【課題】 負荷を水平Ｘ方向と垂直Ｚ方向に位置決めする小形の位置決め装置を提供する。
【解決手段】 水平Ｘ方向に駆動するリニアモータと、垂直Ｚ方向に駆動するアクチュエータを備え、アクチュエータをリニアモータの可動側に搭載して負荷をＸ、Ｚ方向に位置決めする位置決め装置において、リニアモータのＸ方向寸法をＬ、Ｚ方向寸法をＷとした場合、Ｗ／Ｌ≧２として構成した。 （もっと読む）

【課題】ケーブルホースによって移動体の動作が妨げられることなく、コンパクトな平面モータ装置を実現する。
【解決手段】 平面を有する固定部と、この固定部の平面上をエアベアリングにより浮上した状態で移動することができる移動体とを備えた平面モータ装置において、
前記移動体に設けられ、前記移動体に電力を供給するバッテリーと、
前記移動体に設けられ、前記エアベアリングに圧縮気体を供給するポンプと、
前記移動体を駆動制御するための制御信号を無線通信により受信する通信手段と、
この通信手段で受信した制御信号に従って前記移動体を駆動制御する制御部と、
を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スライダをプラテンから降ろして吊り上げることなくスライダのエアベアリング面を直接メンテナンスできる平面モータを提供する。
【解決手段】
エアベアリング１９によりスライダ１２をプラテン１１の上面に浮上させ、２次元方向に移動させる平面モータにおいて、
プラテン１１に上面高さを揃えて外付けされ、スライダ１２の底面よりも小さな開口部５１ａと、この開口部５１ａを密封状態にふさぐ蓋部５１１と、この蓋部５１１を開閉する駆動機構５１２と、蓋部５１１を開いた状態において開口部５１ａからスライダ１２のエアベアリング面１２ａを清掃するメンテナンス部１８とを有する脱着式プラテン５１を備えたことを特徴とする平面モータ。 （もっと読む）

【課題】スライダをプラテンから降ろすことなくスライダのエアベアリング面を直接メンテナンスできる平面モータを提供する。
【解決手段】
エアベアリング１９によりスライダ１２をプラテン１１上に浮上させ、２次元方向に移動させる平面モータにおいて、
プラテン１１にエアベアリング１９に影響しない程度の大きさで設けられたメンテナンス穴１１ａと、
このメンテナンス穴１１ａを通してスライダ１２のエアベアリング面１２ａの清掃を行うメンテナンス部１８と、
を備えたことを特徴とする平面モータ。 （もっと読む）

【課題】ケーブルベア自体の垂れによる固定部との摩擦・破損を防止するとともに、移動体に加算されるケーブルベアの質量を低減して、高速化・高負荷化を図った平面モータを実現する。
【解決手段】固定部の平面上に配置された第１移動体と、一端が前記第１移動体に接続され他端がケーブルベア固定部に接続されたケーブルベアとを備え、前記ケーブルベアに収容されたケーブルから供給される電気信号に基づいて前記第１移動体をＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御する平面モータにおいて、
前記固定部の平面上に前記ケーブルベアの途中を支持する第２移動体を配置するとともに、前記第１移動体と前記第２移動体を同期して同じ方向に駆動するように構成した。 （もっと読む）

【課題】順方向の流れの他、逆方向の流れが不可避的に生ずる液体の逆方向の流れを抑制する。
【解決手段】液体を搬送するための流路と、前記流路内に設けられた導電性部材と、該導電性部材に電界を与える電極とを備え、前記電界により前記導電性部材のまわりに発生する電気浸透流によって前記液体に駆動力を付与して液体を搬送する液体駆動装置であって、前記導電性部材を基準として発生する、前記流路内の順方向への液体の流れと、逆方向への液体の流れの内、前記逆方向への流れを抑制する抑制部材が前記導電性部材の近傍に設けられている液体駆動装置。 （もっと読む）

【課題】誤差の少ない高精度な位置検出が可能な平面モータを実現する。
【解決手段】プラテン上に配置されたスライダをＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御する平面モータにおいて、
前記スライダにレーザ光源、レンズおよびイメージセンサを搭載し、前記レーザ光源から出射したレーザ光を前記プラテンで反射させ前記レンズを介して前記イメージセンサで受光するように構成した。 （もっと読む）

