電子ビーム露光 (6,230) | 露光方式 (1,366)

直接描画方式 (1,001)
パターンマスクによる転写方式 (209)
複数の露光方式を併用するもの (6)
複数のビーム源を持つもの (123)
複数チップを同時に露光するもの (3)
その他の方式 (24)