【課題】安価で簡易な構成によりスライダの位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現する。
【解決手段】互いに直交するＸ軸およびＹ軸の少なくとも１軸方向に位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ１の１軸方向の位置を検出するレゾルバ２と、
このレゾルバ２のスライダ１の進行方向側に隣接して配置されたレゾルバ２ａ，２ｂと、
このレゾルバ２ａ，２ｂの出力に基づいてレゾルバ２の出力を補正する補正部と、
この補正部からの出力に基づいてスライダ１の位置を算出する位置算出部と、
を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】平面パルスモータにおける可動子の回転制御に有用な技術を提供する。
【解決手段】平面パルスモータは、可動子４および固定子１２を有する。可動子４は、磁性体を含んで構成され、固定子１２に対向する面に複数の凸部を有する。固定子１２は、可動子４を駆動するための複数の磁気発生ユニット６ａ、６ｂを有する。平面パルスモータの制御部は、複数の磁気発生ユニット６ａ、６ｂのうち、可動子１２の駆動方向に沿った可動子４の中心線Ｃを跨がず、かつ、可動子４が存在する領域からはみ出していない磁気発生ユニットから選択される磁気発生ユニットを動作させることによって可動子４の回転を制御する。 （もっと読む）

【課題】位置検出の構成を単純化して信頼性を向上させると共に、コストの低減を図ることが可能な平面モータを実現する。
【解決手段】格子状の歯が平面上に形成されたプラテンと、前記歯と対向する面モータを内蔵し前記プラテン上面を移動して位置制御されるスライダと、を具備する平面モータにおいて、前記スライダに、前記プラテンの歯と対向して前記スライダの位置を検出するレゾルバを備える。 （もっと読む）

【課題】加速度を上げても振動が発生せず、なめらかに位置指令値に追従できるリニアパルスモータを実現する。
【解決手段】電流指令値と、位置指令値より変換される電気角指令値に基づいてスライダをマイクロステップ駆動するリニアパルスモータにおいて、前記スライダに与えられる加速度信号と前記スライダの質量に基づいて前記スライダの必要推力量を算出する必要推力算出手段と、算出された前記必要推力量と前記電流指令値に基づいて電気角フィードフォワード量を算出する電気角フィードフォワード量算出手段と、算出された前記電気角フィードフォワード量に応じて前記電気角指令値を補正する補正手段と、を備える。 （もっと読む）

【解決課題】モータのコイルへ供給される励磁信号を制御することにより、運転効率に優
れたモータを提供する。
【解決手段】本発明のモータは、複数のコイルの組と永久磁石の組み合せを備え、このコ
イルの組は、交互の異極に励磁されるように駆動回路から励磁信号が供給されるとともに
、前記永久磁石は複数の磁極要素が交互に異極になるように配置された構造からなり、前
記駆動回路は前記コイル組に所定の周波数を持った励磁信号を供給して、前記コイルと永
久磁石間の磁気的吸引―反発によって前記コイル組と永久磁石とを相対的に移動させるよ
うに構成されてなり、さらに、前記駆動回路は前記コイル組に、当該コイル組と永久磁石
間の相対移動に応じて発生する逆起電圧のパターンに相当する波形信号を当該コイル組に
供給するように構成されてなる。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、可動範囲を大きく取ることができ、しかも停止精度の高い電磁アクチュエータを実現する。
【解決手段】コイル３ａ〜３ｄ、ヨーク４ａ〜４ｄからなる複数の電磁石を設けた可動子１を、所定の間隔で対向する一対の固定子５ａ、５ｂ間に挟み込むように配置し、コイル３ａ〜３ｄに対する通電タイミングを制御することにより、可動子１を揺動させる。これによって、可動子１を固定子５ａ、５ｂの一方から他方へと交互に接触させることにより、ガイド部材６に沿って移動させる。磁性体からなる固定子５ａ、５ｂの長さを延ばすだけで、可動子１の可動範囲を大きく取ることができる。 （もっと読む）

【課題】推力発生時におけるスライダの傾きを防止できる平面モータを提供する。
【解決手段】コアＣＸ１−１，ＣＸ１−２，ＣＸ２−１，ＣＸ２−２によりスライダ３にＸ方向への推力が与えられている場合には、コアＣＹ１−１，ＣＹ１−２，ＣＹ２−１，ＣＹ２−２によりスライダ３にＺ軸方向（垂直方向）への推力が与えられることでトルクが打ち消される。コアＣＹ１−１，ＣＹ１−２，ＣＹ２−１，ＣＹ２−２によりスライダ３にＹ方向への推力が与えられている場合には、コアＣＸ１−１，ＣＸ１−２，ＣＸ２−１，ＣＸ２−２によりスライダ３にＺ軸方向（垂直方向）への推力が与えられることでトルクが打ち消される。 （もっと読む）

