アクチュエータ、および撮像装置
【課題】小型の構成で大きな駆動力を発生させることが可能な技術を提供する。
【解決手段】固定部と、一端が固定部に固設され、且つ一方向に延設される板状の可動部と、を備えるアクチュエータとする。そして、該可動部が、一端が固定部に固設され且つ一方向に延設される板状のベース部と、該ベース部の一方主面上において該ベース部と一体的に形成され、且つ第１の光の照射に応じて上記一方向に伸び、第２の光の照射に応じて上記一方向に縮む光変位部と、を有するようにする。
【解決手段】固定部と、一端が固定部に固設され、且つ一方向に延設される板状の可動部と、を備えるアクチュエータとする。そして、該可動部が、一端が固定部に固設され且つ一方向に延設される板状のベース部と、該ベース部の一方主面上において該ベース部と一体的に形成され、且つ第１の光の照射に応じて上記一方向に伸び、第２の光の照射に応じて上記一方向に縮む光変位部と、を有するようにする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小型のアクチュエータおよび該アクチュエータを備えた撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ズーム機能やオートフォーカス（ＡＦ）機能を有するカメラモジュールが搭載された携帯電話機が市販されている。このカメラモジュールでは、光学レンズを移動させるための小型のアクチュエータが必要とされている。そして、カメラモジュールの更なる小型化が指向される中、アクチュエータについても更なる小型化が要求されている。
【０００３】
まず、カメラモジュールについては、従来、レンズを支持するレンズバレルとレンズホルダ、赤外線(ＩＲ)カットフィルタを支持するホルダ、基板、撮像素子、および光学素子からなる積層体を保持する筐体、該積層体を封止する樹脂などが必要とされている。よって、上記多数の部品の小型化を図ると、多数の部品を精度良く組み合わせてカメラモジュールを作製することは容易でなかった。そこで、基板と、多数の撮像素子が形成された半導体シートと、多数の撮像レンズが形成されたレンズアレイシートとを樹脂層を介して貼り付けて積層部材を形成し、該積層部材をダイシングして、個々のカメラモジュールを完成させる技術が提案されている（例えば、特許文献１など）。
【０００４】
そして、小型のアクチュエータについては、応答性に優れ、比較的大きな変位の実現が可能なものとして、光の刺激により構造変化を引き起こすアゾベンゼン化合物を用いたものが提案されている（例えば、特許文献２，３など）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１２９９５号公報
【特許文献２】特開２００７−１０６９４５号公報
【特許文献３】特開２００５−２９１０２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献２，３で提案されたアクチュエータは、アゾベンゼン化合物からなる光屈曲膜自身が光の照射に応じて屈曲するものであり、小型の構成で大きな力を生むことができない。
【０００７】
これに対して、例えば、現在市販されている小型の撮像レンズユニットを移動させるタイプのＡＦ機構については、移動対象物である撮像レンズユニットは軽いものでも０．２ｇ程度の重量を有する。それに加えて、部品間に生じる摩擦やバネによる負荷、更には、絞り機構からの電気信号を外部に伝達するためのフレキシブル基板の負荷なども考慮すると、アクチュエータに対して合計で１ｇｆ程度の負荷が生じるのが一般的である。
【０００８】
したがって、上記特許文献２，３で提案されたアクチュエータを利用して撮像レンズユニットを移動させるためには、アクチュエータの大型化、ひいてはカメラモジュールの大型化を招いてしまう。そして、このような問題は、撮像レンズユニットを移動させるアクチュエータに限られず、種々の移動対象物を移動させるアクチュエータ一般に共通する。
