【課題】高フレームレートの映像出力に適した固体撮像装置を提供する。
【解決手段】マトリクス状に配列された複数の光電変換部と、列ごとに設けられ、各光電変換部で生成された信号電荷を電荷パケットとして転送する複数の垂直転送器とを含む撮像部１０１と、撮像部１０１から複数の電荷パケットを受け取って転送する水平転送器１０６と、水平転送器１０６における所定個数の転送段ごとに１つの転送段は分岐転送段１０６Ａであり、各分岐転送段１０６Ａに、隣接する転送段１０６Ｂとは異なる方向に隣接して設けられ、分岐転送段１０６Ａから電荷パケットを取得して保持する複数の取り出し部１０７と、各取り出し部１０７に隣接して設けられ、取り出し部１０７から電荷パケットを取得し、電圧信号に変換して出力する複数の出力回路１０８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】電荷・電気信号変換部に設けた電荷入力部に余剰電荷が溢れる現象を簡単な構造で抑制することのできる技術を提供する。
【解決手段】水平転送路２１０（電荷転送部）は、電荷転送方向において、電荷を出力する最終段水平転送レジスタ２１４（電荷出力部）を有する。電荷・電気信号変換部１６は、最終段水平転送レジスタ２１４から入力された電荷を受け取るＦＤ部２５０（電荷入力部）を有する。好ましくは、水平転送路２１０上に小信号障壁２２０を設け、その出口２２２を電荷入力部と対向させる。好ましくは、水平転送路２１０に隣接して、水平オーバーフローバリア２７２及び水平オーバーフロードレイン２７６で構成された余剰電荷掃捨部２７０を配置する。電荷の転送方向に対して交差した第２の方向（幅方向）における最終段水平転送レジスタ２１４の中央部からずれた位置（好ましくは余剰電荷掃捨部２７０側）に電荷入力部を配置する。 （もっと読む）

【課題】スミア特性の向上と転送効率の向上とを両立させる。
【解決手段】固体撮像装置１００は、複数のフォトダイオード１１０と、第１垂直ＣＣＤ１３０と、水平ＣＣＤ１４０と、ドレイン１７０と、複数の転送制御部２００とを備え、複数の転送制御部２００のそれぞれは、水平ＣＣＤ１４０及びドレイン１７０の少なくとも１つに電荷を転送する分岐部２１１と、分岐部２１１と水平ＣＣＤ１４０との間にポテンシャルバリアを形成する垂直ＣＣＤ最終ゲート２１２と、分岐部２１１とドレイン１７０との間にポテンシャルバリアを形成するドレインゲート２３０とを備え、固体撮像装置１００は、さらに、電荷をドレイン１７０に掃き捨てる第１駆動モードと、電荷をドレイン１７０に掃き捨てない第２駆動モードのいずれかを固体撮像装置１００からの信号量に応じて選択し、選択した駆動モードに応じて印加する電圧を制御するタイミング発生回路１６０を備える。 （もっと読む）

【課題】固体撮像装置の垂直転送部における暗電流ノイズによる影響を低減する。
【解決手段】例えば３つの垂直転送部２を１つのグループとし、各垂直転送部２は第１転送部２１と第２転送部２２とを有し、駆動制御部７は、第１転送部２１がパケットを転送した後、水平方向へのパケットの転送が行われる期間でパケットの転送を停止し、第２転送部２２が同一のグループ内の異なる第１転送部２１により転送されたパケットを異なるタイミングで水平転送部４に転送し、水平転送部４が異なるタイミングで転送されたパケットを異なる期間で水平方向に転送し、前記異なる期間で、第１転送部２１のパケットを形成するウェル領域として動作する電荷転送段を、全転送電極下の界面準位をホールで充満させるために、ホールを蓄積できる時間、各転送電極にホールが蓄積できる電圧を印加しながらパケットを移動させ、前記異なる期間で移動させる前の位置に戻す。 （もっと読む）

【課題】固体撮像装置１００において、蓄積転送拡散層１３０ａに形成される電荷転送パケット（ポテンシャル井戸）にポテンシャルバリアやポテンシャルポケットが発生するのを抑制して、転送劣化による電荷取り残しを減少させる。
【解決手段】固体撮像装置１００において、垂直転送部１２０と水平転送部１４０との間に設けられた蓄積転送部１３０を備え、該蓄積転送部１３０を構成する拡散層（蓄積転送拡散層）１３０ａを、その幅が、垂直転送部１２０を構成する拡散層（垂直転送拡散層）１２０ａと水平転送部１４０を構成する拡散層（垂直転送拡散層）１４０ａとの間で急激に広がらずに連続的に緩やかに広がる平面形状とした。 （もっと読む）

