【課題】半導体、液晶などの製造工程に使用される現像液などの薬剤を高濃度の原液を超純水などで希釈し、所望の濃度に調整するにあたり、不純物の混入を防ぐことができ、かつ設備がコンパクトな希釈装置を提供する。
【解決手段】薬剤及び希釈液が導入される希釈タンク１を備えている薬剤の希釈装置であって、希釈タンク１に、希釈タンク１内の液体を撹拌するための磁気浮上ポンプ２を設けるとともに、薬剤の濃度を測定する濃度計３を備え、薬剤の所望の濃度に基づいて、上記測定値を上記所望の濃度に近づけるように薬剤の量と希釈液の量を制御する。 （もっと読む）

【課題】１つの湯面レベルセンサーから得られる湯面変動から高精度に定在波変動分と体積変動分とを分離し、湯面定在波・湯面レベルを制御する、鋳型内の湯面定在波変動検出方法、湯面定在波制御方法、湯面レベル制御方法および連続鋳造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】連続鋳造機の鋳型内の所定位置における湯面レベル変動の定在波変動分の定在波周波数を、鋳型幅から算出し、その周波数で定在波をｓｉｎ関数とｃｏｓ関数で記述して、その記述された定在波の係数を測定した湯面レベル変動からオンライン推定することにより、定在波変動分を求める。 （もっと読む）

【課題】各流体の混合比が“１対１”であるときでも、十分な流量の混合流体を確保させるとともに、流量調節弁の使用数を低減させて、設置コスト、メンテナンスコストを低減させる。
【解決手段】混合流体流量演算系（流量設定器１１、流量ＰＩＤ演算部１２、乗算器１３）によって、ＰＩＤ演算、２倍演算を行い、混合流体操作量を演算するとともに、混合比演算系（別要素設定器１４、別要素ＰＩＤ演算部１５）によって、ＰＩＤ演算を行い、第１流体、第２流体の混合比を示す別要素操作量（混合比操作量）、補数値を演算し、流体流量演算系（減算器１６、ハイセレクタ１７、除算器１８、リミッタ１９，除算器２０，２１）によって、混合比演算系で得られた混合比に応じて、混合流体流量演算系で得られた混合流体操作量を第１流体、第２流体に分配し、これら第１流体、第２流体の流量操作量を演算する。 （もっと読む）

【課題】複数の無線タグの配置により、液面監視を可能にした液体収容ケースの監視装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数箇所にそれぞれ取り付けられている無線タグを含む液体収容ケースと、複数の前記無線タグ対して質問電波を与え，それぞれの無線タグからの応答信号に応じて、前記液体収容ケース内の液体状況を管理する管理手段とを有する。 （もっと読む）