【０００９】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、小型の構成で大きな駆動力を発生させることが可能な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するために、請求項１の発明は、固定部と、一端が前記固定部に固設され、且つ一方向に延設される板状の可動部と、を備え、前記可動部が、一端が前記固定部に固設され、且つ前記一方向に延設される板状のベース部と、前記ベース部の一方主面上において該ベース部と一体的に形成され、且つ第１の光の照射に応じて前記一方向に伸び、第２の光の照射に応じて前記一方向に縮む光変位部と、を有することを特徴とするアクチュエータである。
【００１１】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載のアクチュエータであって、前記ベース部が、前記第１および第２の光をそれぞれ発する発光部を含むことを特徴とする。
【００１２】
また、請求項３の発明は、請求項２に記載のアクチュエータであって、前記発光部が、前記第１の光を発する第１の有機ＥＬ素子と、前記第２の光を発する第２の有機ＥＬ素子とを含むことを特徴とする。
【００１３】
また、請求項４の発明は、請求項１から請求項３の何れかに記載のアクチュエータであって、前記光変位部が、ジアリールエテンを用いて構成されることを特徴とする。
【００１４】
また、請求項５の発明は、請求項１から請求項４の何れかに記載のアクチュエータと、前記アクチュエータによって移動される光学レンズと、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１から請求項５の何れに記載の発明によっても、光の照射による光変位部の伸縮に応じて可動部が曲がるため、小型の構成で大きな駆動力を発生させることができる。
【００１６】
請求項２に記載の発明によれば、アクチュエータの外部に発光部を設ける必要性がなくなるため、アクチュエータの配置の自由度が高まる。
【００１７】
請求項３に記載の発明によれば、可動部の曲げに対する抵抗が抑制されるため、駆動力の低下を招かない。
【００１８】
請求項４に記載の発明によれば、光の照射に対する伸縮の応答性が高まるため、所望のタイミングで駆動力を発生させることができる。
【００１９】
請求項５に記載の発明によれば、小型の構成で光学レンズを移動させることが可能な撮像装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２１】
＜１．携帯電話機の概略構成＞
図１は、本発明の実施形態に係るカメラモジュール４００を搭載した携帯電話機１００の概略構成を例示する模式図である。なお、図１および図１以降の図では方位関係を明確化するために、ＸＹＺの相互に直交する３軸が適宜付されている。
【００２２】
図１(ａ)で示すように、携帯電話機１００は、画像取得再生部２００と本体部３００とを備える。画像取得再生部２００は、カメラモジュール４００や表示ディスプレイ（不図示）を有し、本体部３００は、携帯電話機１００の全体を制御する制御部とテンキーなどの各種ボタン（不図示）とを有する。なお、画像取得再生部２００と本体部３００とが、回動可能なヒンジ部によって連結され、携帯電話機１００が折り畳み可能となっている。
【００２３】
図１(ｂ)は、携帯電話機１００のうちの画像取得再生部２００に着目した断面模式図である。図１(ａ)，(ｂ)で示すように、カメラモジュール４００は、ＸＹ断面のサイズが約５ｍｍ四方であり、厚さ（Ｚ方向の奥行き）が約３ｍｍ程度である小型の撮像装置、すなわち所謂マイクロカメラユニット(ＭＣＵ)となっている。
【００２４】
＜２．カメラモジュールの構成＞
図２は、カメラモジュール４００の構成例を模式的に示す分解斜視図である。図２で示すように、カメラモジュール４００は、撮像素子層１０、撮像センサホルダ層２０、赤外カットフィルタ層３０、第１レンズ層４０、第２レンズ層５０、アクチュエータ層６０、平行バネ下層７０、第３レンズ層８０、平行バネ上層９０、および保護層ＣＢの１０層がこの順番で積層されて形成されている。そして、１０層に含まれる相互に隣接する各２層の間が、エポキシ樹脂などの樹脂によって接合されており、各層間に樹脂が介在している。また、各層１０〜９０，ＣＢは、±Ｚ方向の面において略同一の矩形状（ここでは、一辺が約５ｍｍの正方形）の外形を有する。なお、後述するが、第３レンズ層８０については、カメラモジュール４００の製造途中で、連結部が図中の太破線で描かれた部分８４ａ，８４ｂで切断され、枠部Ｆ８とレンズ部８１とが分離された状態となる（図４(ｂ)参照）。
