【課題】後端面が基板の上面に対して垂直またはほぼ垂直で、前端面において、基板の上面により近い第１の端部が、基板の上面からより遠い第２の端部に比べてトラック幅方向の幅が小さい形状の主磁極を容易に形成する。
【解決手段】第１の開口部を有する第１のエッチングマスクを用いて、ＲＩＥによって初期収容層２０Ｐをエッチングして溝部２０Ｐ１を形成する。次に、溝部２０Ｐ１が収容部になるように、第２の開口部を有する第２のエッチングマスク５４を用いて、ＲＩＥによって初期収容層２０Ｐの溝部２０Ｐ１を含む部分をエッチングする。次に、収容部内に主磁極を形成する。第１のエッチングマスクは、トラック幅方向について第１の間隔をあけて対向する第１および第２の側壁を有する。第２のエッチングマスク５４は、第１の間隔よりも大きい第２の間隔をあけて対向する側壁５４ａ，５４ｂを有する。 （もっと読む）

【課題】
書き込み電流切り替えの書き込み電流オーバーシュートのための強化コンデンサをスライダ本体に有する垂直磁気記録書き込みヘッドを提供する。
【解決手段】
磁気記録ディスクドライブのヘッドキャリア上の書き込み強化回路は、書き込みドライバ回路により提供されるオーバーシュートを超えて、追加の書き込み電流オーバーシュートを提供する。強化コンデンサには、蓄電板として機能する２つの導電透磁性シールド材料層の間に誘電層が形成される。書き込み強化回路は強化抵抗も含み得る。強化コンデンサおよび強化抵抗は、書き込みヘッドコイルに接続する、ヘッドキャリア上の２つの端子の間に接続される。 （もっと読む）

【課題】スピン蓄積磁気センサのための三端子設計を提供する。
【解決手段】自由層をエアベアリング面に設けることを可能にする三端子設計を有するスピン蓄積センサ。（ＡＢＳに設けられた）自由層構造から、ＡＢＳから離された基準層構造にかけて、非磁性の伝導性スピン輸送層が広がる。センサは、基準層構造に電流を印加するための電流源または電圧源を含む。電流源または電圧源は、非磁性のスピン輸送層に、かつ電気的接地にも接続されたリードを有する。信号電圧を測定するための回路は、自由層構造に電気的に接続されたシールドと、接地との間の電圧を測定する。自由層構造は、電圧源へのリードに到達する前に全てのスピン電流が完全に散失されることを保証することによって、電圧源へのスピン電流の分流を阻止する、スピン拡散層を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】ヒータへの供給電力に対する残留ＰＴＰを抑制する。
【解決手段】磁気ヘッド１４０が、磁極層１４０Ａと、コイル層１４０Ｂと、ヒータ層１４０Ｃと、非磁性部材１４５とを備えた。磁極層１４０Ａは、層に沿って延びた主磁極１４２Ａを有するものである。コイル層１４０Ｂは、主磁極１４０Ａの回りを周回するコイル１４２Ｂの一部を成す複数の導線パターン１４２Ｂ＿１と隙間を埋めたレジスト樹脂１４２Ｄとを有するものである。ヒータ層１４０Ｃは、複数の導線パターン１４２Ｂ＿１が形成されたコイル形成領域に沿った箇所と、コイル非形成領域に沿った箇所とを経由して層中を延びたヒータ１４４を有するものである。非磁性部材１４５は、コイル非形成領域中の、ヒータ１４４が隣接する箇所に設けられた、ガラス転移点を有しない非磁性材料からなるものである。 （もっと読む）

【課題】記録トラック幅の狭小化に伴い主磁極膜厚を薄膜化した場合でも、記録特性を劣化させることのない垂直記録磁気ヘッドを提供する。
【解決手段】主磁極１３上に磁界補助磁極２２と非磁性層２３を積層し、磁界補助磁極と非磁性層の浮上面側の側面に非磁性部２４を設ける。浮上面近傍を除く領域において、非磁性部２４及び非磁性層２３により、主磁極とシールド１６の間隔を広げ、磁界ロスを防止して、磁界強度及び磁界勾配を向上する。 （もっと読む）

