【課題】本発明は、薄膜形成技術を用いて形成された圧電素子を備えた圧電薄膜振動子およびそれを用いた駆動装置および圧電モータに関し、反りのない圧電薄膜振動子およびそれを用いた駆動装置および圧電モータを提供することを目的とする。
【解決手段】進行波を発生させる薄板状のレゾネータ４と、レゾネータ４表面に形成された第１の電極３と、第１の電極３上に形成された圧電薄膜２と、圧電薄膜２上に形成された複数の第２の電極１ａ〜１ｄおよび１１ａ〜１１ｄとを備えた圧電素子９と、圧電素子９に生じる内部応力を補償する応力補償膜８とを有するように構成する。 （もっと読む）

【課題】 安定した駆動及び駆動音の低減を図ることのできる超音波モータの駆動方法及びその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 超音波振動子２に駆動交番信号を印加することにより、超音波振動子２に異なる２つの振動モードを同時に発生させ、超音波振動子２の摩擦接触子１０に略楕円振動を生じさせて、超音波振動子２と超音波振動子２に接触する被駆動体３とを相対的に移動させる超音波モータ１の駆動方法において、駆動交番信号を印加する本振動領域の前に、摩擦接触子１０に該略楕円振動よりも小さい予備振動を発生させる。 （もっと読む）

【課題】エンコーダスケール長に関係なくインチワーム式の移動ができる安価なアクチュエータの構成およびその駆動方法を提供することを目的とする。
【解決手段】送り用伸縮機構３２と、第１のロックアップ用伸縮機構３０と、第２のロックアップ用伸縮機構３１とを備えたアクチュエータ３において、第１と第２のロックアップ用伸縮機構３０、３１にエンコーダスケール７を架設し、その一端のみを第１または第２のロックアップ用伸縮機構のいずれかに固定し、エンコーダスケール７が固定されていない第１または第２のロックアップ用伸縮機構に固定されたエンコーダヘッド６で、そのスケールを読み取る構成とする。 （もっと読む）

【課題】回転時の摩擦抵抗が小さくかつ性能が安定した振動アクチュエータ装置等を提供する。
【解決手段】駆動信号により励振される電気機械変換素子１０６と、電気機械変換素子１０６に接合された環状の弾性体１０５と、弾性体１０５に加圧接触し、この弾性体１０５に対してその中心軸Ｉ回りに相対的に回転する回転体１０８と、弾性体１０５の中心軸Ｉに対して放射状に配置された回転軸回りに回転可能に支持され、その外周面が回転体１０８に追従して回転する転動面部１１０ａと接触する転動体１１１とを備える振動アクチュエータ装置１００において、転動体１１１は、弾性体１０５の中心軸Ｉからの距離に応じてその外径が増加する円すいころ状に形成した構成とする。 （もっと読む）

【課題】 変位部材と駆動部材との摩擦接触により発生する磨耗紛によって生じる駆動ムラを低減することができるとともに超音波モータの寿命を向上させることができるガイドプレートを提供することを目的とする。
【解決手段】 所定角度で交差するように配置された先端部が変位部材により相互に結合された二つのランジュバン型振動子を具備する超音波モータの駆動部材に設けられたガイドプレートであって、前記ガイドプレートは、前記変位部材が当接する面に凹部を有することを特徴とするガイドプレート。ここで、前記凹部は、レンガ積み形状または斜め格子形状またはボス穴形状のいずれかの形状を有する溝からなることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 駆動装置の駆動に伴う異音の発生を抑制する。
【解決手段】 複数の駆動源（１１、１６）と、各駆動源からの駆動力を合成して被駆動部材（２０）に伝達する動力伝達機構（１２、１３、１４）とを有し、動力伝達機構のうち駆動力が合成される部分における機械的不感帯量が略５０μｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を招くことなく、電気機械変換素子により駆動摩擦部材を効率よく振動させることができる駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置２０は、電圧が印加されると伸縮する電気機械変換素子１と、電気機械変換素子１の伸縮方向の一端に固定された振動伝達部材４と、振動伝達部材に固定された中空状の駆動摩擦部材３と、駆動摩擦部材３に摩擦力で係合する係合部材９とを備え、電気機械変換素子１を伸縮させて振動伝達部材４に固定した駆動摩擦部材３を振動させることで、駆動摩擦部材３上で係合部材９を移動させるものである。 （もっと読む）

【課題】超音波モータ２１との摩擦駆動によって発生する粉塵が超音波モータ２１と案内装置１０の可動体との隙間に噛み込むことを防止し、超音波モータ２１による安定した駆動特性が得られるようにする。
【解決手段】摩擦部材２６を有する超音波モータ２１と、前記摩擦部材２６が当接して摩擦駆動を行うことにより直線方向に可動する可動体とを有する案内装置１０において、
少なくとも前記摩擦部材２６よりも前記可動体の可動方向上流側の摩擦駆動面に、前記可動体と前記摩擦部材２６との摩擦駆動により発生する粉塵を除去する軟質部材１ａ、１ｂを配置させた構成とする。 （もっと読む）

【課題】第１の圧電素子に取り付けた駆動部材と被駆動部材との摩擦係合を確保、或いは解除する第２の圧電素子を設けることによって、被駆動部材を安定して正確に移動させることができるアクチュエータを提供する。
【解決手段】レンズ枠１８、２０を光軸方向に駆動させるアクチュエータ３０は、駆動用の第１の圧電素子３２Ａ、３２Ｂ、係合用の第２の圧電素子３２Ｃ、駆動部材３４Ａ、３４Ｂ、及び押えばね３６で構成される。圧電素子３２Ａ、３２Ｂ及び駆動部材３４Ａ、３４Ｂは被駆動板２６を挟んで両側に配置され、駆動部材３４Ａ、３４Ｂの間隔が圧電素子３２Ｃによって拡縮される。この圧電素子３２Ｃによって、駆動部材３４Ａ、３４Ｂと被駆動板２６との摩擦係合が確保、或いは解除される。 （もっと読む）