【課題】寄生容量の発生を低減させて受信感度への影響を抑制することができ、プロセス設計の自由度を向上させることが可能となる容量検出型の機械電気変換素子の製造方法を提供する。
【解決手段】容量検出型の機械電気変換素子の製造方法であって、
基板上に、下部電極層を形成する工程と、
下部電極層の上に、犠牲層を形成する工程と、
犠牲層の上に、レジスト層を塗布してキャビティパターンを形成する工程と、
キャビティパターンの形成に用いられたレジスト層を含む領域の上に、絶縁層を形成した後、レジスト層上に形成された絶縁層をレジスト層と共に除去し、キャビティパターンが形成された領域以外の領域に絶縁層を形成する工程と、
キャビティパターンが形成された領域と絶縁層が形成された領域の上に、振動膜を形成する工程と、
犠牲層を除去してキャビティを形成する工程と、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】振動体や電極へ信号を容易に入力できるようにした静電型スピーカを提供する。
【解決手段】振動体１０の切り欠きと、クッション材４０Ｌの切り欠きは、電極２０Ｕおよびクッション材４０Ｕの切り欠きより左右方向の幅が狭く、上から見ると電極２０Ｕおよびクッション材４０Ｕの切り欠きの領域内にある。各部材を重ねた場合、上から見ると振動体１０の一部と電極２０Ｌの一部が上方に露出する。信号を供給する電極を有するクリップで切り欠きの部分を挟むと、電極２０Ｕに信号を供給する電極が電極２０Ｕに接触する。また、振動体１０に信号を供給する電極が振動体１０に接触し、電極２０Ｌに信号を供給する電極が電極２０Ｌに接触する。 （もっと読む）

【課題】自由に曲げることが可能であり、且つ、曲げた時に静電型スピーカを構成する部材がずれないようにする。
【解決手段】静電型スピーカ１においては、導電布２０Ｌ、弾性部材３０Ｌ、振動体１０、弾性部材３０Ｕ、導電布２０Ｕの順番に部材が重ねられ、糸４０が重ねられた部材を貫くようにして各部材が縫い合わされている。静電型スピーカ１を構成する各部材は、糸４０により拘束されているため、静電型スピーカ１を変形させても形や構造が崩れることなく、導電布２０Ｕ，２０Ｌ、弾性部材３０Ｕ，３０Ｌおよび振動体１０はずれることがない。 （もっと読む）

【課題】エレクトレット振動板を製造するための方法を提供する。
【解決手段】誘電体フィルム１３０を接着性物質によってフレームへ接着し、フレーム上の誘電体フィルム１３０の周辺領域を固定要素１４０、１５０で固定する。その後、誘電体フィルム１３０に金属スパッタリングプロセスを施してその上に導電性物質層１８０を形成する。また、誘電体フィルム１３０に分極プロセスを施し、それによってエレクトレット振動板を形成する。 （もっと読む）

【課題】固体や液体が外部から振動体へ到達するのを防ぐ。
【解決手段】静電型スピーカ１においては、重ねられた各部材のうち最も外側に表面部材９０Ｕ，９０Ｌがあり、表面部材９０Ｕ，９０Ｌの貫通孔９１の径は小さいため、ボールペンやドライバなどの棒状の物や先の尖った物が衝突しても静電型スピーカ１の内部に入りにくく、振動体１０が破損する虞が少なくなっている。また、この構成においては、電極２０Ｕ，２０Ｌより外側に撥水部材８０Ｕ，８０Ｌがあり、表面部材９０Ｕ，９０Ｌに液体が掛かっても液体は撥水部材８０Ｕ，８０Ｌで弾かれるため、電極２０Ｕ，２０Ｌや振動体１０に液体が到達する虞が少なくなっている。 （もっと読む）

【課題】可撓性を持ち、軽量で、占有体積の小さい、従来型のスピーカーの代用品となる電気音響変換器を備えた電子装置及び当該電気音響変換器を提供する。
【解決手段】本体、及び前記本体に設置し、第一電気信号に基づいて振動を発生するのに用いられる第一エレクトレット振動板と、第二電気信号に基づいて振動を発生するのに用いられる第二エレクトレット振動板と、複数の開孔を有し、前記第一エレクトレット振動板と前記第二エレクトレット振動板との間に設置する開孔板とを備える電気音響変換器を備えた電子装置。 （もっと読む）

