【課題】ガスを冷却する冷却能力及びガスに混入された残渣を濾過する濾過能力を良好に維持しつつ、軽量化を図ることができる濾過部材及び濾過部材の製造方法を提供する。
【解決手段】筒状をなすフィルタ１９には、本流濾過部２２と、該本流濾過部２２よりも編目層の積層数が少ない支流濾過部２３とが形成されている。そして、前記フィルタ１９がインフレータ１０内に配置された場合、フィルタ１９は、本流濾過部２２とインフレータ１０の各ガス放出口２０とが軸方向において位置対応するように配置される。そのため、チャンバー部１７にて大量に発生した高温高圧ガスの大部分が本流濾過部２２内を径方向内側から径方向外側に向かって通過することになる。一方、支流濾過部２３には、前記本流濾過部２２内を通過する高温高圧ガスの通過量に比して少量の一部の高温高圧ガスが通過することになる。 （もっと読む）

【課題】 濾材に油膜や水膜が形成されるのを防止する。
【解決手段】 濾材１２の金属製の基材２１の表面にフッ素樹脂膜２２を形成する。これにより、フッ素樹脂膜２２の撥水性、撥油性によって、濾過対象である水系液体４１に混入した油４２や、濾過対象である油系液体に混入した水が、濾材１２の表面に広がって張り付くことが防止され、これにより、濾材１２に油膜や水膜が形成されるのが防止される。 （もっと読む）

【課題】目が均一で、強度の高いフィルターの提供。
【解決手段】平織金網及び綾織金網を折り曲げ加工し、さらにプレス加工することによってフィルターを作る。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡単で、脱臭、粒子捕集性のよい空気清浄装置を提供すること。
【解決手段】 ダクト状のケーシング（１）の下端部に吸入口（２）が上端部に排出口（３）が設けられ、第１空間（１ａ）内に設けた送風機（５）により空気は下から上へ流れる。吸入口には第１フィルタ（１０）が取付けられ、第１仕切り壁（６）に第２フィルタ（２０）が、第１仕切り壁と第２仕切り壁（７）の間に複数の第３フィルタ（３０）が設けられ、第２仕切り壁の上に第４フィルタ（４０）が載置されている。第１、２紫外線ランプ（５０、６０）が第３、４フィルタの上流側の面に紫外線を照射する。第１、２フィルタは洗浄可能な耐腐食性材料の連続した単一細線を、空気の流れに直角な方向に折り曲げながら積層して形成され、第３フィルタは臭気物質を吸着すると同時に分解する触媒活性炭で形成され、第４フィルタはＨＥＰＡフィルタである。 （もっと読む）

内燃機関の排気ガスが貫流可能な、種々異なる流れ抵抗の各領域がある坦体を有する排気ガス後処理装置が提案されており、その際、坦体は、各流れ領域（４）を有しており、前記各流れ領域（４）は、相互に仕切られていて、各々境界装置部（２，１２，１４）によって境界付けられており、前記各流れ領域（４）は、各々少なくとも１つの、排気ガスが供給可能な流入開口（７）を有しており、前記境界装置部を種々異なって構成することにより、前記坦体の、内燃機関の排気ガスが貫流可能な各領域（１１，１３；１５，１６；２０，２１；５７，５８）内に種々異なる流れ抵抗が形成される。
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本発明は、概して排気システムに関し、特に、過圧力および／または逆流の防止および組合せトラップ／消音器（１２６、１２６’）を含む、半導体エッチングおよび堆積プロセス用の排気調整システム（１１０、１１０’、１１０”）に関する。利点は、自動連続動作、予定外の真空ポンプ停止によるウェーハ損失の実質的ゼロ、低減した微粒子欠陥、および改善された歩留りを含む。
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