説明

Fターム［5F046GC00］の内容

半導体の露光（電子、イオン線露光を除く） (57,085) | Ｘ線源 (525)

Fターム［5F046GC00］の下位に属するFターム

電子線をターゲットに当てるもの (8)
プラズマＸ線源 (486)
シンクロトロン（ＳＯＲ） (2)
その他 (29)

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