Fターム[5F031MA13]の内容
ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 (111,051) | 処理装置 (13,378) | 装置へのウエハ等のローディング部 (643) | ローディング部の搬送系 (401)
Fターム[5F031MA13]に分類される特許
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複数のロボットを用いた加工システムのスケジュール
【課題】複数のロボットを用いた加工システムのスケジュール用の技術を提供する。
【解決手段】ロボット20を用いた製造システム10であって、製造プロセスの一連のステージ14間で材料を搬送するために複数のロボット20を備えていてもよい。効率を向上させるため、これらロボット20の各々は、加工の流れとは逆に、操作の周期的なスケジュールに従って、独立して操作されてもよい。
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