【課題】外気温によらず運転開始直後よりミラー角度を一定に保つことで、常に高品質のレーザビームを生成し、安定したレーザ加工を実現する。
【解決手段】調整板の冷却部材取り付け部の厚みをそれ以外の部分の該２倍以上の寸法とし、支点および角度調整ネジ取り付け部の厚みおよび長さは同一とし、前記支点および角度調整ネジの材質は、調整板材質の熱膨張率よりも小さくする。また調整板に備えられた温度センサと、冷媒量制御手段とを備え、温度センサの検出信号に応じて、冷媒量を制御、または放電開始後一定時間の間は冷媒量を絞った状態で流し、一定時間後に通常流量の冷媒を流す制御を行なう事を特徴とするガスレーザ発振装置またはガスレーザ加工機である。 （もっと読む）

【課題】大型化および複雑化することなしに、レーザの光強度分布データを測定する。
【解決手段】レーザ加工機（１００）のレーザ発振器（２）は、放電作用によりレーザガスを励起する放電管（９）と、部分透過性を有していて放電管内においてレーザを増幅するリア鏡（６）および出力鏡（８）と、リア鏡の後方に配置された部分反射鏡（１１）と、部分反射鏡により反射されたレーザおよび部分反射鏡を通過したレーザのうちの一方の出力を検出するレーザ検出部（５）と、部分反射鏡により反射されたレーザおよび部分反射鏡を通過したレーザのうちの他方を受光して受光面（１２ａ）におけるレーザの光強度分布データを測定するプロファイラ（１２）とを含む。 （もっと読む）

【課題】ＣＯ２レーザを励起光源に用いてエキシマレーザやフッ素レーザを連続発振できるレーザ装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一実施例であるエキシマレーザ発振器１００では、励起用のＣＷ＿ＣＯ２レーザからのレーザ光ＬＣ１を、エキシマガスが満たされたチャンバ１０１内で、金コートが施された穴付き反射鏡１０８によって、共振器間で集光させたものである。 （もっと読む）

開示する主題の態様は、プリズムの第１の反射面上にある第１の入射点と、プリズムの第１の反射面及び第２の反射面の間に形成されて面取り面を有する面取りコーナとの間の第１の距離を増大する段階、プリズムの第２の反射面上にある第２の入射点と面取りコーナの間の第２の距離を増大する段階、及びプリズムの面取りコーナの面取り面の反射率を増大する段階のうちの少なくとも１つから構成されるビーム反転器プリズムのレーザ吸収を低減する方法を含む。光学構成要素のプライムカットを判断する方法も開示する。少なくとも１つのプライムカット光学構成要素を含むレーザも開示する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡易な方法でレーザガスのガス組成の異常を判断でき、放電管に損傷が生じることを防止することができるガス組成異常判断方法及び放電励起ガスレーザ発振器を提供する。
【解決手段】レーザ発振器１の立ち上げ時、レーザガス６が定常運転時の高い圧力より低い圧力で放電励起を開始した後、定常運転時の高い圧力より低い任意の圧力で、放電管７へ供給する高周波電源ユニット３の実際の出力値を検出する電流検出部２２と、検出した実際の電流値と、レーザガス６のガス組成が正常であるときに、実際の電流値を検出した圧力と同一圧力で検出された正常な電流値とを比較する出力比較部と、実際の電流値と正常な電流値との差分が設定値以上のとき、レーザガス６のガス組成が異常であると判断して、高周波電源ユニット３の出力を停止する電源制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、高熱により放電管などの部品の損傷を生じることなく、従来の最大出力指令より高い指令領域を有効に活用することにより、比較的簡単な構成で、パルス指令時のレーザ出力を高めることができる高周波放電励起ガスレーザ発振器を提供する。
【解決手段】 レーザ電源１５と放電管３ａ，３ｂとの間に位置して、レーザ電源１５から放電管３ａ，３ｂへの供給電力を検出するＲＦ電力検出回路１８と、レーザ電源１５の上流側に位置し、放電管温度と供給電力との関係から求められた供給電力の許容上限値とＲＦ電力検出回路１８により検出された電力モニタ値とを比較して、電力モニタ値が許容上限値より高い場合に放電管３ａ，３ｂへのパルス指令値を停止し、許容上限値に基づいてパルス指令値を設定するパルス指令制御回路１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】 経時変化によって部分反射鏡やミラー等の光学部品の光吸収率が増加し、それによる屈折率の変化が生じてビームの特性変化が生じるのを防ぐ炭酸ガスレーザ装置を得る。
【解決手段】 本発明の実施の形態１においては、真空容器１内に設けられた一対の放電電極４と、真空容器１内を充填された炭酸ガスであるレーザ媒質２と、一対の放電電極４の電位差によってレーザ媒質が放出した光を反射及び通過をさせるとともに、放電電極４と対向するセレン化亜鉛で構成された面が酸素を透過させない皮膜よって覆われた部分反射鏡６を備えた。 （もっと読む）