【課題】本発明の課題は、装置の充分な信頼性を確保することができるアクチュエータ装置、このアクチュエータ装置を備えた液体吐出ヘッド及びこの液体吐出ヘッドを備えた画像形成装置を得ることを目的とする。
【解決手段】本発明に係るアクチュエータ基板（アクチュエータ装置）１０においては、疎水剤導入部５２は、開放孔５１からの疎水剤供給経路長が全ての静電型アクチュエータ７３の中で最長の位置にある静電型アクチュエータ７３と同一となる位置又はこの静電型アクチュエータ７３よりも長くなる位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性に優れたミラー装置を提供する。
【解決手段】ミラー基板に対して回動可能に支持されるミラーと、ミラー基板と対向する電極基板の上に形成された駆動電極と、ミラーをミラー基板に連結する弾性部材とを備え、ミラー基板は、第１の開口を有し、ミラーは、弾性部材により第１の開口内で回動可能に支持され、ミラーの質量をｍ、ミラー装置に加わる加速度をＧ、弾性部材のバネ定数をｋとするとき、ミラーと弾性部材との間隔ｄ１〜ｄ４は、ｄ＝ｍＧ／ｋの変位量ｄの値より大きくなるように設定する。これにより、ミラーアレイに加速度Ｇが加わった場合でも、ミラー基板２００の可動部材は、この可動部材と隣接する部材に接触しないので、破損するのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】小型の構成で大きな駆動力を発生させることが可能な技術を提供する。
【解決手段】固定部と、一端が固定部に固設され、且つ一方向に延設される板状の可動部と、を備えるアクチュエータとする。そして、該可動部が、一端が固定部に固設され且つ一方向に延設される板状のベース部と、該ベース部の一方主面上において該ベース部と一体的に形成され、且つ第１の光の照射に応じて上記一方向に伸び、第２の光の照射に応じて上記一方向に縮む光変位部と、を有するようにする。 （もっと読む）

【課題】本発明は光学反射素子の駆動精度を高めることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部１と、このミラー部１を介して対向するとともに、このミラー部１とそれぞれ第一の支持部２で連結された、対の第一の音叉形圧電振動子３と、これらの第一の音叉形圧電振動子３とそれぞれ第二の支持部５で連結された枠体６と、この枠体６とそれぞれ第三の支持部７で連結された対の第二の音叉形圧電振動子８と、これらの第二の音叉形圧電振動子８とそれぞれ第四の支持部１０で連結された支持体１１とを備え、第三の支持部７および第四の支持部１０はそれぞれミアンダ形状であり、これらの第三の支持部７または第四の支持部１０の少なくとも一方には、第一のモニター素子１７が設けられたものである。これにより本発明は、光学反射素子の駆動精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】デバイス本体の一表面側に設けられた外部接続用電極と気密封止される機能部とを電気的に接続でき、且つ、デバイス特性に悪影響を与える寄生容量を低減できる気密構造体デバイスを提供する。
【解決手段】第１のカバー基板２が、デバイス本体１の上記一表面側に設けられた複数の外部接続用電極１８が露出するようにデバイス本体１に接合され、デバイス本体１が、当該デバイス本体１の一部と各カバー基板２，３とで囲まれる空間に配置された機能部である固定電極２４と外部接続用電極１８とを電気的に接続する配線の少なくとも一部を構成する島部１７と、島部１７を全周に亘って囲む分離溝１１ｃに埋設された絶縁材料からなり上記空間を気密封止し且つ島部１７をデバイス本体１における分離溝１１ｃの外側の支持部１１と電気的に絶縁する絶縁分離部１９とを有する。 （もっと読む）

【課題】反射面の変形を低減するとともに、捩れ以外の振動を抑制することのできる光学デバイス、光スキャナ及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】板状の可動部２１１と、可動部２１１上に形成され、光を反射する反射膜２１１ａと、可動部２１１を支持部材に対してＸ軸周りに揺動可能に支持する軸部材２１１、２１３と、可動部２１１に配置されるリブ２１１ｄ、２１１ｅ、２１１ｆ、２１１ｇと、から成る振動系２１と、可動部２１１を支持部材２２に対して揺動運動させる駆動手段６と、を備え、リブ２１１ｄ、２１１ｅ、２１１ｆ、２１１ｇが、軸部材２１１、２１３に対し可動部２１１の一方の面の慣性モーメントと他方の面の慣性モーメントが等しくなるように、一方及び他方の面のそれぞれに配置されている。 （もっと読む）

【課題】 温度に影響されることなく、可動部の位置検出を行うことができ、しかも、小型化を図ることのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 デバイス基板２に設置された枠状の固定部３と、固定部３の内側にトーションバー５を介して回動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部４とを備え、可動部４のトーションバー５と連結していない一辺にゲート電極８を配置するとともに、ソース電極９およびドレイン電極１０をゲート電極８に対向するように配置した。 （もっと読む）

ＭＥＭＳセンサは、基板と、基板に連結されたＭＥＭＳ構造とを含む。ＭＥＭＳ構造は、基板に対して可動な質量を有する。また、ＭＥＭＳセンサは、ＭＥＭＳ構造から半径方向外側に位置付けられる基準構造を含む。基準構造は、その測定の正確性を向上させるために、ＭＥＭＳセンサに影響を及ぼし得る任意の環境変化を補償するための基準を提供するために使用される。一実施形態において、前基準構造は、前ＭＥＭＳ構造を実質的に包囲する。
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【課題】加工が容易で、かつ、消費電力を低減でき、従来に比べその共振周波数を容易に調整可能なＭＥＭＳ振動子を提供する。
【解決手段】基板１１１上に１或いは複数の点で固定され、表面に１或いは複数の櫛歯状の突起群が形成された振動体７２１と、振動体７２１の櫛歯状の突起群との間で櫛歯型キャパシタを構成する、表面に櫛歯状の突起群が形成された１或いは複数の静電電極１６１，１６２，１６３，１６４と、駆動電極１４１と、検出電極１５１と、を備え、振動体７２１が、駆動電極１４１からの駆動電圧によって振動する振動部７２２と、振動部７２２に結合する１或いは複数の振動制限部７２３と、により構成され、櫛歯型キャパシタに直流電圧を印加することで振動部７２２の振動の周波数が変化する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ素子特性変動を抑制する半導体装置の構造及び製造方法を提供する。
【解決手段】
表面に、スイッチ素子構造体１０ａ及びスイッチ素子構造体１０ａを取り囲む段差部３０ｂが形成された半導体チップ２０ｂと、段差部３０ｂに接着剤７０ａによって接合され、かつスイッチ素子構造体１０ａを覆って形成された封止キャップ６０ｂと、を有する半導体装置９０であって、段差部３０ｂは底面及び側面を有し、段差部３０ｂと封止キャップ６０ｂとは、段差部３０ｂの底面及び側面と封止キャップ６０ｂとで接合されており、接着剤７０ａは、シリコーン系の樹脂であることを特徴とする半導体装置。 （もっと読む）