【課題】 フラットパネルディスプレイ用のマザーガラス基板や半導体ウエハ等の平板状物品を始めとする種々の搬送品を、完全に無接触として高度な清澄状態を保って搬送でき、浮揚の負荷容量が大きく搬送手段としての信頼性に優れ、搬送速度や方向の制御が容易で設計自由度も大きい無接触搬送装置を提供する。
【解決手段】 搬送路１上で搬送品Ｐを下方から放出する流体Ｆの圧力によって浮揚させる流体圧浮揚手段と、搬送路１に沿って配設される弾性振動板４と、弾性振動板４に超音波振動を与えて撓み進行波Ｗを励起させる励振アクチュエータ５，５とを備え、撓み進行波Ｗを励起している弾性振動板４と、振動板４に対向した搬送品Ｐ表面との間に発生する音響粘性流Ｓにより、搬送路１上で浮揚している搬送品Ｐを所定方向へ搬送する。 （もっと読む）

【課題】 機械加工装置にワークを固定保持する加工テーブルにおいて、加工テーブル全体にほぼ均一な超音波振動を与え、機械加工速度および加工精度を向上させることを提供すること。
【解決手段】 超音波振動テーブル９は、アルミ製のテーブル１０、フロントマスがステンレス材料であるＳＵＳ３０４である４個のボルト締めランジュバン型超音波振動子１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄそしてベース台１１で構成されている。アルミ製のテーブル１０と４個のボルト締めランジュバン型超音波振動子１は、ネジまたはエポキシ樹脂などで接合する。４個のボルト締めランジュバン型超音波振動子１と制振合金製のベース台１１はネジで接合する。 （もっと読む）

外形寸法の増加を避けつつ、振動振幅が大きく、共振周波数の調整が可能であり、高信頼性を有する圧電アクチュエータを提供する。
圧電アクチュエータは、電界の状態に応じて少なくとも対向する２つの面が伸縮運動をする圧電体３ａを有する圧電素子１ａと、圧電素子１ａを２つの面の少なくともいずれかで拘束する拘束部材２１ａと、拘束部材２１ａの周囲に設けられた支持部材４ａと、両端の各々を拘束部材２１ａと支持部材４ａとに固定され、拘束される面と略平行な方向に曲げの中立軸を有する複数のはり部材２２ａとを有する。
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