【課題】 キャリアをブラシ洗浄する際に、ブラシの回転駆動に伴って発生するパーティクルによる洗浄度低下を防止する。
【解決手段】 回転ブラシを駆動するためのモータ３８ａを水平アーム３２内に収容する。水平アーム３２の先端部から下方に延出する垂直アーム３３の下端部に、回転ブラシの回転軸３５を支持する軸受３４を取付け、モータ３８ａの回転を垂直アーム３３内のベルト３８ｅを介して回転軸３５に伝達する。回転ブラシを支持するアームをケースにして、回転ブラシの回転駆動部３８をこのケース内に収容したことにより、ブラシの回転駆動に伴って発生するパーティクルの洗浄槽への落下が防止される。 （もっと読む）

【課題】 基板の両面を同時洗浄することが可能な基板洗浄装置において、基板のチャッキング部周辺に付着した異物を確実に取り除いて、高スループット、高歩留まりにて洗浄を行うことができるようにし、また、装置の小型化を図る。
【解決手段】 基板Ｗが略垂直な姿勢とされた状態でブラシスクラブ槽まで搬送され、ブラシスクラブ槽では、基板保持装置８の基板Ｗとの当接部分が同等の厚さとされたチャッキング部８ｂ，８ｃによって基板Ｗが略垂直な姿勢のままで保持され、回転ブラシ１２ａ，１２ｂと当接する位置まで移動される。回転ブラシ１２ａ，１２ｂは、基板Ｗの表裏両面の全面に同時に接してスクラビング洗浄を行う。これにより、基板Ｗ表面のエッジ部周辺に付着する異物まで確実に取り除くことができる。 （もっと読む）

【課題】 高い洗浄力と洗浄面保護性を備えると共に、外観及び性能面において均一な回転ブラシを実現し得る毛材を提供する。
【解決手段】 放射状に延びた主枝幹１の外縁部から副枝幹２が分岐し、副枝幹２によって、外周部が隙間３を持った正六角形の断面形状を成していることを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】 塗装面の塗膜に付着した塵の除去
【構成】 クリーナー本体から伸びる微振動ロッドの先端に小基板を固着する。枠状のペーパー保持体のこの小基板の周囲に配置し，その底面には弾性プレートを固着する。細断したサンドペーパーの両端をこの枠状のペーパー保持体に折り返して取り付ける。水等に濡らしたこのサンドペーパを塗膜に回しながら押しつけて塵を除去する。
【効果】 簡単に塵を除去でき，周辺部の塗膜剥離面積は最小で済む。 （もっと読む）