【課題】光学素子の中心部分の温度を精度よく制御できる温度制御装置を提供する。
【解決手段】第１の主面及び第１の主面と対向する第２の主面を有する光学素子の温度制御装置であって、第１の主面に一定の接触熱抵抗で接する第１の筐体と、第１の筐体と第１の主面とが接する面積と等しい面積で、第２の主面に一定の接触熱抵抗で接する第２の筐体と、第１の筐体の温度を調整する温度調整素子と、第１の筐体の温度を測定する第１の温度測定素子と、第２の筐体の温度を測定する第２の温度測定素子と、第１の温度測定素子により測定された第１の筐体の測定温度と第２の温度測定素子により測定された第２の筐体の測定温度との平均値を光学素子の温度として、平均値が予め設定された設定値であるように温度調整素子を制御して第１の筐体の温度を調整させる制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】エネルギの消費量を抑制しつつ、温度制御対象の温度を迅速に変更することのできる温度制御システムを提供する。
【解決手段】温度制御システムは、常温の水道水を調温ブロック１０へ供給する水通路２０と、水を内部に貯留するタンク４０と、温度調整された湯を調温ブロック１０へ供給する湯通路３０とを備える。温度制御システムは、調温ブロック１０へ供給される水道水と湯との混合比を調節する混合弁８０Ａと、混合湯を排出口５２へ排出する排出通路５０と、混合湯をタンク４０へ回収する回収通路６０と、排出口５２へ排出される混合湯とタンク４０へ回収される混合湯との分配比を調節する分配弁８０Ｂとを備える。制御装置７０は、ワークＷの温度が目標温度となるように混合弁８０Ａを制御するとともに、調温ブロック１０へ供給される湯の比率が高いほど、タンク４０へ回収される混合湯の比率が高くなるように分配弁８０Ｂを制御する。 （もっと読む）

【課題】抵抗ヒータの温度制御において、消費電力を抑えるようにすることと、抵抗ヒータの電圧等の測定に関して分解能の低下や誤差の増大を抑えるようにする。
【解決手段】温度制御装置５は、温度依存性抵抗ヒータ１１と、ＰＷＭコントローラ７１と、ＰＷＭスイッチＳＷ１と、差動増幅器５５と、ＡＤＣ５６と、を備える。ＰＷＭコントローラ７１のＰＷＭ信号がオン状態である場合に、ＰＷＭスイッチＳＷ１によって電流が温度依存性抵抗ヒータ１１に流れる。ＰＷＭコントローラ７１のＰＷＭ信号がオフ状態である場合、ＰＷＭスイッチＳＷ１によって温度依存性抵抗ヒータ１１に電流が流れない。ＰＷＭコントローラ７１は、ＰＷＭ信号がオン状態の場合における差動増幅器５５及びＡＤＣ５６の信号に基づき、温度依存性抵抗ヒータ１１の温度を設定温度に近づけるようにＰＷＭ信号のデューティ比を新たに設定する。 （もっと読む）

【課題】 複雑な温度プロファイルであっても、温度可変装置の温度制御を精度良く行う温度制御システムと温度制御装置を提供する。
【解決手段】 時系列上の複数の時点と該時点のそれぞれにおける目標設定温度とを含む目標設定温度情報の入力操作部１３と、前記時点のそれぞれにおける温度制御用のＰＩＤ制御情報の入力操作部１４と、これらの情報表示を行う情報表示部１９と、目標設定温度を定めた時点間隔を複数に分割した時間毎のペルチェモジュール１の制御操作量を前記ＰＩＤ制御情報に基づいて求める温度可変装置操作量算出部３１と、温度可変装置操作量算出部３１により求めた温度可変装置の制御操作量の算出値に基づき、被温度可変対象物９の温度（温度検出素子１０の検出温度）が前記目標設定温度情報と一致するようにペルチェモジュール１の制御操作量を調節制御する温度可変装置操作量制御手段３２とを設ける。 （もっと読む）