【課題】
静圧軸受手段が走査する定盤案内面の面精度を高め、渦電流をさらに低減する定盤の構成により、露光装置を高速化し、転写精度を向上するステージ装置を提供する。
【解決手段】
定盤と、該定盤面に沿って移動するステージと、該ステージを駆動する駆動手段と、前記ステージと前記定盤面との間を非接触に保つための静圧軸受手段と、前記定盤面の所定部位に対向するように前記ステージに保持された磁気手段と、を有するステージ装置において、前記磁気手段が対向する前記定盤の所定部位に磁性体を配置すると共に前記静圧軸受手段が対向する前記磁性体の表面に非磁性体を被覆したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型化及び運動精度の高精度化を図ること。
【解決手段】固定軸３に沿って移動可能な可動子４３を有するリニアモータと、可動子を内側に挟んでガイドし、且つ固定側とされたガイドレール４２と、ガイドレールと可動子との間に介在され、可動子を移動可能に支持する支持手段４１と、を備え、支持手段が、互いの支持中心が可動子の厚み方向に直交し且つ固定軸の軸芯を含む水平面に沿って軸芯から逆方向に同距離離れるように配設され、ガイドレールのガイド面を支持する静圧パッド５１、５７と、流路５２、５７ｃを介して静圧パッドに流体を供給する供給手段とを有し、固定軸はケーブルが接続されたコイルを有し、可動子に静圧パッドが形成され、可動子が内部に永久磁石４を有し、且つケーブルを引きずることなく移動可能とされ、流路がガイドレールに設けられ、可動子と共に移動しないアクチュエータ７０を提供する。 （もっと読む）

【課題】可動マグネット型リニアモータの小型、軽量化により、高速かつ高精度な切削加工を可能にした工具送り装置を提供する。
【解決手段】支持ベース体２１と、支持ベース体に対して相対移動可能な可動体２２と、可動体の先端部に取付けられた工具１５と、可動体を支持ベース体に対して高速で相対移動させる可動マグネット型リニアモータ２４と、可動体の位置を検出する位置検出手段２５とを備え、可動マグネット型リニアモータは、可動体に配設されたマグネット構成体４２と、支持ベース体に配設されたコイル４１とを備え、マグネット構成体は、可動体の移動方向に間隔を有して配設された第１および第２の主マグネット５１、５２と、これら第１および第２の主マグネットの可動体の移動方向の両側に配設された第１および第２の補助マグネット５３、５４と、第１および第２の主マグネットの間に配設された第３の補助マグネット５５とからなる。 （もっと読む）

【課題】球殻形状のステータと、ステータ内部に内蔵された球状のロータとからなる球面モータにおいて、ロータ回転時の摩擦損失を低減し、ロータの動作範囲を大きくできる球面モータを提供する。
【解決手段】空気導入孔３を軸方向中心に設けたベアリングホルダ２とベアリングキャップ８との間にベアリングボール６を内蔵した球面軸受１でロータ１３を支持し、ベアリングホルダ２に導入された圧縮空気でベアリングボール６を浮上させることで、ロータ１３の回転時の摩擦損失を低減した。 （もっと読む）

【課題】推力の低下や変動を抑えると共に、製造工程の簡易化及び製造コストの低減を実現することができるモータ装置を提供する。
【解決手段】移動磁界を発生する歯状突極を有する可動部と、前記可動部に対向して配置されるプラテンとを備えるモータ装置であって、前記プラテンは、凸部及び第１の凹部が周期的に配列された表面を有する基材と、前記第１の凹部の内側に第２の凹部が形成されるように前記基材の前記表面の上に溶射によって形成された第１の溶射層と、前記第２の凹部を充填する樹脂と、を含むことを特徴とするモータ装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】平面パルスモータにおける可動子の回転制御に有用な技術を提供する。
【解決手段】平面パルスモータは、可動子４および固定子１２を有する。可動子４は、磁性体を含んで構成され、固定子１２に対向する面に複数の凸部を有する。固定子１２は、可動子４を駆動するための複数の磁気発生ユニット６ａ、６ｂを有する。平面パルスモータの制御部は、複数の磁気発生ユニット６ａ、６ｂのうち、可動子１２の駆動方向に沿った可動子４の中心線Ｃを跨がず、かつ、可動子４が存在する領域からはみ出していない磁気発生ユニットから選択される磁気発生ユニットを動作させることによって可動子４の回転を制御する。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも簡単な構造でコイルの温度上昇を実用可能なレベルに抑制することができる可動コイル形リニアモータを提供するを提供する。
【解決手段】 強磁性体からなり断面コ字状のヨーク３１１と、ヨーク３１１の内側にその伸長方向に沿って配列された複数の永久磁石３１２を有し、正弦波状又は台形波状の磁束密度分布が現出する磁気空隙を有する固定子３１と、磁気空隙内に位置する有効導体部と磁気空隙外に位置する無効導体部を有する複数の空心コイルを有しかつ各空心コイルの周囲が熱硬化性樹脂でモールドされた断面Ｈ字形状の可動子３２とを備え、ヨーク３１１は、その底部に前記伸長方向に沿ってヨーク３１１の外周側と内周側を連通する複数の給気孔３０を有するとともに、各給気孔は分岐チューブ８を介してコンプレッサ６に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 シリンダ形リニアモータの固定子の撓みによって生じる、固定子と可動子の接触問題を解決し、リニア可動子との隙間調整を容易に行なうことが出来ると共に、固定子の組込み性を損なうことなく、固定子の長尺化を可能とし、しかも軸方向に確実に推力を伝えることができるコギングの発生を最小限に抑えるシリンダ形リニアモータを提供する。
【解決手段】 空気静圧軸受１２を埋め込んだヒンジ付ブラケット１１の一端を可動子２に接続し、他端を運動案内装置５であるガイドブロックク７に取付けられた移動テーブル９に接続している。空気静圧軸受１２に圧縮空気を供給すると、固定子１と空気静圧軸受１２は固定子１の撓みに関係なく常に一定の隙間を維持するので、可動子２のガイドレール６の位置に関係なく固定子１と可動子２は接触することはない。ヒンジはガイドレール６の方向には動かないので、可動子２で発生する動力は確実に移動テーブル９に伝わる。 （もっと読む）

