【課題】本発明では、（ａ）走査（透過）電子顕微鏡において、０.１ｎｍ原子サイズ構造の３次元観察を可能とすること、（ｂ）走査（透過）電子顕微鏡において、試料中の原子の３次元構造と材料の特定を可能とすることを目的とする。
【解決手段】本発明は、０.１ｎｍ原子サイズ構造の３次元観察を可能とするために、球面収差係数が小さい電子レンズシステムを有し、照射角の変更が可能な絞り、電子線プローブのプローブサイズおよび照射角度を変更することが可能な照射電子レンズ系、二次電子検出器、透過電子検出器、前方散乱電子線検出器、フォーカス可変装置、画像のコントラストを識別する画像演算装置、画像鮮鋭度を演算する画像演算装置、画像の３次元構築を行う演算装置、二次電子信号と試料前方散乱電子信号を混合するミキサー、を有する走査透過電子顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡に於いて、引出電極や加速電極の電位を固定のままでクロスオーバの位置を自由に調整できる機能を実現する。
【解決手段】光軸に添って配置された、３つの電極により構成される第１電極ユニット２４の第１電極４と第３電極９を所定の第１電位、第２電極８を可変の第２電位とし、更に３つの電極より構成される第２電極ユニット２６を備え、第５電極１６を可変の第３電位とする。また、第１加速装置１７と第２加速装置１８を、それぞれ第４、第５の電位に設定する。 （もっと読む）

【課題】 共焦点走査透過型電子顕微鏡装置及び３次元断層像観察方法に関し、薄層状試料における異なった深さにおける原子配列を一画像で観察可能にする。
【解決手段】 電子を放出する電子源と、電子源から放出された電子を加速する手段と、加速された電子線を試料上に収束させる収束レンズと、電子線を試料表面上に走査するための走査コイルと、試料表面に焦点を合わせるための対物レンズと、試料により散乱された電子線の取り込み角度を制御するための投影レンズと、走査顕微鏡像を取得するための走査顕微鏡像検出器と、試料の組成および電子状態を分析する分析装置と、試料厚さを計測するための計測部と、対物レンズの焦点深度を調整する焦点深度調整手段とを有し、対物レンズの前段に対物レンズの球面収差を補正する球面収差補正装置と、対物レンズの色収差を補正および調整する色収差補正装置とを設けるとともに、対物レンズの色収差係数を調整するための制御部と、色収差係数を測定する測定部とを設ける。 （もっと読む）

【課題】本発明は透過型電子顕微鏡の自動最適合焦点調整方法及び装置に関し、最適合焦点位置を確実に検出することを目的としている。
【解決手段】対物レンズ８と、該対物レンズを透過した透過電子線像を蛍光板１２に拡大結像させる結像系レンズ群１０と、該結像系レンズ群１０から投影された透過電子線像を受ける蛍光板１２と、該蛍光板の透過電子線像を撮像するカメラ１４と、該カメラで撮像された透過電子線像を記憶する記憶手段１６ａと、該記憶手段に記憶された透過電子線像を読み出して所定の画像処理を行なう画像処理装置１６を有する透過型電子顕微鏡において、前記画像処理装置１６は、前記記憶手段１６ａに記憶されている透過電子線像を読み出してエッジ評価値を算出し、算出されたエッジ評価値のプロットからフィッティングを行ってフィッティング関数を求め、フィッティング関数の最小値を最適合焦点位置とするように構成する。 （もっと読む）

【課題】３次元構造を持つ電子デバイス構造等を全体的且つ高精度に評価しうる立体観察方法及び電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】電子線を生成する電子銃４０と、電子銃４０により生成された電子線を収束して試料４２に入射する収束レンズ４４と、試料４２を透過した電子線の散乱角を制御する結像レンズ４６と、試料４２を透過し記電子線を検出する検出器２０とを有する電子顕微鏡を用い、試料４２を透過した電子線の強度を、電子線の焦点位置を試料４２の深さ方向に変化させて測定することにより、試料４２による電子線の吸収及び散乱の深さ方向の分布を測定する。 （もっと読む）

【課題】オートフォーカスを動作させても、画像の明るさが変化することがない透過電子顕微鏡を提供することにある。
【解決手段】オートフォーカスによって対物レンズの電流値が変化しても画像の明るさが変化しないように、収束レンズの電流値、電子銃のエミッション電流値、又はＣＣＤカメラのゲインもしくは露光時間を調整することにより画像の明るさを調整する。 （もっと読む）