【課題】ライト素子が磁気ディスク側に突出しても、ライト素子およびリード素子と磁気ディスクとの接触を防止することができる磁気ヘッドを提供すること。
【解決手段】磁気ヘッドのライト素子３の周辺の浮上面近傍に剛性の高い絶縁材料で形成された第１の絶縁部材８−１を配置し、第１の絶縁部材８−１周辺の浮上面近傍の一部に剛性の低い絶縁材料で形成された第２の絶縁部材４を配置する。第２の絶縁部材４上には剛性の高い絶縁材料で形成された表面層８−２が形成される。磁気ヘッドの浮上面が研磨されると、第１の絶縁部材８−１の領域がより研磨され凹部となる。 （もっと読む）

【課題】ヒータによる効率の良い突き出しを確保しつつ、ライトコイル通電時の不要な熱突き出しを低減させる磁気ヘッドを提供すること。
【解決手段】ヒータとヘッド基板の間にある絶縁層よりも熱伝導率が低い断熱層をヒータとヘッド基板の間に配置し、シールドよりも熱伝導率が高い放熱層をライトコイルとヘッド基板の間に配置する。 （もっと読む）

【課題】主磁極の絞り部形状を高精度に形成することが可能な磁気ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、基板１１上に薄膜を順次積層して形成した基体６上に、磁気シールド１８および補助磁極１９を形成する工程と、前記磁気シールド１８および前記補助磁極１９が被覆されるように、絶縁層３６を形成する工程と、少なくとも前記磁気シールド１８と前記補助磁極１９との間に位置する絶縁層３６を、該絶縁層３６の上面が該磁気シールド１８および該補助磁極１９の上面よりも低くなるまでウェットエッチングする工程と、前記磁気シールド１８、前記補助磁極１９および前記絶縁層３６上に、鍍金ベース２０を介して主磁極２１を形成する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】リフトオフパターンを設けてリード素子を形成する工程において、リフトオフパターンを容易に除去することを可能とし、磁気ヘッドの製造工程を効率化する。
【解決手段】基板上に形成した磁気抵抗効果膜上にリード素子１２のパターンにしたがってマスクパターン１３０を形成する工程と、前記マスクパターン１３０をマスクとして、前記リード素子１２のパターンに前記磁気抵抗効果膜層をパターン形成する工程と、前記マスクパターン１３０が被着された状態において、絶縁膜１４あるいは磁性膜１６を成膜する成膜工程と、研磨パッド２０に水２２を供給して研磨する方法を利用して、前記マスクパターン１３０を除去する研磨工程とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、垂直磁気記録方式で磁気記録動作を行う薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法並びにヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置において、ライトシールド層が突出することを抑制して、ヘッドスライダの記録媒体表面からの浮上量を縮小できるようにする。
【解決手段】
薄膜磁気ヘッド３００は、記録媒体に対向するエアベアリング面の側に磁極端面を有する主磁極層と、エアベアリング面の側において主磁極層に対向するライトシールド層と、主磁極層とライトシールド層との間に形成されているギャップ層と、ライトシールド層または主磁極層の周りに巻回された薄膜コイルとが基板上に積層された構成を有している。この薄膜磁気ヘッドは、薄膜コイルがエアベアリング面からの距離が異なる位置に配置されている複数のターン部を有し、感光性樹脂よりも熱膨張係数の小さい絶縁性の材料からなる非膨張部がターン部同士の間に形成されている。 （もっと読む）

