【課題】性能を落とすことなく小型化が可能なセンサ、太陽電池等の電気素子と、電気素子を容易に製造する方法を提供する。
【解決手段】柱状体２に、蒸着、或いは半導体の溶融、溶解又はゲル状態の半導体８をコーティングする。その回りに、４本の絶縁線６、例えば糸を縞状に接合したものを巻き付ける。次に１本の絶縁線６をはがして、その跡に銅を蒸着して銅線９を形成する。最後に銅線９に隣接しない絶縁線をはがして、その跡にアルミニウムを蒸着してアルミニウム線１０を形成する。そして銅線９、アルミニウム線１０の間の抵抗値を測ることにより、半導体８に照射している光の強度を知ることができる。４本の絶縁線の太さを調整することにより、銅線９、アルミニウム線１０のそれぞれの直径、及びその間隔を決めることができ、設計とシミュレーションの作業が容易になる。また絶縁線６として細い糸を用いることにより、小型の光センサを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】半導体ナノ粒子埋め込みＳｉ絶縁膜からなる高性能な光検出器、および、それに用いる安定性かつ信頼性のある半導体ナノ粒子埋め込みＳｉ絶縁膜の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体ナノ粒子埋め込み絶縁膜を用いる光検出器１００であって、底部電極１０２と、底部電極１０２の上に重なり、ＮおよびＣからなる群から選択された元素を含む半導体ナノ粒子埋め込みＳｉ絶縁膜１０４と、半導体ナノ粒子埋め込みＳｉ絶縁膜１０４の上に重なる上部電極１０６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】紫外／可視光ブラインド比を向上させたダイヤモンド紫外線センサー素子とその製造方法を提供する。
【解決手段】ダイヤモンド単結晶を受光部とし、この受光部に照射される光によって生じる電気抵抗の変化で光を検出するダイヤモンド紫外線センサー素子の製造方法であって、（１）ダイヤモンド単結晶の表面を実質的に水素を含む雰囲気中で水素化する工程と、（２）前記水素化したダイヤモンド単結晶の表面をオゾンまたは活性酸素を含む雰囲気中に曝露することにより受光部を形成する工程と、を含むこととする。 （もっと読む）

放射線検出器が、ダイヤモンド材料の基板と、基板の表面に形成された少なくとも１つの電極とを備える。電極は、電極の材料の少なくとも一部が基板の表面の下方にあるように、基板の表面内の空洞内に堆積された導電性材料を含む。空洞は、通常、ホウ素ドープ・ダイヤモンドなどの導電性材料が堆積される細長いトレンチ又はチャネルである。いくつかの実施例では、少なくとも２つの電極が、基板の表面に互いに隣接して位置する。他の実施例では、デバイスは複数の電極を備え、複数の電極のうちの少なくとも１つは第１の表面に位置し、複数の電極のうちの少なくとも１つは基板の対向する第２の表面に位置する。後者の場合、基板の一方の表面にある電極は、基板の対向する表面にある電極に導電性ビアによって接続することができ、導電性ビアは、導電性材料で充填又はコーティングされた貫通孔からなる。典型的には、電極は相互にかみ合わされた構成で配置され、各電極は複数の細長い電極要素を有する。かかる電極要素はそれぞれ、別の電極の少なくとも１つの隣接する電極要素と平行に延びる。
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本願が記載するのは、集積回路の設計、及び、その集積回路を製造するための方法である。この集積回路は、効率が高く、雑音が低く、位置に敏感な、Ｘ線検出器のための、集積回路である。このＸ線検出器を、とりわけ医療で応用する。Ｘ線検出集積回路素子３５０は、深い凹部３５４に基づく。深い凹部３５４を、Ｘ線を検出するシンチレーター材料で満たす。浅い第１の電極３６０を、基板３５２の側壁の面に形成する。側壁は、２つの隣り合う凹部３５４を分離する。この側壁の電極３６０を、ウエハーの表面の特定の電極３６３の構造と組み合わせる。この組み合わせにより、素子３５０の側壁を完全に空乏化することになる。これにより、信号の電荷が、低容量の読み出し電極３６３に向けて移動することになる。記載の集積回路素子３５０は、効率が高い光の収集及び深さに依存しない光の収集を、確実にする。
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【課題】受光部への集光率が高い固体撮像装置を提供する。
【解決手段】固体撮像装置１において、シリコン基板２を設け、シリコン基板２の表面部の一部にＰ型ウェル３を形成し、その表面部の一部にＮ型領域４を形成する。また、シリコン基板２上に多層配線層５を設け、この多層配線層５内におけるＮ型領域４の直上域に、Ｎ型領域４に接合するようにＰ^＋型Ｓｉ層２２を設ける。そして、Ｐ^＋型Ｓｉ層２２内の不純物濃度を、Ｎ型領域４から離れるにつれて低下させる。 （もっと読む）

