【課題】定流量制御装置を提供すること。
【解決手段】第１ハウジング３とダイアフラム４と該ダイアフラム４に一体的に取付けられた可動弁体５により形成される第１室６と、第２ハウジング９とダイアフラム４と可動弁体５により形成される第２室１０と、流体が通過することで第１室と第２室との間に圧力差を生じさせる絞り部１１と、第２室と下流側流体通路とを連通する通路に臨んで設けられ、可動弁体５に備えられたニードル弁１３に対応して設けられる弁座１４と、可動弁体をニードル弁と弁座が開弁する方向に所定の弾性力で付勢する主弾性部材１５と、を備えた流体の流量を所定流量に制御する定流量制御装置において、絞り部１１のオリフィスにはクリーニングピン２７が遊挿され、このクリーニングピンの軸方向の端部は、第１ハウジング３及び又は第２ハウジング９により、クリーニングピン２７はその軸方向の位置が規制されている。 （もっと読む）

【課題】第１の流体を流通させる第１の流路と第２の流体を流通させる第２の流路とが合流する流路において、第１及び第２の流体のそれぞれの流量を簡易に制御する。
【解決手段】制御弁１は、流体Ｏ１，Ｏ２の各流速に応じた回転数で回転するようにそれぞれ設けられた羽根車２，３と、羽根車２，３に同軸に固定された軸体４と、ネジ孔８が形成され配管Ｔに固定された固定体５と、弁座１１及び弁体１２を有する弁６と、弁座１３及び弁体１４を有する弁７と、を備え、羽根車２，３は互いに異なる回転方向に回転するように構成され、軸体４にはネジ孔８に螺合するネジ部９が設けられている。よって、流体Ｏ１，Ｏ２の流速バランスに応じて軸体４が軸線Ｇ回りに回転され、軸体４が軸線Ｇに沿って移動され、各弁６，７の各弁開度が調整され、流体Ｏ１，Ｏ２の各流量が自動的に制御される。 （もっと読む）

【課題】 精度の高いエアの流量調整を容易にする。
【解決手段】 弁箱２１には、負荷側に接続される第１のエア通路２４と、大気側に接続される第２のエア通路２５と、これらエア通路２４，２５が合流しブロアーに接続される第３のエア通路２６とが設けられている。第１のエア通路２４と第３のエア通路２６との間は、第１の接続部２７によって接続され、第２のエア通路２５と第３のエア通路２６との間は、第２の接続部２８によって接続されている。これら第１および第２の接続部２７，２８は、矢印Ｂ−Ｃ方向に移動するエア流量調整プレート２２の第１および第２の連通窓３１，３２によって連動して開口される。第１の連通窓３１による第１の接続部２７の開口面積と、第２の連通窓３２による第２の接続部２８の開口面積との総和を常に一定したものである。 （もっと読む）