【課題】コリメートミラーからの擬似平行光の照射領域を超える大きさの露光パターンの一括露光を可能とする露光装置・露光方法を提供することを目的とする。
【解決手段】光源１５０と、この光源１５０から出射された光を擬似平行光２２５とするコリメートミラー１６０と、フォトマスク１３０と、このフォトマスク１３０が擬似平行光２２５の照射領域内に収まるように、このフォトマスク１３０の法線と前記擬似平行光２２５とが角度をもった状態に保持するフォトマスク保持部１４０と、を備える露光装置により露光するものである。 （もっと読む）

【課題】ＰＤＰの電極や隔壁などの表示部材をフォトリソグラフィー法によりパターニングする場合、表示部材の反り上がりや剥がれを抑制するとともに、フォトマスクに付着したダストによる露光不良を防止する。
【解決手段】表示部材となる感光性Ａｇペースト膜４１を製膜する製膜ステップと、感光性Ａｇペースト膜４１に開口部４３を有するフォトマスク４２を介して露光する露光ステップを含むＰＤＰの製造方法であって、露光ステップが、感光性Ａｇペースト膜４１とフォトマスク４２とを露光ギャップＧ１を有して露光する第１露光ステップと、第１露光ステップの後に露光ギャップＧ１と異なる露光ギャップＧ２を有するとともに、フォトマスク４２を第１露光ステップの位置よりも開口部４３に沿って移動させて露光する第２露光ステップとを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】露光不足を解消することにより、バス電極形成用感光ペーストのポリマー化を確実にして、電極欠陥や誘電体膜欠陥の発生を防止して、高い信頼性で高絶縁耐電圧を有するＰＤＰの製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板上に形成された透明電極と透明電極上に形成された黒色層と導電層とよりなる表示電極と、表示電極の間に設けた黒色層と同一材料よりなる遮光層とを備えたＰＤＰの製造方法であって、乾燥された黒色感光性ペーストを遮光層のパターンに対応させて露光する遮光層露光ステップと、透明電極上の黒色層と導電層のパターンに対応させて黒色層と導電層とを同時に露光する導電層露光ステップと、黒色層と遮光層と導電層とを現像する現像ステップと、表示電極に設けた黒色層を再度露光する再露光ステップと、黒色層と遮光層と導電層とを所定の温度で焼成する焼成ステップとを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】生産性が高く、信頼性に優れたプラズマディスプレイパネルが得られるプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。
【解決手段】第１の基板の片面外縁付近に接着剤を塗布して形成した接着剤層を介して第２の基板を貼り合わせることにより希ガスが封入されたセルを形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記接着剤は、光後硬化性樹脂組成物からなるものであり、前記第２の基板の貼り合わせは、少なくとも、前記第１の基板の片面外縁付近に形成した接着剤層に光を照射して硬化反応を開始させた後、真空装置内で一定時間減圧を行い、前記真空装置内を希ガスに置換した後に行うプラズマディスプレイパネルの製造方法。 （もっと読む）

【課題】光重合開始系として、新規な組み合わせ系を感光性組成物中に含有することにより、青紫色レーザに対して高解像度で高感度を実現でき、かつ青紫色レーザ露光によるパターン形成において、黄色安全灯下では感光せず、プラズマディスプレイの製造に好適な感光性組成物、パターン形成材料、感光性積層体、パターン形成方法、及びプラズマディスプレイを提供する。
【解決手段】バインダー、重合性化合物、光重合開始系化合物、及び無機粒子を含み、前記光重合開始系化合物が、一般式（Ｉａ）及び一般式（Ｉｂ）で表されるオキシム誘導体の少なくともいずれか、並びに一般式（IIａ）で表されるアクリドン誘導体及び一般式（IIｂ）で表されるチオキサントン誘導体の少なくともいずれかを含む感光性組成物、支持体と、該支持体上に前記感光性組成物からなる感光層を少なくとも有するパターン形成材料、などである。 （もっと読む）

