【課題】ｗｅｔタイプ（溶液使用）の窒素酸化物（ＮＯｘ）の除去（ｄｅＮＯｘ）装置において、コンパクトな構成で実現する。
【解決手段】溶液とＮＯｘガスとを剪断方式のマイクロバブル発生器のミキサー５４で混合しｄｅＮＯｘ反応を行わせる。ミキサー５４は、筒状に形成され、軸方向上流側のガイドベーン室５４１と、下流側のカッター室５４２と、カッター室５４２にＮＯｘガスを注入するエゼクターパイプ５４３とを備える。前段のポンプから溶液が注入されると、ガイドベーン室５４１のカッター５４１１，５４１２で螺旋回転が与えられ、カッター室５４２のキノコ状の衝突体５４２１で注入されたＮＯｘガスとともに超微細に砕かれて、マイクロバブルとなる。これによって、ＮＯｘガスの溶液内での滞留時間を長くし、また接触面積を多くすることで反応効率を高め、高いｄｅＮＯｘ機能をコンパクトに実現できる。 （もっと読む）

【課題】クリーンルームの滅菌処理を行う際の二酸化窒素ガスの無駄を無くす。
【解決手段】ガス供給系統３０で生成したＮＯ_２ガスをクリーンルームＲ１〜Ｒｎに充填し、滅菌処理を行う滅菌システム１において、それらの間に蓄積タンク１０および電磁弁ＲＶ１１〜ＲＶｎ１；ＲＶ１２〜ＲＶｎ２を介在する。そして、ＮＯ_２ガスを効率良く生成できる第１の濃度まで蓄積タンク１０にＮＯ_２ガスを溜めながらガス供給系統３０に生成させ続け、一旦生成を停止した後、クリーンルームＲ１〜Ｒｎへの供給に伴うガスの使用によって、濃度が前記第１の濃度より低く設定される第２の濃度より低下すると、生成を再開、すなわちいわゆる追い炊き機能を実現する。したがって、初期には高効率にＮＯ_２ガスを生成することができ、またクリーンルームＲ１〜Ｒｎに出入りすることもできる。さらに、最終的に蓄積タンク１０に残るＮＯ_２ガスの量を少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】ガスセンサにおいて、低濃度域を高速高精度に安定して測定できるようにする。
【解決手段】ＮＯ_２ガスの濃度センサＳ１，Ｓ２において、ガス流路として相互に並列に配置された第１の流路Ｈ０および複数の第２の流路Ｈ１〜Ｈ４を設ける。第１の流路Ｈ０には光センサからなる高濃度ガスセンサＳＰを、第２の流路Ｈ１〜Ｈ４には半導体からなる低濃度ガスセンサＳＳ１〜ＳＳ４をそれぞれ設け、低濃度ガスセンサＳＳ１〜ＳＳ４の上流側には電磁弁ＶＳ１〜ＶＳ４を設ける。そして、制御装置Ｃの弁制御回路Ｃ１は、光センサ回路Ｃ２でセンサＳＰの測定値が充分下がってから、電磁弁ＶＳ１〜ＶＳ４を択一的に「開」として、半導体センサ回路Ｃ３に測定を行わせる。したがって、高感度なセンサＳＳ１〜ＳＳ４を、非測定時にむやみにＮＯ_２ガスに曝露することなく、劣化や破損を防止し、高濃度域から低濃度域までの広いレンジにおいて安定して使用できる。 （もっと読む）

【課題】ＮＯ_２ガスの生成や無害化に掛かるコストを削減する。
【解決手段】滅菌処理を行うべきクリーンルームＲ１〜Ｒｎに、ガス供給系統３０から滅菌処理用のＮＯ_２ガスを充填するようにした滅菌システム１において、使用済みのＮＯ_２ガスを回収し、保存しておくとともに、以降の滅菌処理時に、必要に応じて前記クリーンルームＲ１〜Ｒｎへ供給するＮＯ_２回収系統６０を設ける。したがって、ＮＯ_２ガスを再利用することで、ガス供給系統３０から供給するガス量を削減することができるとともに、処理後に排気系統５０から外部へ排出すべきガス量も削減することができる。これによって、前記ガス供給系統３０および排出ガスを無害化する前記排気系統５０の能力（容量）を小さく、したがってコストを削減することができるとともに、ガス充填や排ガスの処理を短時間で行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ＮＯ_２ガスを生成するプラズマ発生ノズルにおいて、電極交換を容易にする。
【解決手段】同心状に配置される内側電極３５および外側電極３６を有し、導波管６２を介して伝搬されるマイクロ波を内側電極３５で受信することで電極３５，３６間にグロー放電を発生させ、電極３５，３６間に供給される空気をプラズマ処理してＮＯ_２ガスを生成するプラズマ発生ノズル３１において、損耗する内側電極３５を交換可能にするために、該内側電極３５を、絶縁性を有する材料から成り、円筒状に形成される保持部材３７によって保持する。そして、保持部材３７の外周面と外側電極３６の内周面との間を、処理されたガスが漏れないようにＯリングなどの無端環状のシール部材３７３でシールするにあたって、そのシール部材３７３を保持部材３７側の周方向に形成した凹溝３７１１に嵌め込むようにする。したがって、保持部材３７ごとシール部材３７３を取り外せる。 （もっと読む）