【課題】 従来の電磁場の作用により電気の力で推進するための推進装置には、地上の軌道上を走るリニアモーターカーや、電磁誘導推進の船舶などがあった。しかしリニアモーターカーは、軌道に磁界を発生させる設備が必要で、進路が限定され設備コストがかさむという問題が有った。また海中などで使われる電磁誘導推進装置は、電力消費が大きく海でしか使えず用途が限定されていた。
【解決手段】 機体の胴体の表面近くにコイルを２つ以上設置し、あるコイルに変化する電流を流し磁界を発生させ、機体の周囲に誘導電流を発生させる。側にあるコイルに位相の異なる電流を流し磁界を発生させ、機体の周囲に誘導電流を発生させる。これにより複数コイルの発生した位相の違う磁界や誘導電流に反発したり引き付け合う作用が発生し、これを利用し推進力を発生させる。 （もっと読む）

【課題】可動子を浮上させた場合に、負荷物への影響を削減できる平面モータを実現する。
【解決手段】固定子と、この固定子に対向して配置された可動子と、この可動子と固定子の間に流体を吹き出すことによって可動子を浮上させる浮上装置とを具備する平面モータにおいて、前記可動子の一方の面側に設けられた負荷取り付けベースと、前記可動子の一方の面の中央部あるいは周縁部の所定位置と前記負荷取り付けベースとを接続する接続部とを具備したことを特徴とする平面モータである。 （もっと読む）

【課題】Ｘ、Ｙ方向およびθ方向の位置決めを可能とする両面パルスモータを実現する。
【解決手段】進行方向に平行な上面および下面に所定ピッチの歯がＸ軸方向およびＹ軸方向に形成された可動子コアを備える可動子フレームと、
前記可動子フレームを挟み、前記可動子コアの上面および下面に形成されたＸ軸方向およびＹ軸方向の歯に対向して、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に歯が形成された一対の固定子コアを備える固定子フレームと、
前記可動子コア又は前記固定子コアの少なくともいずれかに設けられた励磁巻線と、
前記励磁巻線への励磁電流供給で発生する磁気吸引力に抗して前記可動子コアと前記一対の固定子コア間に所定の空隙を形成するための空気軸受け手段と、
を備えることを特徴とする両面パルスモータ。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成であるとともに、さらなる推力の向上を図ることができるモータおよびそのようなモータを利用したＸＹステージを実現する。
【解決手段】複数の歯が形成された固定子と、この固定子に対抗配置され、それぞれに歯が形成された複数の極を備えた可動子とを有し、磁気吸引力により前記可動子を前記固定子に対して移動させるモータにおいて、前記可動子は、隣合う極同士の間に磁石が配置されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ステージ移送システムの大きさを小さくし、より正確な移送が成される機械装置の平面ステージ移動装置に関する。
【解決手段】本発明は、固定体であるベースと移動体であるテーブルの間に、移動力を加えるためのリニアモーターが形成されるのだが、コイルが巻線されたリニアモーターの固定子コアはベースに固定され、永久磁石が付着された移動子コアはテーブルに固定される機械装置の平面ステージ移動装置において、前記のベースとテーブルの間には、テーブルの横方向（X軸方向）移動のための二つのリニアモーターと、テーブルの縦方向（Y軸方向）移動のための二つのリニアモーターとが組み合わさった四つのリニアモーターが形成されるのだが、横方向移動のための第１リニアモーターおよび第３リニアモーターは、テーブルの下部および上部側に位置し、第２リニアモーターおよび第４リニアモーターは、テーブルの左右両側に形成された構造からなる。 （もっと読む）