【課題】小型で高速動作が可能な固体撮像装置を提供すること。
【解決手段】一定の幅Ｌ１で形成された転送チャネル１８を有するＣＣＤ水平転送レジスタ１４の最終段に、ＣＣＤ水平転送レジスタ１４の転送電極１９とほぼ同一幅の出力ゲート電極２４を設け、この出力ゲート電極２４下において、ＦＤ部１６近傍に、転送チャネル１８より高電位であり、ＣＣＤ水平転送レジスタ１４からＦＤ部１６に向かって急激に幅Ｌ４が絞り込まれた絞り込み部２３ｂを設ける。 （もっと読む）

【課題】光電変換素子で発生した電荷に応じた信号を出力する出力アンプ部での発熱を抑制してＳ／Ｎを向上させることが可能な撮像装置を提供する。
【解決手段】垂直電荷転送部１１に存在する不要電荷を出力部１３まで転送して出力部１３から外部に掃き出す高速掃き出し駆動が駆動回路２によって行われる高速掃き出し期間中、出力部１３に供給する電源電圧Ｖａを、露光によって光電変換素子１０で発生した電荷を出力部１３まで転送して出力部１３から該電荷に応じた信号を出力させる信号出力駆動が駆動回路２によって行われる信号出力期間中よりも低くする電圧切替え回路３を備える。 （もっと読む）

【課題】光電変換素子で発生した電荷を場所によらず均一の増倍率で安定的に増倍して画像ムラを防ぐことが可能な撮像装置を提供する。
【解決手段】光電変換素子１１０及び光電変換素子１１０から読み出された電荷を垂直方向に転送する垂直電荷転送路１２０を含む受光部１００と、垂直電荷転送路１２に接続され、垂直電荷転送路１２０から転送されてきた電荷を蓄積する電荷蓄積領域２１０及び電荷蓄積領域２１０上方に設けられた電荷蓄積領域２１０での電荷蓄積動作を制御するための蓄積制御電極Ｓ１〜Ｓ８を含む蓄積部２００とを含む撮像素子５と、光電変換素子１１０で発生した電荷を垂直電荷転送路１２０により転送して電荷蓄積領域２１０に蓄積させた状態で、蓄積制御電極Ｓ１〜Ｓ８のいずれかに所定の電圧を印加して、電荷蓄積領域２１０においてアバランシェ増倍を生じさせて該電荷を増倍する駆動を行う撮像素子駆動部１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】画像処理が煩雑になることなく、光感応領域に発生した電荷を高速に読み出すことが可能な固体撮像装置を提供すること。
【解決手段】固体撮像装置１は、複数の光電変換部３、複数の第１の転送部５、複数の電荷蓄積部７、複数の第２の転送部９、及びシフトレジスタ１１を備えている。各光電変換部３は、平面形状が二つの長辺と二つの短辺とによって形作られる略矩形状を成す光感応領域１３と、光感応領域１３の平面形状を成す一方の短辺側から他方の短辺側に向かう第１の方向に沿って高くされた電位勾配を形成する電位勾配形成領域１５と、を有している。各第１の転送部５は、対応する光感応領域１３の平面形状を成す他方の短辺側に配置され、対応する光感応領域１３から取得した電荷を第１の方向に転送する。各電荷蓄積部７は、対応する第１の転送部５から転送された電荷を蓄積する。 （もっと読む）

【課題】多重露光における露光間に発生するノイズを低減し、多重露光にて良好な画質の画像を得ることができる固体撮像装置およびその信号読出し方法を提供。
【解決手段】固体撮像素子10は、垂直転送路20、受光素子14および読出しゲート18それぞれに対応した位置に電極34、38および36が形成され、受光素子14に対応する位置に形成される電極38に透明電極を用い、３つの電極34、36および38にそれぞれ調整された電圧を印加し、この印加により垂直転送路20での読み出した信号電荷の加算、信号電荷の垂直転送路20から受光素子14への逆転送、ならびに受光素子14での待機、かつ余剰な信号電荷の排出を実行することにより、多重露光しても固体撮像素子でブルーミングの発生を防止して、高画質な画像を得る。 （もっと読む）