【課題】再生ヘッドと記録ヘッドが複合された複合ヘッドとヒータとを内蔵したヘッドスライダにおいて、ヒータ通電時の再生ヘッドとディスクとの距離を低減する。
【解決手段】ヘッドスライダ１５の空気の流出側に隣接して設けられる支持体１５Ｓに、再生ヘッド１３と記録ヘッド１９の両方が設けられているヘッドスライダ１５において、再生ヘッド１３の空気の流入側と流出側に一対のヒータ３１，３２を、再生ヘッド１３を挟むように設けると共に、記録ヘッド１９の空気の流入側と流出側に一対のヒータ３３，３４を、記録ヘッド１９を挟むように設け、更に、ヒータ３２とヒータ３３の間の支持体１５Ｓに、支持体１５Ｓよりも熱膨張係数が低い熱膨張材４０を配置したものである。ヒータ３１〜３４への通電時に再生ヘッド１３、記録ヘッド１９が共にディスク側に大きく近づき、ヘッドスライダ１５の再生、記録の性能が向上する。 （もっと読む）

【課題】書き込みトラック幅を容易に狭小にすることができる薄膜磁気ヘッドを提供するする。
【解決手段】薄膜磁気ヘッド４０は、第１磁極層１０と、第２磁極層２６と、記録ギャップ層２５と、薄膜コイル１１６とが積層された構成を有している。下部磁極層１０と上部磁極層２６とは、磁気的に連結され、それぞれ第４下部磁極部１０ｄと、第１上部磁極部２６ａとを有している。薄膜コイル１１６は、第１導体部１１２と、第２導体部１１１とを有し、下部磁極層１０と第１導体部１１２との間に第２導体部１１１が配置され、かつ下部磁極層１０および第１導体部１１２と、第２導体部１１１とが分離用絶縁膜１５を介して接触している。 （もっと読む）

【課題】トレーリングシールドにおける磁束の飽和を抑制することにより、記録性能を向上させることが可能な垂直磁気記録ヘッドを提供する。
【解決手段】傾斜面２１ｓを有するテーパ主磁極層２１と、その傾斜面２１ｓと同一面内に位置する傾斜面２２ｓを有するテーパ非磁性上部形状層２２と、記録ギャップ層２３と、トレーリングシールド２４とがこの順に積層された構造を含む。テーパ主磁極層２１がテーパ部を有しているため、記録磁界の強度が高くなる。また、トレーリングシールド２４とテーパ主磁極層２１との間にテーパ非磁性上部形状層２２が挿入されているため、そのトレーリングシールド２４において磁束が飽和しにくくなる。さらに、テーパ主磁極層２１だけでなくテーパ非磁性上部形状層２２もテーパ部を有するため、そのテーパ部を有しない場合よりも有効スロートハイトを制御しやすくなる。 （もっと読む）

【課題】 薄膜コイルのコイル巻回体の間隔を狭くし、コイル巾を狭くし、磁路長を短くして性能を改善した薄膜磁気ヘッドおよびそれを容易かつ正確に製造する方法を提供する。
【解決手段】 下部ポールおよび上部ポールとを磁極部分ではライトギャップ膜を介して対向させ、バックギャップで橋絡部を介して結合し、下部ポールおよび上部ポールの間に配設された部分を有する薄膜コイルを、第１の薄膜コイル半部と、この第１の薄膜コイル半部の順次のコイル巻回体の間に層間絶縁膜を介して自己整合的に形成され、一部分が、ＣＶＤまたはスパッタリングで形成された第１の導電膜および電解メッキで形成された第２の導電膜を含む２層構造を有するコイル巻回体を有する第２の薄膜コイル半部とで構成する。 （もっと読む）

【課題】表皮効果による損失・発熱を低減しえる高周波対応の薄膜デバイス、特に薄膜磁気ヘッドを提供すること。
【解決手段】薄膜素子９０及びリード導体膜（９５、９１０）、（９６、９２０）は、絶縁膜９７１、９７２の内部に埋設されている。リード導体膜（９５、９１０）、（９６、９２０）は、一端が接続部を構成し、他端が薄膜素子９０に接続され、一端と他端との間に、その体積の一部を、絶縁物９７１、９７２によって占有して表面積を拡大した表面積拡大部Ａ１、Ａ２を有する。 （もっと読む）