【課題】基板の改質等、ワークの処理などに使用されるプラズマ発生装置において、構造を小型化する。
【解決手段】マグネトロン４からのマイクロ波を伝搬する導波管を第１導波管４１と第２導波管とに分離し、間を同軸ケーブル装置４２で接続することで、前記ワークなどに対する設置の自由度を向上するようにしたプラズマ発生装置において、前記同軸ケーブル装置４２を中空の同軸ケーブル本体４２１と、その両端で気体が通過する貫通孔を有する接栓４２２，４２３とで構成する。したがって、第１導波管４１から第２導波管およびプラズマ発生ノズルへ、掃気およびプラズマの原料ガスを供給する管路を削減し、構造を小型化することができる。また、大パワーのマイクロ波による同軸ケーブル本体４２１の発熱に対する放熱も行うことができる。 （もっと読む）

【課題】二酸化窒素に関する物理量を測定する測定装置において、装置内部への二酸化窒素の吸着を原因とする測定誤差の発生を防止する。
【解決手段】滅菌装置１が備える濃度センサ１１１（測定装置）は、二酸化窒素を含むガスが導入される導光管Ｔｓと、導光管Ｔｓに二酸化窒素の濃度（物理量）を測定するための測定光を投光する第１発光部１１１ａ１と、導光管Ｔｓ内に吸着した二酸化窒素を除去するための除去光ＩＲを導光管Ｔｓに投光する第２発光部１１１ｆと、を備える。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波のエネルギを伝達する伝達系中の熱による損傷を回避することを可能とするとともに出力調整が容易な構造を備えるプラズマ生成装置を提供することが課題である。
【解決手段】マイクロ波を発生させるマイクロ波発生装置と、マイクロ波を案内する第１導波管と、マイクロ波を捕捉する基端部と捕捉されたマイクロ波を放出する先端部とを備えるケーブルと、ケーブルの先端部から放出されるマイクロ波を案内する第２導波管と、ケーブルの先端部から放出されたマイクロ波を捕捉する基端部を備える電極と、電極の先端部が配設されるとともにプラズマを放出するための開口部を備えるノズル体と、第２導波管の内面により反射されてなる反射マイクロ波を熱エネルギに変換する変換部と、を備えることを特徴とするプラズマ生成装置。 （もっと読む）

【課題】滅菌装置等から導出された排ガス中の窒素酸化物を簡単な構成で効果的に除去することができる排ガス浄化装置を提供する。
【解決手段】高濃度の窒素酸化物を含むガスを使用して所定の処理を行う処理装置１の排ガスを浄化する排ガス浄化装置５０であって、還元ガスを供給する還元ガス供給部５３と、当該還元ガス供給部５３から供給された還元ガスをプラズマ化するとともに、前記処理装置１から導出された排ガス中の窒素酸化物と反応させることにより窒素酸化物を還元して無害化するプラズマ反応部（プラズマノズル３１）とを備える。 （もっと読む）

【課題】硝酸フィルタに物理吸着された窒素酸化物が離脱して大気中に排気させることを防止する。
【解決手段】浄化排気工程を開始するときに、真空ポンプＰ５１の動作を開始させ、かつ、オゾナイザー５１からオゾンの供給を開始させる。また、浄化排気工程を終了するときに、ポンプＰ５１の動作を停止させ、かつ、オゾナイザー５１からのオゾンの供給を継続させる。そして、浄化排気工程が終了したときから一定期間経過後に、オゾナイザー５１からのオゾンの供給を停止させる。 （もっと読む）