【課題】過酸化水素の供給量を一定とすることにより供給作業を容易にすると共に、経済性に優れた過酸化水素の添加装置を提供する。
【解決手段】本発明の添加装置１は、スラリーを貯蔵するタンク２と、上記スラリーに含まれる過酸化水素濃度を、予め定められた時間の間隔で測定する濃度計４と、測定された上記過酸化水素濃度が予め定められた目標濃度よりも低い場合に、上記スラリーに一定量の過酸化水素を供給する過酸化水素導入バルブ６とを備え、上記一定量は、上記過酸化水素濃度が上記スラリーに過酸化水素を加えなかった場合に上記目標濃度から予め定められた下限濃度まで推移する推移時間、上記測定手段の測定間隔、及び、上記目標濃度と上記下限濃度との差の関係から求められる理論値だけ上記過酸化水素の濃度を上昇させる量以上、上記目標濃度と上記下限濃度との差の値だけ上記過酸化水素の濃度を上昇させる量以下の範囲から選ばれる量である。 （もっと読む）

【課題】複数の物質を混合しつつ、流体の全体的、局所的な温度上昇の防止、流体の粘度上昇の防止、又は所定の温度までの加温を行なうことができ、かつ均一に撹拌されたものを供給できる混合装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る混合装置は、複数の種類の物質であって、そのうちの少なくとも１種類は液体である物質が導入される混合槽１と、上記物質を混合槽１内にある状態で冷却する冷却チューブ５、又は上記物質を混合槽１内にある状態で加温する加温手段と、混合槽１内の流体を撹拌する撹拌部２とを備えており、撹拌部２は、混合槽１内の流体を撹拌するインペラ２ａと、インペラ２ａを回転させるモータ２ｂとにより構成され、モータ２ｂは、インペラ２ａを混合槽１の壁に対して非接触に回転させる。 （もっと読む）

【課題】耐薬品性であり、流体の清浄性を保持することができ、かつ小型化できる圧力センサーを提供する。
【解決手段】本発明に係る圧力センサー２０は、流体に接触するフッ素樹脂からなる接触膜２と、金属からなり、接触膜２を介して流体の圧力を受ける受圧部１と、流体の圧力を電気信号に変換する素子６と、受圧部１および素子６の間に位置し、受圧部１が受けた圧力を素子６に伝達する封入液４と、一方の端が流体が流れる配管に接続されるように構成され、かつ他方の端が接触膜２に接続されている、フッ素樹脂からなるチューブ５と、により構成されている。 （もっと読む）

【課題】半導体、液晶などの製造工程に使用される現像液などの薬剤を高濃度の原液を超純水などで希釈し、所望の濃度に調整するにあたり、不純物の混入を防ぐことができ、かつ設備がコンパクトな希釈装置を提供する。
【解決手段】薬剤及び希釈液が導入される希釈タンク１を備えている薬剤の希釈装置であって、希釈タンク１に、希釈タンク１内の液体を撹拌するための磁気浮上ポンプ２を設けるとともに、薬剤の濃度を測定する濃度計３を備え、薬剤の所望の濃度に基づいて、上記測定値を上記所望の濃度に近づけるように薬剤の量と希釈液の量を制御する。 （もっと読む）

【課題】薬剤から精度よく希釈された処理液を提供すること。
【解決手段】本発明の希釈装置１は、薬剤を供給する薬剤供給管１０および希釈液を供給する希釈液供給管１２に接続されている、上記薬剤を１次希釈液に希釈する第１の希釈容器２と、上記第１の希釈容器２において希釈された上記１次希釈液を供給する、上記第１の希釈容器２に接続された１次希釈液供給管１４、および上記希釈液供給管１２から引き出される希釈液供給管、もしくは上記希釈液供給管１２とは異なる他の希釈液供給管１６に接続されている、１次希釈液を２次希釈液に希釈する第２の希釈容器４とを備える。 （もっと読む）

【課題】液体の移送に必要な気体の量を抑え、短時間で複数のタンク間を移送できる方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）収容タンク１から中間タンク２に薬液を移送し、中間タンク２から供給タンク３に薬液を移送する工程、及び（Ｂ）収容タンク１から中間タンク２に薬液を移送し、中間タンク２から供給タンク３に薬液を供給せずに中間タンク２内に保持する工程を含み、工程（Ａ）のときには、中間タンク２に大気圧より高い圧力の加圧窒素ガスを送入するとともに、収容タンク１に、中間タンク２に送入される窒素ガスの圧力より高い圧力の加圧窒素ガスを送入して、収容タンク１内の薬液を中間タンク２に移送し、工程（Ｂ）のときには、収容タンク１に加圧窒素ガスを送入して収容タンク１内の薬液を中間タンク２に移送するとともに、中間タンク２内の圧力を、収容タンク１に送入する気体の圧力より低く大気圧より高い圧力に維持するように排気を行なう。 （もっと読む）

【課題】希釈対象である薬剤の量の誤差を少なくすることによって、濃度調整を容易とする。
【解決手段】希釈タンク２と、希釈タンク２内の液体を循環させる循環用配管４と、循環用配管４の一端から希釈タンク２内の液体を吸引し他端から当該液体を希釈タンク２内に戻すためのポンプ３と、を備える希釈装置１を用いた薬剤（例えば現像液の原液等）の希釈方法であって、薬剤を希釈するための希釈液の一部を、少なくとも、サクション管４’内が満たされるまで希釈タンク２内に導入する第１の希釈液導入工程と、前記薬剤を希釈タンク２内に導入する薬剤導入工程と、希釈液の残部を前記容器内に導入する第２の希釈液導入工程と、を包含する。 （もっと読む）

【課題】硫酸の腐食性に対する耐性が高い充填塔を提供する。
【解決手段】孔が設けられた充填物受け５上に充填された充填物４’に対して硫酸を噴霧する噴霧部３と、噴霧部３から噴霧され、充填物４’を介して前記孔から出てくる硫酸に対して、硫酸を噴霧するスプレーノズル２と、を備える。 （もっと読む）