【課題】半導体プロセスで製造される主磁極とストッパ層との境界を明瞭にして主磁極の幅を正確に測定可能とする。
【解決手段】垂直磁気記録ヘッドにおける鍍金層として形成された主磁極７２のコア幅方向の両側面に、ＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、ダイヤモンドライクカーボン等の第１の無機絶縁層７４を介してストッパ層７６を形成し、走査型電子顕微鏡により観察した際に、主磁極７２とストッパ層７６の間に形成した第１の無機絶縁層７４を目立たせて、第１の無機絶縁層７４の間隔をコア幅Ｗとして高精度に測定する。
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【課題】主磁極の高さの精度向上が図られた磁気記録装置の製造方法を提供する。
【解決手段】磁気記録装置の製造方法は、（ａ）下地層の上方に、下地層から突き出した形状を有し、磁気記録装置のヘッドの磁極となる磁性層を形成する工程と、（ｂ）磁性層の少なくとも頂部の上に、ストッパ層を形成する工程と、（ｃ）頂部上にストッパ層が形成された磁性層を覆うように、下地層の上方に絶縁層を形成する工程と、（ｄ）頂部上のストッパ層が露出するまで、絶縁層を研磨する工程と、（ｅ）露出した頂部上のストッパ層を除去する工程と、（ｆ）絶縁層上に、磁性層と同等な研磨レートを有する材料で犠牲層を形成する工程と、（ｇ）犠牲層及び磁性層を同時に研磨する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】ボイド等の欠陥をなくし、一様な組成の主磁極を備えた垂直磁気ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】記録ヘッド２０と、記録ヘッド２０内に設けられ、対向する記録媒体６０の磁気記録層に対して垂直の磁界を印加する主磁極２６とを有する垂直磁気ヘッド１の製造方法において、記録ヘッド２０の基板２１上に非磁性導電層２４を形成する工程と、この非磁性導電層２４上に絶縁層２３を形成する工程と、この絶縁層２３の一部を除去して断面Ｖ字型又は下底が上底よりも短い台形形状の溝３９を設ける工程と、この記溝３９内にめっき法によって磁性体を埋め込んで主磁極２６を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】有機絶縁材料の剥離の発生を抑制しつつ、性能のばらつきの発生を抑制することが可能な薄膜磁気ヘッドを提供すること。
【解決手段】薄膜磁気ヘッド１は、下部磁極層４２と、上部磁極層４４と、第１薄膜コイル４６とを備える。第１薄膜コイル４６を構成する導線のうち隣り合う導線間には、有機絶縁材料であるレジスト膜５６が介在している。第１薄膜コイル４６は、最小幅部分４６ａと、最大幅部分４６ｂとを有する。最小幅部分４６ａは第２上部磁極部４４ｂよりもエアベアリング面Ｓ側に配置され、最小幅部分４６ａの上面は全てレジスト膜５６によって覆われている。最大幅部分４６ｂは第２上部磁極部４４ｂよりもエアベアリング面Ｓとは離れた側に配置され、最大幅部分４６ｂの上面にはレジスト膜５６によって覆われていないレジスト非被覆領域Ｄ１が形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ウェハ上に形成される磁気ヘッド素子に関し、必要な層が絶縁されているか否かを磁気ヘッド素子を破壊することなく測定する。
【解決手段】本発明は、ウェハに形成された磁気ヘッド素子の電気的な絶縁を測定する絶縁特性測定方法であって、該磁気ヘッド素子は上部磁極層と、下部磁極層と、該上部磁極層と該下部磁極層との間に配置された絶縁層と、該絶縁層中に導電材料で構成されたコイル層とから構成され、該磁気ヘッド素子の少なくとも１つは、上部磁極層と下部磁極層とが電気的に絶縁され、該少なくとも１つの磁気ヘッド素子の該上部磁極層、該下部磁極層及び該コイル層の各層には絶縁を測定する電極の端子が接続され、該電極によって、磁気ヘッド素子の絶縁特性を測定する。そのため、磁気ヘッド素子において、絶縁されていることが必要な層が絶縁されているか否かを推測することができる。 （もっと読む）