【課題】円形の基板の周縁部に塗布液を塗布してリング状の塗布膜を形成するにあたり、その幅を均一性高く形成することができる技術を提供すること。
【解決手段】基板の回転及びノズルからの塗布液の供給を行いながら、塗布液の供給位置を基板の外側から基板の周縁部に向けて移動させ、当該基板を平面で見たときにその角度が１０°以下である楔型に塗布液を塗布し、次いで、基板の回転及び塗布液の供給を続けたままノズルの移動を停止し、基板の周縁部に沿って帯状に塗布液を塗布し、この帯状に塗布された塗布液の端部を前記楔型に塗布された塗布液に接触させ、基板の全周に亘って塗布液を塗布する。 （もっと読む）

【課題】フォトリソグラフィ法によってパターンを形成する際に用いる、減圧乾燥装置にて、搬入動作及び密閉動作中と、開放動作及び搬出動作中での、真空ポンプが減圧処理に寄与しない状態を解消して処理の能力を向上させ、また、急峻な減圧に伴う塗膜への悪影響を抑制し、多様な処理条件を設定できる減圧乾燥装置を提供する。
【解決手段】並列して設けた複数基の減圧乾燥装置で構成され、チャンバー１４−１、１４−２内を減圧する真空ポンプとして複数基の真空ポンプＰ１〜Ｐ４を備え、複数基の各真空ポンプは、配管６−１〜６−４及びバルブＢ１〜Ｂ８を介して複数基の減圧乾燥装置の各チャンバーに接続されており、各チャンバーに対して、任意の基数の真空ポンプを用いた減圧が行えること。 （もっと読む）

【課題】液体保持手段の回転による遠心力で液体を外部に飛散させる開口部を、開閉部材の作動により効率的に開閉して間欠塗布を可能にする。開閉部材により開口部を閉鎖してケース内部を外部と遮断することにより、内部の液体が乾燥や酸化したり、塵等の侵入するのを防ぐ。開閉部材による開口部の開口度を調節して被塗布体に塗布される量を調整する。開口部の周縁に付着した液体が垂れ落ちるのを防止するので、塗布の不良や装置周辺を汚すことを防止する。
【解決手段】液体保持回転体の外周側に応じた箇所のケースに設けられ、液体保持回転体の回転に伴う遠心力により供給された液体をケース外へ放出可能にする開口部を、開閉部材により開閉可能にする。 （もっと読む）

【課題】従来では不可能であった高粘度の液体でも定量的に安定に吐出が可能で、微小吐出から大量吐出まで制御性の良い吐出を可能とする液滴吐出方法を提供すること。
【解決手段】液滴を吐出する際、液滴が液滴保持面から離れると同時に、液滴保持面を開くことを特徴とする。又、液滴保持面が円筒ノズルであり、液滴が円筒ノズルから離れると同時に、円筒ノズルが分割して開くことを特徴とする。吐出する前の液滴が円筒ノズル内で保持されていれば、従来のインクジェットノズルと同様の液体体積の定量性を重視することができる。即ち、ノズル径と高さから、予め所望の吐出すべき液体体積を設計することができる。 （もっと読む）

【課題】隣のレーンとのオーバラップ部分は、液剤が２回塗布されるため、粘度の高い液剤においては塗布後の平滑化が行われない。そのため、筋模様が床に表れる問題がある。そこで、隣のレーンとのオーバラップ部分の液剤の膜厚を一定にし得る自走式作業車を提供することを目的とする。
【解決手段】自走する作業車に関する。床面に液剤を塗布するためのノズルと、前記作業車の走行方向Ｘに概ね直交する横方向Ｙの所定の塗布幅Ｗにわたって前記塗布幅Ｗの両端近傍についての滴下量を、前記塗布幅の中央付近よりも小さくするよう制御する制御手段とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）