【課題】形成する電極パターンまたは隔壁パターンの幅が細く、形成間隔が狭くなった場合でもパターンの形成を容易にし、歩留まりの高いディスプレイ用部材の製造方法を提供する。
【解決手段】
基板上に感光性ガラスペーストを塗布し、該感光性ガラスペースト塗布層をフォトマスクを介して露光し、露光後の感光性ガラスペースト塗布層を現像することによって隔壁パターンを形成する工程を含むディスプレイ用部材の製造方法であって、フォトマスクとして、反射率が１０％以下、露光パターン幅が５〜４０μｍ、露光パターンのピッチが１０〜１７０μｍであるストライプ状または格子状のフォトマスクを用いるディスプレイ用部材の製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】大画面化、高精細化に適するプラズマディスプレイパネルを提供することを目的とする。
【解決手段】前面基板３に放電ギャップを形成して対向する走査電極４及び維持電極５からなる表示電極を複数列形成した前面パネル１と、前記前面基板３に対向配置した背面基板８に前記前面パネル１との間の放電空間を仕切る隔壁１１を設けかつ前記隔壁１１間に前記表示電極に交差するようにデータ電極１０を形成するとともに前記隔壁１１間に蛍光体層１２を配置した背面パネル２とを有し、前記背面パネル２は、前記データ電極１０と平行な方向で複数の領域に分割して隔壁１１を形成し、かつ複数の領域の境界部は青色の蛍光体層１２が配置される隔壁１１とした。 （もっと読む）

【課題】大画面化、高精細化に適するプラズマディスプレイパネルを提供することを目的とする。
【解決手段】前面基板３に放電ギャップを形成して対向する走査電極４及び維持電極５からなる表示電極を複数列形成した前面パネル１と、前記前面基板３に対向配置した背面基板８に前記前面パネル１との間の放電空間を仕切る隔壁１１を設けかつ前記隔壁１１間に前記表示電極に交差するようにデータ電極１０を形成するとともに前記隔壁１１間に蛍光体層１２を配置した背面パネル２とを有し、前記前面パネル１は、前記表示電極と交差する方向で複数の領域に分割して表示電極を形成し、かつ前記分割して形成した表示電極の外形形状は、複数の領域の境界部において段差を有する形状とした。 （もっと読む）

【課題】表示パネルの構造物をフォトリソグラフィ法によって形成する製造方法における従来の問題点を解決する。
【解決手段】表示パネルの基板Ｐ１上に形成された感光性材料層Ｌ１に対して露光マスクＭを介して第１回目の露光工程が行われ、この後、この同じ露光マスクＭが移動されて感光性材料層Ｌ１との間のギャップが変更されて次の第２回目の露光工程が行われることにより、第２露光部分Ｌ１ｂが第１露光部分Ｌ１ａと重なり合った状態で、露光工程が繰り返して行われる。 （もっと読む）

【課題】プラズマディスプレイパネルに用いられる複数に分割された構成の表示電極において、断線のない信頼性の高い電極およびその製造方法を提供する。
【解決手段】電極線２１１ａ、２１２ａ、２１３ａ、２１４ａ、２１１ｂ、２１２ｂ、２１３ｂ、２１４ｂをフォトリソグラフィ法を用いて形成する際の露光工程が、電極線２１１ａ、２１２ａ、２１３ａ、２１４ａ、２１１ｂ、２１２ｂ、２１３ｂ、２１４ｂのうちの主放電ギャップ２２を形成する電極線２１１ａ、２１１ｂに対応する開口部と主放電ギャップ２２から最も離れた電極線２１４ａ、２１４ｂに対応する開口部とを有する露光マスクを用いた第１露光工程と、主放電ギャップ２２となる電極線２１１ａ、２１１ｂと主放電ギャップ２２から最も離れた電極線２１４ａ、２１４ｂとの間に位置する電極線２１２ａ、２１３ａ、２１２ｂ、２１３ｂに対応する開口部を有する露光マスクを用いた第２露光工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】 高精度かつ低コストのパターン形成装置を提供する。
【解決手段】 （１００）面方位のシリコン単結晶を母材として、フォトリソグラフィ工程により斜面部６およびパターン材案内溝５を有する櫛歯部３を形成する。この櫛歯部３の各櫛歯４に共通にパターン材を貯蔵する液溜め部７を、案内溝形成と同一工程で形成する。斜面部６の形成時、湿式異方性エッチングを行なうことにより、面方位によるエッチング速度の差を利用して、面方位（１００）に対して面方位（１１１）を有する斜面部を高精度でかつ容易に生成することができ、また異方性ドライエッチングにより溝部５を形成することにより、高精度で、斜面部にまで到達する垂直な側壁を有するパターン材案内溝を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】 薄型ディスプレイパネルの放電表示セル等を構成する隔壁の成型もしくは欠損部の補修などに用いられ、硬化性を向上させた隔壁用組成物を提供する。
【解決手段】 薄型ディスプレイパネルの隔壁又はその一部を成形するためのガラスもしくはセラミックの粉体と、有機性添加物であるバインダーと、の混合組成物であって、該有機性添加物が、エネルギー線照射により熱エネルギーを発生させるとともに、エネルギー線源からのエネルギーもしくは発生した熱エネルギーで硬化可能な樹脂組成物を１５重量％〜５０重量％含むことを特徴とする薄型ディスプレイパネルの隔壁用組成物。 （もっと読む）