【課題】多フィールド読み出し可能な小型且つ安価な固体撮像素子を提供する。
【解決手段】ＰＤ５１と、ＰＤ５１で発生した電荷を垂直方向に転送する垂直電荷転送部５２とを有する固体撮像素子５であって、各ＰＤ５１には２つの転送電極が対応し、垂直方向に並ぶ６つのＰＤ５１に対応する転送電極群には、６つの読み出し電極（Ｖ２Ａ，Ｖ４Ａ，Ｖ６Ａ，Ｖ２Ｂ，Ｖ４Ｂ，Ｖ６Ｂ）と６つの転送電極（Ｖ１，Ｖ３，Ｖ５）が含まれ、この転送電極群に含まれる６つの転送電極を３つおきに共通化した。 （もっと読む）

【課題】駆動パルスの信号本数を増加させずに飽和信号量の低下と消費電力の増大を防ぎ、簡素な構造で高輝度撮像時におけるブルーミング現象を抑制する。
【解決手段】光電変換素子７１と、垂直電荷転送部７３と、水平電荷転送部７５と、水平電荷転送部７５から不要な信号電荷を取り除く水平ドレイン部８１と、オーバーフローバリア高さを設定する水平ドレインゲート部８３とを備えた固体撮像素子１００において、水平ドレインゲート部８３へ印加する信号を、水平ブランキング期間の少なくとも一部に対しては、垂直電荷転送部７３に印加する電荷転送パルス信号のうち、垂直電荷転送部７３に電位の井戸を形成する電圧の信号に設定し、水平転送期間に対しては、電荷転送パルス信号のうち、水平電荷転送部７５と水平ドレイン部８１との間の電荷移動を阻止するオーバーフローバリア高さが得られる電圧の信号に設定する。 （もっと読む）

【目的】暗電流補正を行う。
【構成】奇数列のフォトダイオード２または偶数列のフォトダイオード２のいずれか一方に蓄積された信号電荷を読み出し，他方のフォトダイオード２に蓄積された信号電荷は読み出されないように，読み出しゲート・パルス３を形成する。奇数列または偶数列のうちいずれか一方のフォトダイオード２に蓄積された信号電荷が読み出される。奇数列または偶数列のいずれか他方のフォトダイオード２に隣接した垂直転送路４からは暗電流補正用の信号電荷を得る。得られた暗電流補正用の信号電荷を用いて，読み出された信号電荷によって表わされる映像信号の暗電流補正が行われる。 （もっと読む）

【課題】製造の容易なラインメモリを有する固体撮像素子を提供する。
【解決手段】光電変換素子１と、光電変換素子１で発生した電荷を垂直方向に転送するための複数本の垂直電荷転送路２と、複数本の垂直電荷転送路２の各々を転送されてきた電荷を水平方向に転送する水平電荷転送路３と、複数本の垂直電荷転送路２の各々と水平電荷転送路３との間に設けられた電荷蓄積部５とを半導体基板内に有する固体撮像素子であって、複数の電荷蓄積部５の各々に対応してその上方に設けられたＬＭ電極６を備え、複数のＬＭ電極６が複数種類の電極に分類されており、複数種類のＬＭ電極６の各々に対応して該ＬＭ電極６上方に水平方向に延びて設けられ、対応する種類のＬＭ電極６に電圧を印加するための配線７，８と、少なくとも配線７，８と重なる領域にあるＬＭ電極６によって生じる凹凸面と配線７，８との間に設けられた、該凹凸面を平坦化する平坦化層１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】ダイナミックレンジを拡大した状態で白傷の発生を低減させる固体撮像素子の駆動方法およびこれにより駆動される撮像装置を提供する。
【解決手段】
光電変換素子への露光期間中に、一部の光電変換素子に対して、読み出し電極となる垂直電荷転送電極に読み出しパルスを印加することで露光時間を制御して光電変換部から信号電荷を垂直電荷転送部に読み出す際、読み出しパルスによって読み出した信号電荷を垂直電荷転送チャネルに蓄積させる垂直電荷転送電極の数が、露光期間終了後の垂直電荷転送部による信号電荷の転送時に、信号電荷を垂直電荷転送チャネルに蓄積させる垂直電荷転送電極の数よりも少なくなるように駆動する。 （もっと読む）

