化学機械研磨装置において半導体ウェハを保持する保持リング（１０）であって、これまでよりもコスト効率的に製造され得ると共に、特に、これまでよりもコスト効率的に新たなプラスチック部分が装着され得るという保持リング（１０）を提供するために、半導体ウェハに対する化学機械研磨装置に対して装着されるべき保持リング（１０）は：第１材料から成る支持リング（１２）であって研磨装置に対して該支持リングを装着するための装着要素を有する支持リング（１２）と；プラスチック材料から成ると共に上記支持リング上に同心的に配置される担持リングであって、第１の前側を以て研磨装置の研磨表面上に着座し、且つ、軸心方向において上記第１の前側の反対となる側にては離脱自在に、回転不能に、確定的および／または摩擦的接続を以て且つ接着剤なしで上記支持リング（１２）上に保持されるという担持リングと；を備え、上記第１材料は上記担持リングの上記プラスチック材料よりも大きな剛性を有することが提案される。
（もっと読む）

【課題】 加工中又は搬送中には十分な保持力で部品を保持固定でき、完成後には部品を容易に取り外すことのできて、部品を破損させることのない、部品の加工及び搬送に使用する部品保持具を提供する。
【解決手段】 上面が平坦に形成されたベース部材２と、該ベース部２の上面に少なくとも周縁部５で接着固定された上面に粘着部３が形成された粘着弾性シート部材４とを有し、ベース部材２又は粘着弾性シート部材４には圧縮気体を注入・排出する通気孔６が設けられ、該通気孔６から圧縮気体を注入することにより粘着弾性シート部材４が膨張して上方に隆起することで、粘着弾性シート部材４に取り付けられた部品Ｐと粘着弾性シート部材４との密着部の一部が剥がされるようにする。 （もっと読む）

クランプ本体（１）は、支持体に強固に留め付けるための中央領域（２）と、２本の平行なアーム（３、４）と、該アームを前記中央領域（２）に接続する４本の弾力性のある指状体（12、13、14、15）を備えた軸支回動装置（５）とを有して一体に切り出される。顎部（17）は、ピン（29）、パッド（30）、及びボルト（31）を介して前記アーム（３、４）に留め付けられる。制御部材（26）が静止位置にあるときには、ドリル（25）の端部が前記顎部（17）の突出部の間に狭持される。前記制御部材（26）を斜面（27、28）に沿って厚くなっている端部の方へ動かしてアームの後端部を相互に近付くように動かし、軸支回動装置を変形させて顎部（17）を開かせることによってクランプを開く。 （もっと読む）

グラインディング・ホイールによりウエハを研削する際に、半導体ウエハを保持するために用いられる流体圧パッドを提供する。パッドは、ウエハに直接的に対向する本体部の表面に設けられた流体ポケットを有している。ポケットは本体部を通り、ポケットに流入する流体を受け入れることに適合化されており、本体部とワークピースとの間にバリアを提供して、研削中にワークピースに圧を加えながら、ワークピースを保持する。流体圧パッドは、パッドに対してウエハをそれらの共通の軸まわりで回転させる。ポケットは、グラインディング・ホイールが流体圧パッドに対して相対的にシフトしたり又はチルトしたりする場合に、ウエハ内に生じる曲げモーメントを低下させ、グラインディング・ホイールのシフト又はチルトによって同様に生じるウエハ表面のナノトポロジー低下の防止に寄与する。
（もっと読む）

ガラスシートのエッジを処理するときに発生する微粒子および他の汚染物質がガラスシートを汚染しまたは損傷させるのを防止するのに役立つ装置および方法が記載されている。装置は封入手段および処理手段を備えている。封入手段は、ガラスシートの両面を支持する能力を有する。そして、処理手段は、封入手段の第１の領域側に位置する、ガラスシートの両面に隣接するエッジを処理する（例えば、裁断し、罫書き、研削し、または研磨する）能力を有する。封入手段は、処理手段がガラスシートのエッジを処理するときに発生する微粒子および他の汚染物質が、封入手段の第２の領域側に位置する、ガラスシートの両面に到達するのを実質的に防止する能力を有する。
（もっと読む）

【課題】本発明は規格の違う部屋、外壁及び天井を磨く時に使える機器の提供です。
【解決手段】本機器には、粉塵収集及び位置決めの作用があります。一人で機器を推してできた圧力で壁の磨きを実施します。同時に大型設備の欠点を補足します。ハーンドリングが容易で、位置決めができ、粉塵収集もできます。本発明は使い勝手が良く、実用的で、手作業から機械作業への切り替えを図ります。労働強度を低減し、労働効率をアップできます。本機器によって磨いた壁はとても綺麗で、整然とします。 （もっと読む）

【課題】 自動車エンジン用のクランクシャフトのクランクピンを研削加工するにあたり、従来はクランクピンの中心を主軸に一致させて加工していたため、偏心チャックを必要とし、このため主軸台が複雑になる等の問題があった。そこで、本発明は、偏心チャックを用いることなく、より簡単にクランクピンの研削加工を行えるようにすることを目的とする。
【解決手段】 ワークＷは、その回転軸線Ｗｃを主軸の回転中心に一致させて、クランクピンＰを偏心させた状態で回転することにより、従来の偏心チャックは不要とし、かつクランクピンＰの回転角度θに応じて、砥石ＧとクランクピンＰのＸ軸方向およびＹ軸方向の２位置について制御することにより、従来よりも簡易な制御で高精度な加工を実現する。 （もっと読む）

【目的】本発明は、左右の主軸台のチャックで支持したクランク軸の撓み量及び加工後のピンストロークの誤差分を加工中に各ピン部毎予め補正しクランク軸を取り外すことなく全自動で全てのピン部を高精度なピンストロークで加工を可能にした研削装置を提供する。
【構成】砥石台２と、左右一対の主軸台９ａ，９ｂの主軸の軸線に対して偏心した位置でクランク軸Ｗを把持するクランプ装置を有し主軸の軸線に対して偏心方向に移動可能なチャック１１ａ，１１ｂを備え前記砥石台２の前方で砥石台２の進退送り移動方向に対し水平な面内において直交する軸線方向に移動してクランク軸Ｗの各ピン部を加工位置に割り出し位置決めするテーブルとからなる研削装置において、、前記チャック１１ａ，１１ｂを偏心方向に移動させる送り機構と嵌脱可能であり、サーボモータによって回転駆動されるスピンドルを有し前記チャックの１１ａ，１１ｂ偏心量を調整してピンストロークを補正するピンストローク補正装置１４ａ，１４ｂを備えた構成を特徴とする。 （もっと読む）