【課題】 本発明は焼成工程における反りが少ない回路基板を提供する。
【解決手段】複数の誘電体層１a〜1eが積層して成る積層体基板１の裏面に形成された、複数の分割導体膜７ａ〜７ｄ及び接続導体膜１２とから構成されるグランド導体膜７を形成した。 （もっと読む）

【課題】 平行配線群を有する多層配線基板では、配線間隔が狭くなると隣接する信号配線間でクロストークノイズが発生してしまう。
【解決手段】 第１の平行配線群Ｌ１を有する第１の絶縁層Ｉ１上に、第１の平行配線群Ｌ１と直交する第２の平行配線群Ｌ２を有する第２の絶縁層Ｉ２を積層し、第１・第２の平行配線群Ｌ１・Ｌ２を貫通導体群Ｔで接続して成り、第１および第２の平行配線群Ｌ１・Ｌ２はそれぞれ複数の信号配線Ｓ１・Ｓ２と、各信号配線Ｓ１・Ｓ２に隣接する電源配線Ｐ１・Ｐ２または接地配線Ｇ１・Ｇ２とを有するとともに、これら信号配線Ｓ１・Ｓ２に隣接する電源配線Ｐ１・Ｐ２または接地配線Ｇ１・Ｇ２の配線導体の厚みを信号配線Ｓ１・Ｓ２より厚くした多層配線基板である。信号配線Ｓ１間ならびにＳ２間のクロストークを効果的に低減できる。 （もっと読む）

【課題】 平行配線群を有する多層配線基板では、隣接する信号用貫通導体間で平行配線群の信号配線間よりも大きなクロストークノイズが発生してしまう。
【解決手段】 第１の平行配線群Ｌ１を有する第１の絶縁層Ｉ１上に、第１の平行配線群Ｌ１と直交する第２の平行配線群Ｌ２を有する第２の絶縁層Ｉ２を積層し、第１・第２の平行配線群Ｌ１・Ｌ２を貫通導体群Ｔで接続して成り、第１・第２の平行配線群Ｌ１・Ｌ２はそれぞれ信号配線Ｓ１・Ｓ２と、それに隣接する電源配線Ｐ１・Ｐ２または接地配線Ｇ１・Ｇ２とを有するとともに、接地配線Ｇ１を挟んで隣接する２つの信号配線Ｓ１を対応する信号配線Ｓ２にそれぞれ接続する信号用貫通導体Ｔ１間に、これら信号用貫通導体Ｔ１間に挟まれた接地配線Ｇ１に一端が接続され、他端が開放された補助貫通導体Ｔｓを配設した多層配線基板である。信号用貫通導体Ｔ１間のクロストークを効果的に低減できる。 （もっと読む）

【課題】 圧着不良を防止し、寸法精度を向上するセラミック多層基板の製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】 圧着時に、外溝４４および内溝４５によりグリーンシート積層体を拘束し、脱気溝４７によりグリーンシート積層体の脱気を行う。このため、圧着時に、グリーンシート積層体の伸びおよび変形が低減されると共に、圧着時の加熱によりグリーンシート積層体に含有される溶剤が気化しても、この気化した溶剤ガスはグリーンシート積層体の内部から外部に排出される。したがって、グリーンシートが剥離したり、ふくれが発生したりすることを防止して圧着不良を防止し、グリーンシート積層体の寸法精度を向上することができる。さらに、拘束部４３に外溝４４および内溝４５を形成し、外溝４４および内溝４５を横切るように脱気溝４７を形成すればよいので、製造設備が安価であり、製造が容易で、製造工数を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】セラミック系の配線基板において、配線回路層の微細配線化、低抵抗化を達成でき、かつ配線回路層の絶縁基板への接着強度が高い配線基板とそれを歩留り良く作製することのできる配線基板の製造方法を提供する。
【解決手段】セラミック系絶縁基板２の少なくとも表面に、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｌ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｐｔ及びＰｄから選ばれる少なくとも１種からなる金属含有量が９９重量％以上の金属箔などからなる高純度金属導体からなる配線回路層３を絶縁基板２表面と同一平面となるように埋設してなるとともに、配線回路層３の配線方向に直交する断面が逆台形形状からなり、その逆台形形状における下底６と横辺７とがなす形成角αを４５〜８０°とし、特に、表面配線回路層３ａの絶縁基板２への埋設側の平均表面粗さを２００ｎｍ以上、絶縁基板２の４０〜４００℃における平均熱膨張係数を６ｐｐｍ／℃以上とする。 （もっと読む）

【目的】 マイクロ波及びミリ波等の高周波の信号を伝達するための伝送線路を有する配線基板において、伝送線路からの信号やノイズの漏れを効果的に防止するとともに、伝送線路近傍の気密性の低下を防止した信頼性の高い伝送線路を基板内部に内蔵可能な配線基板を提供すること。
【構成】 ストリップ線路と、該ストリップ線路を包囲するように形成された誘電体層と、該誘電体層を上下から挟む２つのグランド線路と、該両グランド線路間を導通接続するとともに、前記誘電体層を左右から挟む２つの長孔状ビア導体とからなる伝送線路（いわゆるストリップライン構造）を形成した配線基板とする。 （もっと読む）

【課題】 低温焼結セラミック基板との接合性に優れ、熱伝導性、電気伝導性、誘電性に関して所望の特性を有し、基板強度や基板特性に優れたセラミック多層基板を提供すること。
【解決手段】 ＢＡＳ等の低温焼結セラミック材料にＣｕ、Ａｇ等の低融点金属を混合してなるセラミック層１１と、前記低温焼結セラミック材料を主成分とする低温焼結セラミック基板１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ及び１２ｅとを積層、焼成してなるセラミック多層基板１０。 （もっと読む）

【課題】銅を含む低抵抗、且つ良熱伝導体からなるサーマルビアを絶縁基板との同時焼成により形成可能な安価な配線基板とその製造方法を提供する。
【解決手段】酸化アルミニウムを主成分とし、所望によりＭｎＯ₂ を２〜１０重量％の割合で含有する相対密度９５％以上のセラミックスからなる絶縁基板１と、絶縁基板１の表面に搭載される発熱性素子４から発生した熱を放熱するために絶縁基板１表面から裏面に貫通するように形成された直径が０．１〜０．３ｍｍのサーマルビア２を具備し、サーマルビア２を銅１０〜７０体積％、タングステンおよび／またはモリブデンを３０〜９０体積％の割合で含有してなる良熱伝導体によって絶縁基板１と同時焼成して形成する。 （もっと読む）

【課題】 低温焼結セラミックグリーンシートとの同時焼成後に隆起、亀裂、セラミック割れ等が発生しにくい導体ペーストを提供すること。
【解決手段】 導体粉末と有機ビヒクルとからなる導体ペーストであって、前記導体粉末が、酸化銅粉末を６０．０〜８０．０重量％、銅粉末を２０．０〜４０．０重量％、それぞれ混合してなる導体ペースト。或いは、酸化銅粉末を５５．０〜７９．５重量％、銅粉末を２０．０〜４０．０重量％、酸化ニッケル、パラジウム及びタングステンからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属粉末を０．５〜５．０重量％、それぞれ混合してなる導体ペースト。 （もっと読む）