【課題】撮像領域における複数のブロックごとに形成された各水平電荷転送部に電気的に接続される接続部を製造することが容易で、歩留まりを向上することができる撮像素子及び撮像装置を提供する。
【解決手段】本発明にかかる撮像素子は、撮像領域の水平方向及び垂直方向に所定の間隔で配置され、入射光に応じた信号電荷を発生する複数の光電変換部２と、光電変換部２で発生した信号電荷を列毎に垂直方向に転送する垂直電荷転送部４と、垂直電荷転送部４から転送された信号電荷を水平方向に転送する２つの水平転送部５Ｒ，５Ｌと、２つの水平転送部５Ｒ，５Ｌそれぞれから転送される信号電荷を一旦蓄積し、出力アンプへ転送する接続部４１とを備え、２つの水平転送部５Ｒ，５Ｌがそれぞれ水平方向に延設され、接続部４１が２つの水平転送部５Ｒ，５Ｌの直線上で、かつ、該２つの水平転送部５Ｒ，５Ｌの間に設けられている。 （もっと読む）

【課題】単層のゲート電極構造におけるゲート電極間の隔壁の製造精度を高める。
【解決手段】ゲート絶縁膜２３上に形成した導電性シリコン膜３１を、シリコン窒化膜２７を介して形成したレジストマスク３２に基づいてエッチングし、複数の隔壁とする。レジストマスク３２を除去し、洗浄を行った後、熱処理（例えば、約９００℃の温度下でのウェット酸化）によって隔壁を酸化シリコンに改質する。これにより、洗浄処理による隔壁の腐食が低減され、隔壁の製造精度が向上する。隔壁は、洗浄処理時には導電性シリコン（ポリシリコンまたはアモルファスシリコン）の状態であり、洗浄に用いられるフッ酸に対する耐性（耐フッ酸性）が高い。 （もっと読む）

【課題】転送効率が１００％でないことに起因する画質劣化を適切に補正し高画質の撮像画像データを得る。
【解決手段】半導体基板表面部に二次元アレイ状に形成され各々が受光量に応じた信号電荷を検出する複数の光電変換素子と、各光電変換素子が検出した信号電荷の転送を受け該信号電荷を出力部に転送する電荷転送路４と、各光電変換素子が検出した信号電荷の転送を受けて一時蓄積し制御信号に基づき該信号電荷を電荷転送路４に移す電荷一時蓄積部５とを備えるＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法において、転送対象となる電荷を電荷一時蓄積部５から電荷転送路４に移すとき該電荷を移したパケットの転送方向直後に対となる空パケットを電荷転送路４に形成し、該電荷の転送で生じる転送残り電荷を対となる空パケットで受けて転送し出力する。 （もっと読む）

【課題】混色を生じることなく取扱電荷量の増大を図ることができるＣＣＤ固体撮像装置を提供する。
【解決手段】マトリクス状に配列された受光部１、受光部で蓄積した信号電荷を読み出す読み出しゲート２、読み出しゲートで読み出された信号電荷の垂直転送を行なう垂直転送レジスタ３、垂直転送レジスタより転送された信号電荷の水平転送を行なう水平転送レジスタ４を備えるＣＣＤ固体撮像装置において、水平転送レジスタのＬＨ電極を３分割し、ＬＨ電極の中央部に印加する転送クロックの立ち下がりタイミングを、ＬＨ電極の上部及び下部に印加する転送クロックの立ち下がりタイミングよりも遅くする。 （もっと読む）

【課題】水平転送レジスタの取り扱い電荷量の増加を図りつつ信号電荷の水平転送の改善をも図ることができるＣＣＤ固体撮像装置を提供する。
【解決手段】撮像部と、撮像部より転送された信号電荷を転送する水平転送レジスタを備えるＣＣＤ固体撮像装置において、転送電極をＨ１ａ、Ｈ１ｂ及びＨ１ｃ（Ｈ２ａ、Ｈ２ｂ、Ｈ２ｃ）に３分割し、転送電極Ｈ１ｃ（Ｈ２ｃ）に印加する転送クロックの立ち下がりタイミングを転送電極Ｈ１ａ、Ｈ１ｂ（Ｈ２ａ、Ｈ２ｂ）に印加する転送クロックの立ち下がりタイミングよりも早くする。 （もっと読む）