【００２５】
＜２−１．各層の構成＞
図３および図４は、撮像素子層１０、撮像センサホルダ層２０、赤外カットフィルタ層３０、第１レンズ層４０、第２レンズ層５０、アクチュエータ層６０、平行バネ下層７０、第３レンズ層８０、平行バネ上層９０、および保護層ＣＢの構成例をそれぞれ示す平面図である。
【００２６】
○撮像素子層１０：
図３(ａ)で示すように、撮像素子層１０は、例えば、ＣＯＭＳセンサまたはＣＣＤセンサなどで形成される撮像素子部１１、その周辺回路、および撮像素子部１１を囲む外周部Ｆ１を備えるチップである。なお、ここでは図示を省略しているが、撮像素子層１０の裏面（−Ｚ側の面）には、撮像素子部１１に対する信号の付与、および撮像素子部１１からの信号の読み出しを行うための配線を接続するための各種端子が設けられる。更に、撮像素子部１１の＋Ｚ側の面は、被写体からの光を受光する面（撮像面）として機能し、外周部Ｆ１が、撮像素子層１０の＋Ｚ側に隣接する撮像センサホルダ層２０に対して接合される。
【００２７】
○撮像センサホルダ層２０：
図３(ｂ)で示すように、撮像センサホルダ層２０は、例えば、樹脂などの素材によって形成され、接合によって取り付けられる撮像素子層１０を保持するチップである。具体的には、撮像センサホルダ層２０の略中央には、断面が略正方形の開口２１がＺ方向に沿って設けられ、該開口２１の断面は＋Ｚ側に行くに従って小さくなる。なお、図３(ｂ)の破線で描かれた四角形は、−Ｚ側の面における開口２１の外縁を示す。更に、撮像センサホルダ層２０の外周部の−Ｚ側の面が隣接する撮像素子層１０と接合され、該外周部の＋Ｚ側の面が隣接する赤外カットフィルタ層３０と接合される。
【００２８】
○赤外カットフィルタ層３０：
図３(ｃ)で示すように、赤外カットフィルタ層３０は、透明基板上に屈折率の異なる透明薄膜が多層化されて構成された赤外線をカットするフィルタのチップである。具体的には、赤外カットフィルタ層３０は、例えば、ガラスまたは透明樹脂で構成される基板の上面に屈折率の異なる多数の透明薄膜をスパッタリングなどで形成したもので、薄膜の厚みおよび屈折率の組合せにより、透過する光の波長帯が制御される。例えば、赤外カットフィルタ層３０としては、６００ｎｍ以上の波長帯の光を遮断するものが好ましい。更に、赤外カットフィルタ層３０の外周部の−Ｚ側の面が隣接する撮像センサホルダ層２０と接合され、該外周部の＋Ｚ側の面が隣接する第１レンズ層４０と接合される。
【００２９】
○第１レンズ層４０：
図３(ｄ)で示すように、第１レンズ層４０は、正のレンズパワーを有する光学レンズからなるレンズ部４１と、該レンズ部４１を囲み且つ該第１レンズ層４０の外周部を構成する枠部Ｆ４とが同一の素材で一体成型されて形成されたチップである。そして、第１レンズ層４０を構成する素材としては、フェノール系の樹脂やアクリル系の樹脂、あるいはガラスなどが挙げられる。なお、レンズ部４１は、第１〜３レンズ層４０，５０，８０による焦点が撮像素子部１１に対応したものとなるように光を屈折させる光学レンズとなっている。更に、枠部Ｆ４の−Ｚ側の面が隣接する赤外カットフィルタ層３０と接合され、該枠部Ｆ４の＋Ｚ側の面が隣接する第２レンズ層５０と接合される。
【００３０】
○第２レンズ層５０：
図３(ｅ)で示すように、第２レンズ層５０は、負のレンズパワーを有する光学レンズからなるレンズ部５１と、該レンズ部５１を囲み且つ該第２レンズ層５０の外周部を構成する枠部Ｆ５とが同一の素材で一体成型されて形成されたチップである。そして、第２レンズ層５０を構成する素材としては、第１レンズ層４０と同様に、フェノール系の樹脂やアクリル系の樹脂、あるいはガラスなどが挙げられる。なお、レンズ部５１は、レンズ部４１と同様に、第１〜３レンズ層４０，５０，８０による焦点が撮像素子部１１に対応したものとなるように光を屈折させる光学レンズとなっている。更に、枠部Ｆ５の−Ｚ側の面が隣接する第１レンズ層４０（具体的には、枠部Ｆ４）と接合され、該枠部Ｆ５の＋Ｚ側の面が隣接するアクチュエータ層６０と接合される。
