【課題】ポンプを用いて基台内を循環させる液体を貯留するタンク内の液面が変化してもタンク内の液面を一定の範囲に維持してポンプに起因する脈動を常に確実且つ安定的に軽減することができる脈動軽減装置及び検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の脈動軽減装置１６は、循環配管１２に接続されて空間部を残して冷媒を貯留する第２タンク１６Ａと、第２タンク１６Ａ内の冷媒の液面を検出する第１、第２液面センサ１６Ｂ、１６Ｃと、第１、第２液面センサ１６Ｂ、１６Ｃに電気的に接続され且つこれらのセンサ１６Ｂ、１６Ｃからの検出信号に基づいて作動する空気制御装置１６Ｄと、を備え、第２タンク１６Ａの空間部を満たす空気等の気体がポンプ１３から冷媒を吐出する際の脈動を軽減する緩衝体として働くように構成されている。 （もっと読む）

２個のガス源（１，４）からの気体を可撓性の物理的障壁（１２）で二分割したチャンバ（１７，１６）にそれぞれ送り、チャンバ（１６，１７）全域で圧力が均一な気体混合装置。各チャンバからそれぞれの気体を同時に混合容器（７）へ開放し、圧力放出による可撓性障壁（１２）の圧力平衡効果によって、望ましい気体混合物の混合特性を適宜管理する。この装置を分配器または希釈器と呼称しても構わない。窒素中、例えば１％の低濃度一酸化炭素をさらに窒素と混合して、０．００１％濃度に希釈するのに使用しても構わない。
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【課題】複数の装置から排水される液体を効率良く回収して処理する排水処理装置を提供する。
【解決手段】排水処理装置１００は、排水蓄積部１０と、水位検出部１１と、吸引排水蓄積部２０と、低圧力生成部３０と、吸引配管４１および４２と、排水吸引制御部５０と、排水処理制御部６０と、排水処理配管７０とを備える。排水蓄積部１０に蓄積される装置２００から排水された液体が所定の水位に達すると、水位検出部１１においてそのことが検出される。その水位検出部１１における検出結果は排水吸引制御部５０に供給され、排水吸引制御部５０は排水蓄積部１０に蓄積された液体を吸引排水蓄積部２０に吸引配管４１を通じて吸引させて蓄積させる。なお、吸引排水蓄積部２０内の圧力は、低圧力生成部３０により所定圧力以下の圧力にされているため、吸引配管４１の端部付近の液体等を吸引できる。 （もっと読む）

【課題】特許文献１に記載の脈動軽減装置の場合には、メインチャンバーを補助チャンバーの高い位置に配置し、メインチャンバー内で空気が溶け込んで増量した液体を補助チャンバーへオーバーフローさせ、その液分を補助チャンバー内の空気で置換するため、例えば、半導体ウエハ等の被処理体の検査装置のように被処理体を載置体上で冷却する場合には、載置体内を循環させる冷媒がメインチャンバー内で気化し易く、液体の気化容量が液体への空気等の溶解容量を上回り、メインチャンバー内の気体の圧力が上昇し、脈動軽減機能を損なう。
【解決手段】本発明の脈動軽減装置１０は、空間部を残して冷媒を貯留する第１タンク１５Ａと、第１タンク１５Ａにこれより高い位置に配置された状態で接続され且つ第１タンク１５Ａ内に冷媒を補充する補充タンク１５Ｂと、第１タンク１５Ａと補充タンク１５Ｂの空間部とを接続する気体抜き配管１５Ｃとを備えている。 （もっと読む）