【課題】 加速度を上げても振動が発生せず、なめらかに指令に追従できるリニアパルスモータを実現する。
【解決手段】 電流指令値と、位置指令値より変換される電気角指令値とに基づいてマイクロステップ駆動するリニアパルスモータにおいて、
前記電気角指令値と前記電流指令値とが入力され、前記マイクロステップ駆動を模擬する仮想化モータモデルと、
この仮想化モータモデルで算出した仮想的な移動子位置を機械角に変換する機械角変換手段と、
この機械角変換手段で変換した機械角と前記電気角指令値との偏差に基づいて補正値を算出する補正値演算手段と、
前記補正値を前記電気角指令値に加算する指令値補正手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】 プラテンに変形が生じていても、ステージの動作への悪影響を小さくすることができるＸＹステージ装置を提供する。
【解決手段】 ＸＹステージ装置１の制御系は、ＰＩＤ制御要素１３、力・位相シフト変換要素１４、位相・電流変換要素１５、電流・推力変換要素１６およびステージ可動体動力学要素１７が閉ループを構成している。加えてＸＹステージ装置１の制御系は、位置（角度）指令からプラテン補正量を算出するプラテンスケーリング要素１８と、プラテン補正量と検出したステージ可動体位置（角度）とから補償量に対応した位相を算出する位置・位相変換要素１９を備えている。これにより、プラテンに変形が生じていても、ステージの動作への悪影響を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】 プラテンの軌道面に沿ってＸ軸方向およびＹ軸方向に駆動される一群のフォーサを介してステージを所望位置に高精度で位置決めでき、かつ、迅速に整定できるリニアパルスモータの制御方法を提供する。
【解決手段】 プラテン４のＸＹ平面上の所望位置に一群のフォーサ５Ｘ１，５Ｘ２，５Ｙ１，５Ｙ２を介してステージ３を駆動する際、フォーサ５Ｘ１，５Ｘ２，５Ｙ１，５Ｙ２のオープンループ制御によりステージ３は所望位置まで迅速に駆動され、フォーサ５Ｘ１，５Ｘ２，５Ｙ１，５Ｙ２のクローズドループ制御によりステージ３は所望位置に高精度に整定される。 （もっと読む）

【課題】 プラテンの軌道面に沿ってＸ軸方向およびＹ軸方向に駆動される一群のフォーサを介してステージを所望位置まで高速度で円滑に駆動できるリニアパルスモータの制御方法を提供する。
【解決手段】 プラテン４のＸＹ平面上の所望位置に一群のフォーサ５Ｘ１，５Ｘ２，５Ｙ１，５Ｙ２を介してステージ３を駆動する際、ステージ３の瞬時目標位置と速度フィードフォワード出力値と加速度フィードフォワード出力値との合算値によりフォーサをフィードフォワード制御するため、フォーサは、その瞬時目標位置に対し遅れを発生することなく、しかも振動を発生することなく円滑に駆動される。その結果、ステージは、所望位置まで高速度で円滑に駆動される。 （もっと読む）

【課題】 より簡単かつ安価な構成でステージの駆動反力を低減できるＸＹステージを提供する。
【解決手段】 ＸＹステージ１０は、定盤１２とステージ１６とからなる。定盤１２にはカウンタマス収容部３２が設けられており、定盤下面３４にはカウンタマス３６が摺動自在に設けられる。カウンタマス３６には、突起状の磁性区域５８と非磁性区域６０とが格子状に配置された平面部材であるカウンタマスプラテン４０が設けられている。定盤下面３４には、カウンタマスフォーサ４２，４４，４６が設けられており、それぞれはカウンタマスプラテン４０に面し、相互に特定の位相角だけ位相をずらすことが可能な一対の磁極面５６を複数有する制御電子素子である。このようなリニアパルスモータによってカウンタマス３６は駆動されるため、簡単かつ安価な構成でステージの駆動による反力を低減できる。 （もっと読む）

【課題】ホール素子等の位相位置検出器なしで可動子と固定子の位相位置関係を検出するとともに原点駆動動作なしで、巻線切替リニアモータ可動子の絶対位置を検出することができる巻線切替リニアモータの駆動装置を提供することを目的とする。
【解決手段】巻線切替リニアモータ駆動装置において、制御器１は、巻線切替リニアモータの任意の片端から一部の巻線４を通電し磁極検出を行い、磁極検出が失敗した場合、隣接する一部の巻線を通電し磁極検出を行うという動作を繰り返し行い、磁極検出が成功した時点で通電している巻線と磁極検出により検出した磁極位置に基づいて巻線切替リニアモータ可動子６の絶対位置を算出する、という手順をとっている。 （もっと読む）

マイクロステッピングで、または全ステップモードで作動するリニアステッパモーターに基づくリニアアクチュエータと、補正表に基づく制御アルゴリズムと、補正表を得るための較正装置を使用しての、対象物の正確な位置決めのための方法と装置。
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【課題】 複数枚のプラテンを配置しフォーサの移動領域を大きくした場合においても、高精度位置決めが可能な平面サーボモータ制御装置を提供する。
【解決手段】 フォーサ３とプラテンを有し、フォーサ３は、Ｘ方向に２個のモータ７１，７３と、Ｙ方向に２個のモータ７２，７４と、および各モータをそれぞれ駆動する各駆動装置１０１，１０２と、各モータの位置信号を得て各駆動装置１０１，１０２に出力する各エンコーダヘッド４１〜４４と、エンコーダヘッドの出力信号の出力先を切替えるための切替回路８とを備え、かつ、プラテンは複数枚結合されて成る二次元エンコーダスケールを表面に備え、エンコーダヘッド４１〜４４のいずれかが二次元エンコーダスケールの境界を検出したとき、そのエンコーダヘッド以外のエンコーダヘッドの出力信号を用いるように切替える。 （もっと読む）

【課題】 リニアモータとリニアスケールとを備えたリニアサーボシステムにおいて、高精度な磁極位置検出ができるリニアサーボシステムの磁極位置検出方法を得る。
【解決手段】 リニアモータと、絶対位置データ、位置信号としてのＡ，Ｂ相パルスおよびアナログの正余弦波を出力する絶対位置検出リニアスケールと、を備えたリニアサーボシステムの磁極位置検出方法において、電源投入時に、一定の電圧指令で直流励磁する段階と、停止した位置の絶対位置を基に磁極位置を作成する段階と、再び励磁し、右側および左側へ移動させる段階と、停止した位置の絶対位置を記憶する段階と、この記憶した右側移動時の絶対位置と左側移動時の絶対位置との中心を真の磁極位置として作成する段階と、を有するようにした。 （もっと読む）