【課題】チャネル層に酸化物を用いた電界効果型トランジスタではゲート絶縁層とチャネル層の間に良好な界面を作製することが難しい。
【解決手段】基板１０上に、チャネル層１１と、ソース電極１３と、ドレイン電極１４と、ゲート絶縁層１２と、ゲート電極１５とが形成され、チャネル層がアモルファス酸化物からなり、ゲート絶縁層が、Ｙを含有するアモルファス酸化物からなる。Ｙを含有するアモルファス酸化物としては例えば、結晶化する条件で形成するとペロフスカイト構造となる組成を有する、Ｙと、ＭｎまたはＴｉとを含む酸化物を用いることができる。 （もっと読む）