【課題】
密閉構造とした基板保管輸送容器に於いて、確実に非反応性ガスを封入でき、而も安定に封入状態が維持でき、外部から外気の浸入を防止する。
【解決手段】
基板を収納する密閉式の容器１と、該容器を開閉可能な蓋２と、給気ポートと、排気ポートとを具備し、前記給気ポート、前記排気ポートはそれぞれ弁口を閉鎖する様に付勢された弁体を有し、該弁体は前記弁口を通して前記弁体に当接する部材を介して外力が作用することで開動作する。
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【課題】成形加工後の保管容器に対して電子線を照射し、樹脂素材中の未架橋部を架橋させることで、アウトガスとなりやすい低分子成分を減らし、発生するアウトガス量を低減させる方法を提供させる。また、その低減方法により作製される光学部材用保管容器を提供する。
【解決手段】電子線照射により分解よりも架橋反応が進行する樹脂素材を成形加工して得られる光学部材用保管容器の製造方法において、後処理として電子線照射を行う光学部材用保管容器のアウトガス低減方法を提供する。また、光学部材用保管容器のアウトガス低減方法を用いて製造される光学部材用保管容器を提供する。 （もっと読む）

【課題】半導体チップの大きさが異なる場合であっても、簡単な構成で容易に且つ確実に共通の配置領域に配置し位置決め固定することができる方法、半導体チップ配置構造体、および半導体チップを提供する。
【解決手段】各半導体チップ１Ａ、１Ｂは、相対向する一対の頂点１０、１１を有する多角形で、高さＸと各なす角θを一定で、幅Ｙａ、Ｙｂを異ならせて形成されている。チップトレイの各ポケット２は、頂点１０、１１と対応する角部２０、２１間が一定の高さＨで、角部２０、２１が一定のなす角θに形成されており、半導体チップのうちで最大幅のものを収容し得る幅Ｗを有している。各半導体チップ１Ａ、１Ｂは、その頂点１０、１１をチップトレイのポケット２の角部２０、２１と合わせることにより位置決め固定されて収容される。 （もっと読む）

【課題】 エアバック内の圧力を広範囲にかつ微妙に高精度で比較的容易に調整することが可能となる圧力調整スイッチ機構、およびこの圧力調整スイッチ機構を用いた表示パネル輸送用の筐体装置であって、ガラス基板、液晶パネル等の表示パネルを破損等のトラブルを発生させることなく安全かつ確実に搬送させることができる表示パネル搬送用の筐体装置を提供する。
【解決手段】 本発明の表示パネル搬送用の筐体装置は、エアバックおよび圧力制御機構部を備え、エアバックは、緩衝部材と表示パネルとが実質的に交互に積層された積層体形成後の最上部に押圧用平板を介して配置され、積層体を押圧するように作用するとともに圧力制御機構部によってエアバックの内圧の制御が行われるように構成される。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ用カセット内に多数枚の半導体ウェハを収納して、運搬時の半導体ウェハの損傷を防止する。
【解決手段】底壁(4)と頂壁(5)との間に側壁(2,3)の間に所定の高さを有する収納室(8)を形成して配置された複数の隔壁(7)と、底壁(4)又は頂壁(5)に向かって移動可能に設けられ且つ各収納室(8)内に収容される半導体ウェハ(10)を支持する可動棚部(9)と、側壁(2,3)の外面に移動可能に配置されかつ可動棚部(9)に接続された連結部材(14)とを半導体ウェハ用カセットに設ける。可動棚部(9)は、半導体ウェハ(10)を支持する搬送アーム(13)のパレット(13a)を挿入する凹部(12)を有する。連結部材(14)を移動することにより底壁(4)又は頂壁(5)に向かって半導体ウェハ(10)と共に、可動棚部(9)を一度に移動して、隔壁(7)間又は隔壁(7)と底壁(4)若しくは頂壁(5)との間に半導体ウェハ(10)を挟持して、収納室(8)内での半導体ウェハ(10)の遊動を阻止する。 （もっと読む）

【課題】識別表示のために非接触式データキャリアを付した電子部品の供給形態において、非接触式データキャリアの検査、発行、２次加工のための装置機構、特にピック＆プレイス部を簡単にする供給形態を提供する。
【解決手段】キャリアテープ２０の凹部２４に、１０ｍｍ×１０ｍｍの四角領域サイズ以下の小型の非接触式データキャリア３０を配設する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、微小サイズの電子部品の実装性を安定させることができるテーピング包装体を提供することを目的とするものである。
【解決手段】複数の貫通孔１３を有するキャリアテープ１１と、前記貫通孔１３を塞ぐように前記キャリアテープ１１の一方の面に設けられたボトムテープ１４と、前記貫通孔１３に嵌合するように前記キャリアテープ１１の他方の面に設けられたミドルテープ１６と、前記ミドルテープ１６を塞ぐように前記キャリアテープ１１の他方の面に設けられたトップテープ１７とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 エアバック内の圧力を広範囲にかつ微妙に高精度で比較的容易に調整することが可能となる圧力調整スイッチ機構、およびこの圧力調整スイッチ機構を用いた表示パネル輸送用の筐体装置であって、ガラス基板、液晶パネル等の表示パネルを破損等のトラブルを発生させることなく安全かつ確実に搬送させることができる表示パネル搬送用の筐体装置を提供する。
【解決手段】 本発明の表示パネル搬送用の筐体装置は、エアバックおよび圧力制御機構部を備え、エアバックは、緩衝部材と表示パネルとが実質的に交互に積層された積層体形成後の最上部に押圧用平板を介して配置され、積層体を押圧するように作用するとともに圧力制御機構部によってエアバックの内圧の制御が行われるように構成される。 （もっと読む）

【課題】シール性及び耐衝撃性を向上させ半導体ウエハＷ等を安全に枚葉収納して搬送する。
【解決手段】互いに着脱可能な複数枚の載置トレイ１６を積層し、各載置トレイ１６の間の隙間に半導体ウエハＷをそれぞれ挟持して収納するトレイ収納体１２と、このトレイ収納体１２を内部に収納する外部収納容器１３とからなる薄板収納容器１１である。各載置トレイ１６の対向する両側端に、外部機械装置の処理アームが嵌合して把持する一対の把持部２０を設けた。外部収納容器１３は、容器本体３１と、蓋体３２と、これら蓋体３２と容器本体３１との間に設けられて内部をシールするシール材３３と、上記トレイ収納体１２を支持する一対のトレイ収納体支持部３４と、上記容器本体３１内に収納された上記トレイ収納体１２を底面側と蓋体側とから挟持して支持するトレイ収納体押さえ３５を備えた。 （もっと読む）

【課題】 フォトマスクなどの被収納物の収納ケースの上蓋を開成した際に、ケース内部が負圧になって流れ込む外気流に起因して生じるパーティクルの汚染を防止する。
【解決手段】 下皿部１と該下皿部１に開閉自在に冠着する上蓋２とからなり、板状の被収納物３を該下皿部１に保持して収納する収納ケース１０において、該被収納物３の周縁部を囲むように、該下皿部１に植立した下障壁１１と該上蓋１１に垂下した上障壁２１とを有し、該上蓋２が閉成した際には、該上障壁２１が該下障壁１１の内側に位置し、該上障壁１１と該下障壁２１とが上下方向に重なっているように構成する。 （もっと読む）