【課題】通電に伴う温度変動に起因するストレスを低減し、長寿命で信頼性の高い半導体レーザ素子を提供する。
【解決手段】下敷き膜３４、蒸着電極３５、メッキ電極３６の平面形状を八角形に形成した場合、リッジ部４１に垂直方向の直線部分ｗ１、ｗ２、ｗ３の長さが減少する。同様に、左側の下敷き膜３７の平面形状も八角形に形成した場合、リッジ部４１に垂直方向の直線部分の長さが減少する。こうした多角形の平面形状により、チップ温度上昇に伴う熱膨張に起因したストレスがリッジ部４１へ与える影響を低減できる。 （もっと読む）

【課題】
必要な信頼性試験に合格する性能を有するＶＣＳＥＬの歩留まりが向上するような構造および処理技術を提供することである。
【解決手段】
第１のミラースタック２１０、第２のミラースタック２３０、および前記第１のミラースタック２１０と前記第２のミラースタック２３０との間に設けられているキャビティ層２２０を備えているデバイスにおいて、孔が少なくとも第１のミラースタック２１０を貫通して形成されており、開口１４０を画定するための間隙２１２が孔の側壁から前記第１のミラースタック２１０内へと延びており、少なくとも孔２７０の側壁に形成されている間隙２１２の端部が薄い保護層２５０によって覆われている。 （もっと読む）

【課題】 光素子及びその製造方法に関して、信頼性の向上を図ることにある。
【解決手段】 光素子１００は、基板１１０と、基板１１０の上方に形成され、光が出射又は入射する上面１３２を有する柱状部１３０と、基板１１０の上方であって柱状部１３０の周囲を含む領域に形成された樹脂層１４０と、樹脂層１４０の上方に形成され、樹脂層１４０よりも硬い材質からなる補強層１８０と、補強層１８０の上方に形成されたボンディング部１５６を有し、柱状部１３０の上面１３２における露出領域の端部に電気的に接続された電極１５０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】埋め込み膜としての屈折率を満足させながら、面内及び膜厚方向において均一な組成の良好な膜を得ることができるとともに、ｐ電極との剥がれを防止して、高品質の窒化物半導体レーザ素子を得ることを目的とする。
【解決手段】第１及び第２窒化物半導体層に挟まれた活性層を有し、前記第２窒化物半導体層上に埋め込み膜を介して電極が形成されて構成される窒化物半導体レーザ素子であって、前記埋め込み膜が、前記第２窒化物半導体層側から表面側にかけて（１）屈折率が、（２）酸素比率が、（３）密度が及び／又は（４）表面粗さが変化してなる窒化物半導体レーザ素子。 （もっと読む）

【課題】 固有ノイズおよび戻り光ノイズの低減を図ることができる面発光半導体レーザおよびこの面発光半導体レーザを光源に用いた光モジュールを提供する。
【解決手段】 ｎ型半導体基板１１上にｎ型ＤＢＲ層１２、活性層１４、ｐ型ＤＢＲ層１７、ｐ型コンタクト層１８およびｐ側電極２０を有し、ｐ側電極２０の開口２０ａを通じて出力光を取り出す面発光半導体レーザにおいて、ｐ側電極２０の開口２０ａの内部のｐ型コンタクト層１８上に、発光波長に対する吸収係数をα（ｃｍ^-1）、厚さをｔとしたとき、発光波長が８５０ｎｍよりも短いときは０．１≦αｔ≦１、発光波長が８５０ｎｍ以上のときは０．４≦αｔ≦１の光吸収層２１を設ける。 （もっと読む）

【課題】 ｐ型クラッド層に絶縁膜が積層される半導体レーザ素子において、ｐ型クラッド層に生じる熱応力を抑制し、半導体レーザ素子のバルク劣化を抑制可能な半導体レーザ素子を提供する。
【解決手段】 ｎ型クラッド層８、活性層９およびリッジ部１９が形成されるｐ型クラッド層１０を積層方向に順次積層して化合物半導体多層構造２を形成し、ｐ型クラッド層１０を成す材料に対して、屈折率差があり熱膨張係数が近似する絶縁材料からなる絶縁膜３を化合物半導体多層構造２の積層方向に積層する。 （もっと読む）

【課題】 エッチング精度を容易に向上させることができ、特性のばらつきを抑えることのできる半導体レーザ素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 少なくともｎ型クラッド層１４、活性層１５、ｐ型第１クラッド層１６、ｐ型エッチングストップ層１７、ｐ型第２クラッド層１８、ｐ型中間層１９およびｐ型キャップ層２０が積層されて成る積層体２６を、ヨウ素系ガスを含むエッチングガスを用いてドライエッチングし、リッジ部２１を形成する。これによって、チャンバ内の温度を厳密に制御することなく、リッジ部２１を形成するためのドライエッチングの精度を容易に向上させることができるので、半導体レーザ素子の特性のばらつきを抑えることができる。また、ドライエッチング時のチャンバ内の温度を低く設定することができるので、エッチングマスク２８をレジストで形成してエッチングマスク作製工程を簡略化し、生産性を向上させることができる。 （もっと読む）

本発明は、光学ウェイブガイドと、少なくとも１つの色中心を備えるマテリアルとを有する光子源を提供する。各色中心は、光子放射のために設けられ、マテリアルは、マテリアルが光学ウェイブガイドに結合されるように生成され、使用の際に、各色中心によって放射された光子の少なくともいくらかが光学ウェイブガイドに導かれる。本発明は、また、少なくとも１つの色中心を備えるマテリアルと合体している光学ウェイブガイドを有する光子源を提供する。
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量産性等に優れた多波長半導体レーザ装置の製造方法を提供する。半導体基板ＳＵＢ１上に多層体から成る第１のレーザ発振部１ａと金属の接着層とを形成した第１の中間生成体と、支持基板上に第１のレーザ発振部１ａより小形の多層体から成る第２のレーザ発振部２ａとそれに隣接する溝とを形成して金属から成る接着層を形成した第２の中間生成体とを作製し、導波路１ｂ，２ｂを近接させて第１，第２の中間生成体の接着層同士を融着させ、一体化した接着層ＣＮＴを生じさせることによって、第１，第２のレーザ発振部１ａ，２ａを固着させた後、第２のレーザ発振部２ａから支持基板を剥離することにより、接着層ＣＮＴを部分的に露出させ、該露出した接着層ＣＮＴを共通電極とした半導体レーザ装置ＬＤを製造する。 （もっと読む）