Fターム[5F031HA56]の内容
ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 処理時の固着、保持 (16,861) | ステージ、チャック、サセプタ (15,090) | 動作 (3,584) | 微動テーブル以外のステージの動作 (2,482)
Fターム[5F031HA56]の下位に属するFターム
水平方向への移動 (750)
垂直方向への移動 (646)
回転 (890)
ステージが処理室への搬出入部を兼ねるもの (155)
Fターム[5F031HA56]に分類される特許
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リソグラフィシステムにおけるユーティリティ輸送システム
リソグラフィシステムにおいて、ステージに影響を与える物理的な外乱を最小化しながら、レチクルステージ又はウエハステージにあるいはレチクルステージ又はウエハステージからユーティリティを輸送する技術が記述される。これらの技術は、ステージと物理的に接触することなく、ステージに又はステージからユーティリティを輸送することを含む。また、ユーティリティは、ステージが静止位置にある間に、ステージと物理的に接触することによって輸送される。ステージに又はステージからユーティリティを輸送することに加えて、処理装置、バッファ(記憶媒体)、電気構成要素、及び機械構成要素をステージ内に配置して、輸送されたユーティリティを使用又は制御することができる。
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