【課題】送風手段より発生するオイルミストの影響を低減し、安定なレーザ出力が可能なレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】送風手段１０を備えたレーザ発振装置において、運転開始時に第１ガス排気通路３１の電磁弁３２および第２ガス排気通路３３の電磁弁３４を閉めた状態でガス排気手段３６により送風手段１０の駆動部の大気を一定時間排出し、ガス排出量調整手段３５の詰まりを差圧検出手段４２の圧力変化で検出し、差圧検出手段４２の圧力が所定圧力以下の場合に警報を発生させる警報手段４３を設けた。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ加工機に用いられるガスレーザ発振装置の高出力化に伴う誘電体に印加される熱応力を緩和した発振用電極構造を提供する。
【解決手段】放電空間５５に対向して設けられた放電電極１ａ、１ｂを収納する容器２ａ、２ｂのフランジ面２１に段付部３０を有する誘電体３ａ、３ｂが固定具４ａ、４ｂを介し、締付ボルト５によって真空タイトに取り付けられており、固定具４ａ、４ｂには、所定の隙間Ｓ、Ｓ２を有して誘電体３ａ、３ｂの段付部３０に当接する第１の突起部４１，フランジ面２１に当接する第２の突起部４２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】導波管を多段配置した構成において、半透鏡、反射鏡及び全反射鏡による反射損失を低減してレーザ光の出力効率を向上する。また、装置自体を小型化する。
【解決手段】導波管を複数の分割導波管とする。各分割導波管は、互いに連続するように一方の端部を近接させて折り返し状となるように傾斜配置する。分割導波管相互の接続箇所に、互いの光軸が一致するようにレーザ光を反射する中間反射鏡を設ける。 （もっと読む）

【課題】 レンズ材料やその表面への負荷が少なく、かつ、ミラーもしくはレンズスキャンの制御系を簡略にすることができ、かつエキシマレーザ の寿命が十分長くなって量産の使用に耐えるエキシマレーザ 発振装置及び発振方法並びに露光装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 Ｋｒ，Ａｒ，Ｎｅから選ばれた１種以上の不活性ガスとＦ₂ガスとの混合ガスからなるレーザガスを収納するためのレーザ管２からなるレーザチャンバ２０と、該レーザチャンバ２０を挟んで設けられた一対の反射鏡５，６からなる光共振器とを有するエキシマレーザ 発振装置において、レーザガスを収容するためのレーザチャンバ２０の内面を、２４８ｎｍ，１９３ｎｍ，１５７ｎｍといった所望の波長の光に対する無反射面とするとともに、該内面の最表面をフッ化物で構成し、レーザチャンバ２０内のレーザガスを励起するためのマイクロ波の導入手段（導波管１）を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

従来設けられたものよりもいっそうコンパクトな構造体になるようにして電極と少なくとも１つの側壁とによって形成することのできるレーザ導波管。電極における突出部によって、いっそう容易なレーザ始動が可能になり、また、分割型の側壁によって、側壁のいっそう容易な組立が可能になり、製造コストが削減される。
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【課題】 従来のＡＦＧＬＯは、ＤＴ内でのレーザガス流が、ＤＴの中心部あるいは外周部のどちらかに偏ってしまう傾向がある。そのため、均一なガス流は実現出来ていない。したがって、エネルギー効率をより高めることができないという課題が有った。
【解決手段】 放電管のレーザガス入り口近傍の、前記レーザガス流路のガス流方向に対して垂直方向の幅をＢ、前記放電管の内径をＡとした時、
１．１Ａ ＜ Ｂ ＜ １．７Ａ
とすることにより、ＤＴ内のレーザガス流を均一化でき、大幅なレーザ発振効率の向上およびレーザ出力の増大を実現できる。 （もっと読む）

【課題】 レンズ材料やその表面への負荷が少なく、かつ、ミラーもしくはレンズスキャンの制御系が簡略にすることができる連続発光エキシマレーザ発振装置を提供すること。
【解決手段】 Ｋｒ，Ａｒ，Ｎｅ等の不活性ガスとＦ₂ガスが混合され、レーザ ガスを収納するためのレーザチャンバと、一対の反射鏡からなる光共振器とを有するエキシマレーザ発振装置において、該レーザガスを収容するためのレーザチャンバの内表面をフッ化物で構成し、かつ２４８ｎｍ、１９３ｎｍといった所望の波長の光に対する無反射面とするとともに、該レーザーガスを連続的に励起するためのマイクロ波の導入手段を設けた、出力側反射鏡前記波長の光に対する９０％以上の反射率としたことを特徴とする。レーザガスは連続的に供給することが好ましく、また、Ｆ₂濃度は、１〜６％、圧力を数１０Ｔｏｒｒ〜１ａｔｍが 好ましい。 （もっと読む）