート状積層体の表層温度及び内部温度が目標温度範囲内となるように加熱する。 （もっと読む）

【課題】フラッシュランプを用いて基板を急速加熱し、最表面にイオン注入や活性化等を行うに際し、基板の変形や割れを抑制しながら基板を活性化できるようにすること。
【解決手段】フラッシュランプからの光を照射して、基板を加熱する基板加熱装置において、フラッシュランプ５に直列に半導体スイッチ２５を接続する。そして、フラッシュランプ５のトリガ電極５２にトリガ信号を入力したのち、ゲート回路２８から第１の駆動信号、第２の駆動信号を出力し、第２の駆動信号が半導体スイッチ２５をオンにする期間を、第１の駆動信号の内の一つの駆動信号により半導体スイッチ２５がオンになる期間より長くなるようにする。そして、第１の駆動信号により上記半導体スイッチをオン、オフして基板温度を目標となる所望の温度より低い温度まで上昇させ短時間その状態に保ち、その後、基板の表面温度を目標となる所望の温度まで上昇させる。 （もっと読む）

マテリアルズを熱処理するシステムにおいて、少なくとも一つのスロットつきエダクタがファーネスチャンバの壁又はルーフに配置され、前記ファーネスチャンバ内にガスを循環させるようになっている。 （もっと読む）