【００３１】
○アクチュエータ層６０：
図３(ｆ)で示すように、アクチュエータ層６０は、撮像素子層１０の撮像面側に配置されるとともに、第３レンズ層８０のレンズ部８１を移動させる薄板状の第１および第２可動部６１，６２を備えるチップである。また、アクチュエータ層６０は、外周部を構成する枠部Ｆ６と、該枠部Ｆ６の内側の中空部分に対して該枠部Ｆ６から突設される２枚の板状の第１および第２可動部６１，６２とを備える。ここでは、２枚の第１および第２可動部６１，６２は、一端がそれぞれ枠部Ｆ６に固設され、且つＹ軸に沿って延設されており、枠部Ｆ６が２枚の第１および第２可動部６１，６２を囲むように形成されている。そして、枠部Ｆ６は、カメラモジュール４００が携帯電話機１００における画像取得再生部２００の筐体に対して固定されている部分（本発明の「固定部」に相当する）を構成する。
【００３２】
より具体的には、枠部Ｆ６は、Ｘ軸に対して平行に延設され且つ相互に対向する２辺を成す２枚の板状部材と、Ｙ軸に対して平行に延設され且つ相互に対向する２辺を成す２枚の板状部材とからなる４枚の板状部材がロの字型に配置されて形成される。また、該４枚の板状部材のうちの１枚の板状部材（ここでは、−Ｙ側の板状部材）が形成する枠部Ｆ６の内縁のうち、−Ｘ側の端部（一端）近傍の所定部（一方所定部）に第１可動部６１の一端が固設され、＋Ｘ側の端部（他端）近傍の所定部（他方所定部）に第２可動部６２の一端が固設される。つまり、２枚の第１および第２可動部６１，６２の各一端が枠部Ｆ６に対して固定された端部（固定端）となり、２枚の第１および第２可動部６１，６２の各他端が枠部Ｆ６に対する相対的な位置が自由に変更される端部（自由端）となっている。更に、枠部Ｆ６の−Ｚ側の面が隣接する第２レンズ層５０（具体的には、枠部Ｆ５）と接合され、該枠部Ｆ６の＋Ｚ側の面が隣接する平行バネ下層７０と接合される。
【００３３】
また、第１および第２可動部６１，６２は、それぞれアクチュエータ素子として、照射される光の種類に応じて伸縮する素子（光変位素子）が用いられて構成されている。第１および第２可動部６１，６２の詳細な構成ならびに動作については後述する。
【００３４】
○平行バネ下層７０：
図４(ａ)で示すように、平行バネ下層７０は、りん青銅などの金属材料で構成され、枠部Ｆ７と、弾性部７１とを有するチップであり、バネ機構を形成する層（弾性層）となっている。枠部Ｆ７は、平行バネ下層７０の外周部を構成する。そして、枠部Ｆ７の−Ｚ側の面が隣接するアクチュエータ層６０（具体的には、枠部Ｆ６）と接合され、該枠部Ｆ７の＋Ｚ側の面が隣接する第３レンズ層８０と接合される。弾性部７１は、３つの略直線状に伸びる板状部材７１ａ，７１ｂ，７１ｃがコの字型に連結されて形成され、３つの板状部材７１ａ，７１ｂ，７１ｃのうちの両側の２本の板状部材７１ａ，７１ｃの各一端、すなわち弾性部７１の両端が、枠部Ｆ７の２箇所に固設される。ここでは、弾性部７１は、枠部Ｆ７の内側の中空部分に配置されるため、枠部Ｆ７が、弾性部７１を囲むように形成される。
【００３５】
より具体的には、枠部Ｆ７は、枠部Ｆ６と同様に、Ｘ軸に対して平行に延設され且つ相互に対向する２辺を成す２枚の板状部材と、Ｙ軸に対して平行に延設され且つ相互に対向する２辺を成す２枚の板状部材とからなる４枚の板状部材がロの字型に配置されて形成される。また、該４枚の板状部材のうちの１枚の板状部材（ここでは、−Ｙ側の板状部材）が形成する枠部Ｆ７の内縁のうち、−Ｘ側の端部（一端）近傍の所定部（一方所定部）に弾性部７１の一端（具体的には、板状部材７１ａの一端）が固設され、＋Ｘ側の端部（他端）近傍の所定部（他方所定部）に弾性部７１の他端（具体的には、板状部材７１ｃの一端）が固設される。
【００３６】