【課題】 容易にかつ精度よく光学素子を製造することのできる光学素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 半導体基板２２の受光面２４を除く領域を覆うカバー層４６，４７を形成した後、基板２２の受光面２４に透光層２３ａ，２３ｂを複数積層して透光部２３を形成する。次に、カバー層４６，４７とともに、透光部２３の除去部分２３Ｂを除去する。透光部２３の除去部分２３Ｂをエッチングによって除去するのではなく、カバー層４６，４７を除去することで、各透光層２３ａ，２３ｂのエッチング速度の違いにかかわらず、透光部２３の除去部分２３Ｂを精度よく除去することができる。これによってドライエッチングを行うことなく、透光部２３の残留部分２３Ａを精度よくパターン形成することができる。 （もっと読む）

【課題】 光学素子を安価に、また容易に精度良く製造することのできる光学素子の製造方法、およびそれに用いるエッチング方法を提供する。
【解決手段】 受光基板１１を準備し、受光基板１１の受光面１２および、受光基板１１の一表面のうちで受光面１２以外の部分の少なくとも一部分を覆うように透光部１３を形成する。透光部１３のうちで受光基板１１の受光面１２以外の部分を覆う部分、たとえば電極被覆部１３ａにレーザ光を照射し、孔部２４に孔を形成する。この孔部２４の孔にエッチング液を充填して透光部１３をエッチングする。これによって、ドライエッチング法を用いることなく透光部１３を精度良くエッチングすることができるので、光学素子を安価に、また容易に精度良く製造することができる。 （もっと読む）

【課題】マイクロレンズ同士が接触しない固体撮像素子の製造方法を提供し、マイクロレンズの集光効率の向上を図る。
【解決手段】基板１上に形成された複数の受光部と、これら受光部のそれぞれに入射光を集光させる複数のマイクロレンズ１３とを備える固体撮像素子の製造方法であって、基板１上の受光部の各位置にガラス系材料からなるピラー１３ａを立設し、ピラー１３ａの基板１側とは反対側の先端部を局所的に加熱溶融処理により凸曲面形状に加工することでマイクロレンズ１３を形成する。 （もっと読む）

【課題】センサのリーク電流を減らし、信号強度を上げるためのバリア層の膜厚に関して、信号出力強度への影響と、より最適な範囲を明らかにし、従来よりも出力信号が大きい赤外線センサ構造を提供すること。
【解決手段】GaAs基板１０上に形成された、ｎ型ドーピングされたInSb層１１と、該InSb層１１上に形成された、ｐ型ドーピングされたInSb層（π層）１２と、該InSb層１２上に形成された、InSb層１２よりも高濃度にｐ型ドーピングされ、かつInSb層１１、及びInSb層１２よりも大きなバンドギャップを有する材料であるAl_xIn_1-xSb層１３（０＜ｘ＜１）とを備え、Al_xIn_1-xSb層１３の膜厚が、２ｎｍ以上５０ｎｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】暗電流を少なくすることで画質が良く、生産効率の良い光電変換素子、この光電変換素子を用いた撮像装置及び放射線撮像装置を提供する。
【解決手段】Ｉ型半導体の両側が電極で挟まれて成る光電変換素子において、前記電極の一方が前記Ｉ型半導体をＮ型半導体にするドーパントを含み、該ドーパントの移行により形成されるＮ型半導体層を有する構成、及び、前記電極の他方が前記Ｉ型半導体をＰ型半導体にするドーパントを含み、該ドーパントの移行により形成されるＰ型半導体層を有する構成、の少なくとも一方の構成を有する。 （もっと読む）

【課題】 赤外線検知器及びその製造方法に関し、不純物ドープに伴う伝導帯端の引き下がりを抑制して、暗電流を低減する。
【解決手段】 量子ドット層１を複数積層した赤外線検知部の電気的特性を制御するための不純物を量子ドット部分（３，４）にのみ添加する。 （もっと読む）

【課題】紫外光のみの強度を電気信号に変換する光電変換デバイス、およびこれを用いた携帯に適した安価な紫外光強度測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明の光電変換デバイスは、基本的に酸化モリブデンを成分とする材料層から構成され、典型的には、基板と、この基板上に形成される高純度の酸化モリブデンの結晶薄膜とから成る。本発明の光電変換デバイスに所定の周辺回路を追加することにより、紫外光用の光強度測定装置が製作できる。これにより、紫外光のみの強度を定量的に測定できる小型で、かつ安価な紫外光強度測定装置の実現が可能になる。 （もっと読む）