本発明は、スペーサとダイヤフラムが一体になって部品数と工程数を削減し、寄生容量を除去したスペーサ一体型ダイヤフラムを開示する。本発明のスペーサ一体型ダイヤフラムは、平板状の導電性膜からなるダイヤフラムと、前記ダイヤフラムの周辺部にＰＳＲ（Ｐｈｏｔｏ Ｓｏｌｄｅｒ Ｒｅｓｉｓｔ）印刷工程によって突出形成された絶縁性のスペーサが一体に構成されたことを特徴とする。前記スペーサは多数の孔が形成されて寄生容量を除去するようになっているものであり、前記ダイヤフラムは角が円形をなす長方形板状を有し、前記スペーサは前記長方形板状の４辺の近くに形成されたものである。本発明のスペーサ一体型ダイヤフラムはスペーサがＰＳＲ材質で形成されるとともに多数の孔が形成されて不必要な寄生容量の発生を除去して音質を向上させることができ、ダイヤフラムとスペーサが一体をなしてコンデンサマイクロフォンを組み立てる時の工程を削減することができ、部品数を削減して製造コストを削減できる。
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【課題】同一の外形寸法で平面な振動体より大きな音圧を生じ、製造が容易な静電型スピーカを提供する。
【解決手段】振動体１０は、電極２０Ｕの繊維層２５Ｃの表面と電極２０Ｌの繊維層２５Ｃの表面とで挟まれ、電極２０Ｕと電極２０Ｌとの間の中間の位置に支持される。電極２０の山・谷の位置と、繊維層２５Ｃ表面の山・谷位置は一致しているため、張力を掛けられていない振動体１０は、繊維層２５Ｃの表面の山・谷に沿って変形し、繊維層２５Ｃの山・谷に沿って（即ち、電極２０の山・谷に沿って）支持される。振動体１０は波形となっており、Ｘ方向とＹ方向のサイズが同じで振動体１０が平面となっている場合と比較して振動体の表面積が広くなるため、振動体１０が変位した時に移動させる空気の量が、振動体１０が平面の場合より多くなり、同じ縦横のサイズであっても、より大きな音圧の音を出すことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】折り曲げても振動体の変位を揃えることが可能なスピーカを提供する。
【解決手段】
端子１０２Ａと端子１０２Ｃが接続され、端子１０２Ｄと端子１０２Ｆとが接続された状態となると、導電布２１Ｌと導電布２６Ｕに印加される電圧が同じとなり、導電布２１Ｕと導電布２６Ｌに印加される電圧が同じとなる。すると、振動体１０において導電布２１Ｕと導電布２１Ｌとの間にある部分と、導電布２６Ｕと導電布２６Ｌとの間にある部分とで静電力による変位の方向が同じとなり、両部分から発生する音が同相になるため、両部分で発生した音が打ち消されることがない。 （もっと読む）

【課題】軽くて薄く、望ましい歩留まりを有するセンサを提供する。
【解決手段】２つのチャネルを有するキャリアと、キャリアの上に配置される静電容量検知素子と、カバーを含むセンサとが提供される。静電容量検知素子は、膜を有し、この膜とキャリアとの間に第１のチャンバが形成される。カバーは、キャリアの上に配置されて静電容量検知素子を覆う。膜とカバーとの間には第２のチャンバが形成される。第１のチャンバおよび第２のチャンバは、膜の両側に配置され、チャネルは、第１のチャンバおよび第２のチャンバとそれぞれ連通する。 （もっと読む）

【課題】振動トランスデューサの高域の感度を向上させる。
【解決手段】振動トランスデューサは、バックキャビティの開口を形成している基板と、堆積膜からなり、前記開口と前記基板の前記開口の周囲とに対向する中央部と、前記中央部から外側に放射状に延びる複数の腕部とを備え、導電性を有するダイヤフラムと、前記ダイヤフラムに対向する堆積膜からなるとともに導電性を有するプレートと、前記腕部の先端と前記プレートの外縁とを絶縁しながら前記基板上に固定するとともに、前記基板と前記ダイヤフラムとの間と、前記ダイヤフラムと前記プレートとの間とにそれぞれ空隙を形成している堆積膜からなる支持手段と、を備え、隣り合う前記腕部の間において前記中央部の縁は直線を形成している。 （もっと読む）

