【課題】漏洩磁場の抑制と駆動性能とのバランスを取る。
【解決手段】開放面を有する第１のヨーク１８と、前記第１のヨーク内にＳ極とＮ極とが交互になるよう直線状に並べられた２列の永久磁石１７とを備えた界磁子９と、前記２列の永久磁石の間に設けられ直線移動する可動子１０とを備えたリニアモータにおいて、前記第１のヨークの開放面から見て前記第１のヨークの開放端部と前記永久磁石とを覆うように、前記第１のヨークの開放端部に第２のヨーク１９を接続する。 （もっと読む）

【課題】オーバーレイエラー及び／又は結像の問題が低減されたリソグラフィ装置を提供する。モータ定数の変動が低減されたローレンツアクチュエータを提供する。
【解決手段】
リソグラフィ装置は、該装置の第１及び第２の部分の間に第１の方向に力を発生させるように構成され、各々が該装置の第１の部分に逆向きに取り付けられた第１の磁石アセンブリと、第２の磁石アセンブリとを含むアクチュエータを含み、第１の磁石アセンブリが、第１の主磁石システムと第１の副磁石システムとを含み、第２の磁石アセンブリが、第２の主磁石システムと第２の副磁石システムとを含み、第１及び第２の主磁石システムが、それらの間に第１の方向に実質的に垂直な第２の方向に空間を画定する。アクチュエータは、第２の部分に取り付けられたコイルを含む。第１の副磁石システムの少なくとも一部と第２の副磁石システムの少なくとも一部との間の距離は、第１の主磁石システムと第２の主磁石システムとの間の最小距離より小さい。 （もっと読む）

【課題】薄型化を図ることが可能な振動モータを提供する。
【解決手段】振動モータは、積層基板１０と、移動子２０と、ガイド枠３０と、第１の板バネ４２と、第２の板バネ４４と、カバー（不図示）と、を備える。積層基板１０は、第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂを含む。移動子２０は、磁気シールド部材２２と、永久磁石と、を含む。ガイド枠３０の一方の短辺側に第１の板バネ４２が、他方の短辺側に第２の板バネ４４が設けられる。永久磁石のＮ極に対応する磁極面は積層基板１０に接し、Ｓ極に対応する磁極面には磁気シールド部材２２が取り付けられる。第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂは互いに逆向きの磁束を発生させる。第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂの磁束の向きを一定周期で切り換えることにより移動子２０を往復移動させる。 （もっと読む）

【課題】コイン型振動モータが不得意とした厚み（縦）方向の振動量改善を実現する。
【解決手段】ケース内側に配される回転用コイルの励磁による振動子のマグネットへの電磁力の作用で振動子を回転させ、回転する振動子の分銅で振動を起こすコイン型振動モータに、振動子の回転軸の周りでケースの上側、下側に配置される上側及び下側の縦振動用コイル103A,103Bと、上側及び下側の縦振動用コイルに対向して振動子に配置される縦振動用マグネット107と、正極、負極の２端子から回転用コイルへの入力を上側及び下側の縦振動用コイルに向けて分岐して上側及び下側の縦振動用コイルへの入力をスイッチングした一定の周期の交流信号により上側及び下側の縦振動用コイルに生じる磁束の極性を反転し、縦振動用マグネットに対して上側及び下側の縦振動用コイルによる電磁力を互いに逆作用とするドライバＩＣ112とを備える。 （もっと読む）

【課題】部品点数の低減と小型軽量化を図りながら機能及び組立性を高め、さらなるコスト低減を実現した新規なロータリーアクチュエータを提供する。
【解決手段】ケース内に配置した単一の電磁コイル３と、該電磁コイルに磁極方向を揃えて所定エアギャップを持ち、かつ異極並列状態で配置した永久磁石７と、磁石を保持してその磁極方向と直交する面上を揺動する揺動アーム５と、揺動アームを軸支持すると共にその揺動を往復軸回転力として出力させる出力シャフト４と、から構成する。揺動アームへの磁石の保持は、揺動アームの電磁コイル側に磁石を配置する共に、反電磁コイル側に磁石に吸引されるバックヨーク６を配置して、揺動アームを挟持する形態である。また、電磁コイルの中心位置にコア３１を配置し、揺動アームの移動を抑止するストッパ８をケース内に配置する。 （もっと読む）

【課題】 磁石の反発力を利用してステージを加減速するステージ装置において、反発力を発生させる際に周囲に漏れる磁束による影響を抑制することを目的とする。
【解決手段】 ステージに設けられた第１磁石と、前記ステージの移動ストロークの端部に設けられ、前記端部において前記第１磁石と対向するように設けられる第２磁石とを有し、前記第１磁石と前記第２磁石との間に働く反発力を利用して前記ステージに力を付与する力付与手段と、
前記ステージを前記移動ストローク内で駆動する駆動手段とを備えたステージ装置において、
前記第２磁石の磁束を補強するための磁束補強手段と、
前記第２磁石からの磁束を遮蔽するための磁気シールドとを備える。 （もっと読む）

【課題】光学装置を提供する。
【解決手段】光学装置であって、駆動部移動装置は、レンズモジュールと駆動コイルとからなる。駆動コイルはレンズモジュールを囲繞し、光軸に平行な中央軸を提供する。駆動ステーターはハウジング、磁性素子およびヨークからなる。レンズモジュールはハウジングに可動設置される。磁性素子は駆動コイルを囲繞し、開口を有する。ヨークは磁性素子と作用し、磁界を生成する。磁性素子、ヨークおよび駆動コイルが相互作用して、光軸に平行に駆動部移動素子を移動させる。制動コイルは磁性素子の開口に配置される。制動弾性素子は駆動ステーターと制動コイルの間に接続され、開口に配置される。制動コイルは磁性素子、ヨーク、制動弾性素子と作用し、駆動部移動素子を着脱可能に取り付ける。 （もっと読む）

【課題】ヨークにおける磁束が漏れを防ぎ、レンズが取り付けられているホルダの駆動力を高めることができるオートフォーカス用アクチュエータを提供すること。
【解決手段】オートフォーカス用アクチュエータ１は、コイル２０を収容するように構成されたヨーク３０を備えている。このヨーク３０は、コイル２０と間隔を置いて対向するように配置された複数の永久磁石４０を有している。これらの複数の永久磁石４０の光軸方向下面にリング状の磁性部材５０を設置することによって、複数の永久磁石４０を連結し、隣接する永久磁石４０間でヨーク３０の連結部３４と反対側の開放部から下方へと磁束が漏れないようにしている。これにより、レンズが取り付けられるホルダの駆動力を高めることが可能になる。 （もっと読む）