【課題】基板を処理する複数の放電空間毎の処理のばらつきが小さく、パワーロスが小さく、かつ高周波電力を任意の数に均等に分配することができる高周波電力分配装置を提供すること。
【解決手段】高周波電源からの高周波電力を均等に分配して供給する高周波電力分配装置４ａは、入力された高周波電力を複数に分岐する分電部材３０と、分電部材３０で分岐された高周波電力を複数の平行平板電極に伝送する、中心の給電線およびその周囲の接地線からなる同軸伝送線３５と、入力側のインピーダンスを調整して電流値を低下させるためのインピーダンス調整機構３６とを有し、分電部材３０は、板状の導体からなる本体３１と、本体３１の一方の主面の入力点３１ａに高周波電力を入力する高周波電力入力部３２と、本体３１の他方の主面の入力点３１ａに対応する点を中心とした円周上に等間隔で複数配置された高周波電力出力部３３とを有する。 （もっと読む）

【課題】基板の改質等、ワークの処理などに使用されるプラズマ発生装置において、構造を小型化する。
【解決手段】マグネトロン４からのマイクロ波を伝搬する導波管を第１導波管４１と第２導波管とに分離し、間を同軸ケーブル装置４２で接続することで、前記ワークなどに対する設置の自由度を向上するようにしたプラズマ発生装置において、前記同軸ケーブル装置４２を中空の同軸ケーブル本体４２１と、その両端で気体が通過する貫通孔を有する接栓４２２，４２３とで構成する。したがって、第１導波管４１から第２導波管およびプラズマ発生ノズルへ、掃気およびプラズマの原料ガスを供給する管路を削減し、構造を小型化することができる。また、大パワーのマイクロ波による同軸ケーブル本体４２１の発熱に対する放熱も行うことができる。 （もっと読む）

【課題】矩形波が所定の時間単位毎に変動し、かつ順次減衰するような電圧を出力し、静電破壊試験及び誤動作誘導試験に適用できる減衰矩形波電圧発生回路を提供する。
【解決手段】一方側端に放電用スイッチ４を有し、所定の電源電圧５によって充電及び放電が可能である同軸ケーブル１、他方側端において、外側ラインと内側ラインとが短絡状態あるいは開放状態及び所定の抵抗値のインピーダンスを接続する状態の何れかを選択し得る同軸ケーブル２、他方側端において、自らの特性インピーダンスに整合する抵抗値を介して接地する同軸ケーブル３を備え、同軸ケーブル１、２の電圧波の導通時間を同一に設定し、同軸ケーブル１と接続したスイッチ４及び同軸ケーブル２及び同軸ケーブル３の一方側端を相互に接続し、当該接続部位６において所定の周期の下に変化しながら順次減衰する矩形波電圧を発生する。 （もっと読む）