【課題】
出力電力に比例する総合電流を高速で監視し、速やかに成膜状態に適した電力の制御を行い、高品質の成膜結果を得ること。
【解決手段】
出力電力が設定電力になるように定電力制御される電源ユニットを互いに並列接続してなる電源装置を備える成膜装置において、前記電源ユニットの出力電流を検出する電流検出器と、出力電圧を検出する電圧検出器と、前記電流検出器により検出された検出電流と前記電圧検出器により検出された検出電圧とを乗算して出力電力に比例する監視信号を出力する乗算回路と、その乗算回路からの監視信号を監視電流信号に変換する回路とを備え、各電源ユニットの監視電流信号は共通の信号線を通して監視回路に入力され、その監視回路は前記監視電流信号を合算して、総合電力監視信号として出力し、前記総合電力監視信号によって前記電源ユニットの出力電力の制御が行われる成膜装置。 （もっと読む）

【課題】倍電圧コンデンサと平滑コンデンサを具備した倍電圧整流回路において、どのコンデンサが劣化したかを検出可能な回路を提供すること。
【解決手段】倍電圧コンデンサと平滑コンデンサを具備した倍電圧整流回路において、入力電流ピーク位相算出部で算出した入力電流ピークの測定値と入力電流ピーク位相算出部で予め設定した入力電流ピークの基準値との位相のずれに基づき倍電圧コンデンサの劣化判別回路で倍電圧コンデンサの劣化を判別する。倍電圧コンデンサの劣化を判別するためには、入力電流ピーク値の位相のずれのみならず、平均電圧の測定値と基準値を比較して行うことが望ましい。倍電圧コンデンサの劣化判別回路に、さらに平滑コンデンサの劣化判別部を加えて、リップル電圧値及び平均電圧に基づき平滑コンデンサの劣化を判別することができる。 （もっと読む）

【課題】電気機器内部の受動素子であるコンデンサやリアクトルのパラメータを電気機器を分解することなく測定できるようにすることである。
【解決手段】負荷抵抗演算部１８は、電源装置１４から電気機器１１に電源供給されているときに電気機器１１に印加される電圧Ｖ及び電気機器１１に供給される電流Ｉに基づいて電気機器１１の負荷抵抗Ｒを演算し、電源制御部１９は、電源装置１４から電気機器１１への電源供給を一時停電させ、所定の停電時間Ｔの経過後に復電させ、コンデンサ容量演算部２０は、電源装置が一時停電したときの停電直前電圧、電源装置が復電したときの復電電圧、電源装置１４が一時停電してから復電するまでの停電時間Ｔ、負荷抵抗演算部１８で求めた負荷抵抗Ｒに基づいて電気機器１４のコンデンサ容量Ｃを演算する。 （もっと読む）

【課題】起動前にも直流電圧検出器の破損や、直流電圧検出器の出力側の配線の断線が検出できる電力変換装置を提供する。
【解決手段】図１に示したように電力変換器２の入力または出力側の直流部の直流電圧検出手段６を設け、この直流電圧検出手段６の出力が所定の過電圧設定値以下となったとき、電力変換器２の運転を停止するように構成する。図２に示したように直流電圧検出手段６は、直流部の直流電圧を入力とする絶縁アンプ６３と、その出力である基準電圧が前記絶縁アンプのフルスケール出力に設定された基準電源６４と、この基準電圧から絶縁アンプ６３の出力を減算する減算手段６５とを有し、減算手段６５の出力を直流電圧検出手段６の出力とする。 （もっと読む）

【課題】
出力電力に比例する総合電流を高速で監視し、速やかに成膜状態に適した電力の制御を行い、高品質の成膜結果を得ること。
【解決手段】
出力電力が設定電力になるように定電力制御される電源ユニットを互いに並列接続してなる電源装置を備える成膜装置において、前記電源ユニットの出力電流を検出する電流検出器と、出力電圧を検出する電圧検出器と、前記電流検出器により検出された検出電流と前記電圧検出器により検出された検出電圧とを乗算して出力電力に比例する監視信号を出力する乗算回路と、その乗算回路からの監視信号を監視電流信号に変換する回路とを備え、各電源ユニットの監視電流信号は共通の信号線を通して監視回路に入力され、その監視回路は前記監視電流信号を合算して、総合電力監視信号として出力し、前記総合電力監視信号によって前記電源ユニットの出力電力の制御が行われる成膜装置。 （もっと読む）