また、弾性部７１を構成する３つの板状部材７１ａ，７１ｂ，７１ｃのうち、両側の２つの板状部材７１ａ，７１ｃの下面（−Ｚ側の面）が、第１および第２可動部６１，６２の上面（＋Ｚ側の面）に当接する。
【００３７】
○第３レンズ層８０：
図４(ｂ)で示すように、第３レンズ層８０は、枠部Ｆ８と、レンズ部８１と、レンズ保持部８３とを有するチップである。この第３レンズ層８０を構成する素材としては、第１および第２レンズ層４０，５０と同様に、フェノール系の樹脂やアクリル系の樹脂、あるいはガラスなどが挙げられる。
【００３８】
枠部Ｆ８は、第３レンズ層８０の外周部を構成する。具体的には、枠部Ｆ８は、Ｘ軸に対して平行に延設され且つ相互に対向する２辺を成す２枚の板状部材と、Ｙ軸に対して平行に延設され且つ相互に対向する２辺を成す２枚の板状部材とからなる４枚の板状部材がロの字型に配置されて形成される。そして、枠部Ｆ８の内側に形成される中空部分に、レンズ部８１およびレンズ保持部８３が配置され、レンズ部８１およびレンズ保持部８３が枠部Ｆ８に囲まれた状態となっている。また、枠部Ｆ８の−Ｚ側の面が隣接する平行バネ下層７０（具体的には、枠部Ｆ７）と接合され、該枠部Ｆ８の＋Ｚ側の面が隣接する平行バネ上層９０と接合される。
【００３９】
レンズ部８１は、撮像素子部１１からの距離が変更可能な光学レンズであり、ここでは、正のレンズパワーを有する。レンズ保持部８３は、レンズ部８１を保持し、平行バネ下層７０の弾性部７１と、後述する平行バネ上層９０の弾性部９１とによって挟持される。具体的には、例えば、レンズ保持部８３は、レンズ部８１と一体的に成型され、レンズ保持部８３の＋Ｙ側の端部のうち、−Ｚ側の面に弾性部７１が接合され、＋Ｚ側の面に弾性部９１が接合される。
【００４０】
なお、第３レンズ層８０については、カメラモジュール４００の製造途中で、図４(ｂ)で示すように、連結部が図中の太破線で描かれた部分８４ａ，８４ｂで切断されて、枠部Ｆ８と、レンズ部８１およびレンズ保持部８３とが分離された状態となり、第３レンズ層８０が形成される。
【００４１】
○平行バネ上層９０：
図４(ｃ)で示すように、平行バネ上層９０は、平行バネ下層７０と同様な構成を有し、りん青銅などの金属材料で構成され、枠部Ｆ９と、弾性部９１とを有するチップであり、バネ機構を形成する層（弾性層）となっている。枠部Ｆ９は、平行バネ上層９０の外周部を構成する。そして、枠部Ｆ９の−Ｚ側の面が隣接する第３レンズ層８０（具体的には、枠部Ｆ８）と接合され、該枠部Ｆ９の＋Ｚ側の面が隣接する保護層ＣＢと接合される。弾性部９１は、弾性部７１と同様に、３つの略直線状に伸びる板状部材９１ａ，９１ｂ，９１ｃがコの字型に連結されて形成され、３つの板状部材９１ａ，９１ｂ，９１ｃのうちの両側の２本の板状部材９１ａ，９１ｃの各一端、すなわち弾性部９１の両端が、枠部Ｆ９の２箇所に固設される。ここでは、弾性部９１は、枠部Ｆ９の内側の中空部分に配置されるため、枠部Ｆ９が、弾性部９１を囲むように形成されている。枠部Ｆ９のより具体的な構成については、上述した枠部Ｆ７と同様となるため、ここでは、説明を省略する。
【００４２】
なお、弾性部９１を構成する３つの板状部材９１ａ，９１ｂ，９１ｃのうち、中央の１つの板状部材９１ｂの下面（−Ｚ側の面）が、レンズ保持部８３に接合されることで、レンズ保持部８３が、弾性部７１と弾性部９１とによって挟持される。
【００４３】
○保護層ＣＢ：
図４(ｄ)で示すように、保護層ＣＢは、盤面が略正方形の板状の透明部材であり、例えば、樹脂やガラスなどによって構成される。そして、保護層ＣＢの外周部の−Ｚ側の面が隣接する平行バネ上層９０（具体的には、枠部Ｆ９）と接合される。保護層ＣＢの外周部は、例えば、外周に沿って凸形状を持つ構造にして、凸形状の上端面で接合するようにしても良い。
【００４４】
＜２−２．アクチュエータ層の詳細な構成＞
図５および図６は、アクチュエータ層６０の詳細な構成を説明するための図である。図５および図６では、各層１０〜９０，ＣＢを＋Ｚ方向から見た平面図を示した図３および図４とは異なり、アクチュエータ層６０を構成する各部を−Ｚ方向から見た平面図が示されている。
【００４５】
