【目的】 人手による作業を自動化して容易な作業で熟練者と同等の鏡面研磨面を得ることができる配管開先面研磨装置を提供する。
【構成】 配管端面に固定できる脱着可能なクランプベース５と、クランプベース５に備えられＤＣモータ１２で駆動されるオシレートスライド６と、オシレートスライド６の移動テーブル上に設けられエアシリンダ１６で配管開先面にスライド可能な押し付けスライド８と、押し付けスライド８の上に傾斜軸１０と上下スライド９を介して搭載されワンタッチで交換可能な機構を有するグラインダ７と、外部からグラインダ７を駆動する駆動モータ台とを具えている。 （もっと読む）

【目的】 エッジポリッシャにおける研磨部材がウエハのノッチの角部によって傷付けらにくくする。
【構成】 外周の一部にノッチ５を有する円板形ウエハ１を保持して軸線の回りに回転させる保持手段１０と、ウエハの面取り加工された外周部１ａを研磨する研磨部材とを有し、上記保持手段におけるウエハ用チャック面１２の一部に、ウエハのノッチ５と対応して該ノッチの角部５ａが研磨部材に圧接するのを防止する突部１２ａを設けた。 （もっと読む）

【目的】ウエハの面取加工において、治具の交換頻度が少なく、なめらかな滑面を容易に得る。
【構成】直径６インチの多数の半導体用シリコンウエハ８を保持具１、２で挾持して回転数１００ｒ．ｐ．ｍ．で回転させ、ナイロン製の砥粒入りブラシ１０を用い、＃２０００の砥粒を２０重量％含む水をポリシングスラリーとしてノズル９から供給してウエハ８の面取加工を行った。 （もっと読む）