【課題】小型かつ構造が簡易でありながら、送りネジを回転させた際には、可動ステージを容易かつ安定的にスライドさせることができる一方で、送りネジの回転を止めた際には、可動ステージのバックラッシュを効果的に抑制できるステージ機構およびその製造方法を提供する。
【解決手段】固定ステージと、当該固定ステージの表面に沿ってスライドする可動ステージと、を含むステージ機構およびその製造方法であって、固定ステージが、送りネジと、連結部材を介して可動ステージに連結されるとともに送りネジのネジ溝に沿って回転移動するナット部材と、を備え、ナット部材が、ナット部材の表面に挿入孔を有するとともに、ナット部材のネジ孔方向において挿入孔の両側に形成されたダブルナット構造を有し、かつ、挿入孔に対して、バックラッシュ吸収部材が挿入してある。 （もっと読む）

【課題】加工工具とワーク保持部とを位置決めする送りネジ機構における雄ネジと雌ネジとの接触面が摩耗した場合であっても両者の位置決め精度の低下を防止することができる加工装置を提供する。
【解決手段】加工装置１００は、被加工物ＷＫを保持するワーク保持部１１２を変位させる送りネジ機構１０７を備えるとともに、切削工具からなる加工工具１１５を保持する加工ヘッド１１４を変位させる送りネジ機構１１８を備えている。これらの送りネジ機構１０７，１１８は、雄ネジ１０８ａ，１１９ａが形成されたネジ軸１０８，１１９と雌ネジ１０９ａ，１２０ａが形成された可動体１０９，１２０とで構成されて鉛直方向に対して傾斜した状態で設けられている。このため、送りネジ機構１０７，１１８は、ネジ軸１０８，１１９における雄ネジ１０８ａ，１１９ａの各山の上側のバックラッシが可動体１０９，１２０の自重により常にない状態で噛み合う。 （もっと読む）

【課題】バックラッシのない構造が簡単で軸方向高さの小さいコンパクトなバックラッシ調整装置及び主軸駆動装置を提供。
【解決手段】割出用駆動モータ８の出力軸１０に設けられた駆動はすば歯車１１にかみ合う第１、２のはすば歯車１２，１５と第１、２の平歯車が設けられた第１、２の中間軸２１．２２を設ける。第１、２の平歯車とかみ合う第１、２の中間平歯車１３，１６を設け回転軸２に設けられた従動平歯車１８に同時にかみ合うようにする。第１及び第２の中間軸を軸方向に移動させバックラッシを調整可能とする。さらに、第１及び第２の中間平歯車又は従動平歯車のどちらか一方を軸方向に移動させて従動平歯車と切断又は接続する。主軸（回転軸）２を高速回転用モータ６０に接続された中空高速軸３３内に回転かつ軸方向に摺動可能に挿通させ、中空高速軸と主軸とをクラッチ３７で切断又は接続する。 （もっと読む）

【課題】テーブルを移動させるモータを固定できてモータ移動によるトラブルがなく、モータの制御が容易で、バックラッシュの生じないワーク位置決めステージを開発する。
【解決手段】ＸＹ両方向に摺動自在な軸３の上部にテーブルを設け、基端部が回動自在に支持された２本のアーム５をＸ字状に交叉して設ける。該アームには、各々内部を前記軸が摺動する長穴６を設け、前記アームの各長穴の交叉部において前記軸が長穴に挿通している。２本のアームを回動することでテーブルが任意の位置に移動する。モータ７が固定で移動しないので、モータ移動によるトラブルがなく、テーブルを任意の位置に移動する場合、アームの回動速度は全く任意であるので、駆動モータの制御がきわめて容易である。 （もっと読む）

【課題】 ロータリテーブルを、サーボモータにより、歯車伝動機構を介して、回転駆動および位置決めするに際して、位置決め時における歯車伝動機構のバックラッシに起因するがたつきを解消せしめ、位置決め精度の向上を図ること。
【解決手段】 サーボモータ５２によるロータリテーブル２０の位置決め時に、該ロータリテーブル２０に対して、何れかの回転方向に付勢力を及ぼす付勢手段５４を設けた。 （もっと読む）