【課題】音響透過率と有効電極面積を同時に一定の基準を満たす静電型スピーカを提供する。
【解決手段】本発明の静電型スピーカ（１）は、一の好ましい態様において、静電力によって変位可能な振動膜（１０）と、前記振動膜に対向して設けられ導電性不織布で構成される電極（２０Ｌ、２０Ｒ）と、前記振動膜と前記電極との間に設けられる緩衝部材（３０Ｌ、３０Ｒ）と、前記平面電極を前記振動膜の振動方向に支持する支持部（４０Ｌ、４０Ｒ）を有する。 （もっと読む）

【課題】感度調整を容易に行える音響トランスデューサを提供する。
【解決手段】メンブレン領域７と半導体基板５との境界上に位置する振動膜２に、メンブレン領域７と半導体基板５とに跨るように少なくとも１つの開口１４を設ける。 （もっと読む）

【課題】静電容量センサのダイヤフラムとプレートの応力を最適化する。
【解決手段】可動電極を形成するダイヤフラムとなる膜を堆積し、前記ダイヤフラムとなる膜を第一の温度に加熱し、前記ダイヤフラムとなる膜を加熱した後に、前記可動電極に対する静止電極を形成するプレートとなる膜を堆積する、ことを含む静電容量センサの製造方法。 （もっと読む）

【課題】振動板の振動状態に悪影響を与えずに、振動板への給電に対する耐久性を向上させる。
【解決手段】本発明の静電型スピーカ１は、電極２０と、静電力によって変位可能な振動板１０とを有する静電型スピーカであって、前記振動板は、その周縁部の境界Ｂに沿って配置された複数のスリット１０２と、前記スリットの外側に設けられた給電部１０１とを有することを特徴とする。このような構成によれば、内側の領域Ｒｖでは音響波の発生に適した振動を実現することができる一方、外側の領域Ｒｅでは給電に適した強度が確保される。 （もっと読む）

【課題】破損しにくく、かつ、感度を向上させることが可能なセンサを提供する。
【解決手段】このセンサ（マイクロホン３０）は、電極板部８ａと、電極板部８ａと対向するように設けられ、中央部に配置された振動部５ａと、振動部５ａの周辺部に配置され、振動部５ａよりも弾性率の低い材料からなる振動部４ｃとを含むダイアフラム６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 小型で電気エネルギと運動エネルギとの変換効率が高く、エレクトレットの劣化も防止できる静電誘導型変換素子を提供する。
【解決手段】 エレクトレット１０は、絶縁材料の表面付近に電荷を注入して形成されており、２つの導体１２、１４の間に配置されて、エレクトレット１０に対向する少なくとも一方の導体１２に対して相対的に運動して電気エネルギと運動エネルギとの変換を行うように構成されている。エレクトレット１０を形成する絶縁材料としては、含フッ素脂肪族環構造を有する重合体を使用するのが好適である。 （もっと読む）

【課題】専用のバックプレート部品を含まないマイクロホン検出素子を提供する。
【解決手段】シリコン系のマイクロホン検出素子とこれを製造するための方法が開示される。本マイクロホン検出素子は、各辺または各コーナーに隣合う孔あきプレートを有するダイアフラムを有する。ダイアフラムは、導電性基板に作られた一つ以上の背面孔の上に整列配置され、この背面孔はダイアフラムの幅より小さい幅を有する。孔あきプレートは、基板の上に在るエアギャップ上に吊り下げられる。ダイアフラムは、コーナー、辺または中心でダイアフラムに取り付けられ、誘電体スペーサ層にアンカー固定された硬質パッドで終わる二つの端部を有する機械的スプリングによって支持される。可変キャパシタ回路を確立するために第１の電極が一つ以上の硬質パッド上に形成され、基板上の一つ以上の位置に第２の電極が形成される。本マイクロホン検出素子は、寄生キャパシタンスを減らすために種々のアプローチで具体化され得る。 （もっと読む）

本発明は、音波入口孔と、ダイヤフラムと、ダイヤフラムに関連してダイヤフラムに対して小さな間隙で配置された対向電極とを有するマイクロフォンハウジングを備えたコンデンサマイクロフォンに関する。こうしたコンデンサマイクロフォンを、可能な限り最小の寸法で、高い信号ノイズ比を持ち、電気音響パラメータを劣化しないで構築するためには、本発明によれば、マイクロフォンハウジングは、２つのハウジング部を有し、第２ハウジング部は、第１ハウジング部より大きな直径であり、第２ハウジング部は、第１ハウジング部の上にキャップ状またはスリーブ状に配置されており、そして、ダイヤフラムのエッジは、第１ハウジング部のエッジ上で折り曲げられて、第１ハウジング部の外面に固定されることが提案される。
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