アクチュエータ層６０は、図５(ａ)で示す固定枠層６０１に対して、図５(ｂ)で示す発光層６０２、図６(ａ)で示す光拡散層６０３、および図６(ｂ)で示す光変位素子層６０４がこの順番で積層されて構成される。
【００４６】
固定枠層６０１は、例えば、適度な剛性を有する素材（例えば、シリコンやプラスチックスなど）で構成され、枠部Ｆ６１を備える。この枠部Ｆ６１は、Ｘ軸に対して平行に延設され且つ相互に対向する２辺を成す２枚の板状部材と、Ｙ軸に対して平行に延設され且つ相互に対向する２辺を成す２枚の板状部材とからなる４枚の板状部材がロの字型に配置されて形成される。そして、枠部Ｆ６１は、第２レンズ層５０および平行バネ下層７０に対して接合されて固定される部分である。
【００４７】
発光層６０２は、第１および第２板状部材６２１，６２２、および配線部６２１ａ，６２１ｂ，６２２ａ，６２２ｂ，６２３ａ，６２３ｂを備えて構成される。
【００４８】
第１および第２板状部材６２１，６２２は、Ｙ軸に略平行な一方向に延設される板状の部分である。そして、枠部Ｆ６１を構成する４枚の板状部材のうちの１枚の板状部材（ここでは、−Ｙ側の板状部材）が形成する枠部Ｆ６１の内縁のうち、−Ｘ側の端部（一端）近傍の所定部（一方所定部）に第１板状部材６２１の一端が固設され、＋Ｘ側の端部（他端）近傍の所定部（他方所定部）に第２板状部材６２２の一端が固設される。つまり、第１および第２板状部材６２１，６２２の各一端が枠部Ｆ６１に対して固定された端部（固定端）となり、第１および第２板状部材６２１，６２２の各他端が枠部Ｆ６１に対する相対的な位置が自由に変更される端部（自由端）となっている。
【００４９】
第１および第２板状部材６２１，６２２は、同様な構成を有し、該第１および第２板状部材６２１，６２２では、それぞれ−Ｚ方向から見て、第１波長の光（第１波長光）を発する第１発光部６１Ｕと、第２波長の光（第２波長光）を発する第２発光部６１Ｖとが市松模様を形成するように配列されている。第１および第２発光部６１Ｕ，６１Ｖは、有機ＥＬ（Organic Electro-Luminescence）素子などの発光素子によって構成され、第１および第２板状部材６２１，６２２は、複数の第１および第２発光部６１Ｕ，６１Ｖがそれぞれ柔軟性を有するシート上に形成されて構成される。例えば、柔軟性を有する樹脂材料のシート上に有機ＥＬ素子が形成されるような態様が考えられる。
【００５０】
また、光変位素子層６０４を構成する素材の特性に応じて、有機ＥＬ素子を構成する材料を適宜設定することで、第１および第２波長が設定される。ここでは、例えば、第１波長が、紫外光の波長範囲に含まれる３５０ｎｍ付近に設定され、第２波長が、可視光線の波長範囲に含まれる５４０ｎｍ付近に設定される。
【００５１】
配線部６２１ａは、第１板状部材６２１に対して電気的に接続され、第１板状部材６２１内に配設される配線を介して各第１発光部６１Ｕに対して電気的に接続される。配線部６２１ｂは、第１板状部材６２１に対して電気的に接続され、第１板状部材６２１内に配設される配線を介して各第２発光部６１Ｖに対して電気的に接続される。配線部６２２ａは、第２板状部材６２２に対して電気的に接続され、第２板状部材６２２内に配設される配線を介して各第１発光部６１Ｕに対して電気的に接続される。配線部６２２ｂは、第２板状部材６２２に対して電気的に接続され、第２板状部材６２２内に配設される配線を介して各第２発光部６１Ｖに対して電気的に接続される。
【００５２】
また、配線部６２３ａは、第１板状部材６２１内に配設される第１発光部６１Ｕに対して電気的に接続される配線と、第２板状部材６２２内に配設される第１発光部６１Ｕに対して電気的に接続される配線とを電気的に接続する。配線部６２３ｂは、第１板状部材６２１内に配設される第２発光部６１Ｖに対して電気的に接続される配線と、第２板状部材６２２内に配設される第２発光部６１Ｖに対して電気的に接続される配線とを電気的に接続する。そして、配線部６２１ａ，６２１ｂ，６２２ａ，６２２ｂに対して、適宜電圧が印加されることで、第１および第２発光部６１Ｕ，６１Ｖが発光する。
【００５３】
光拡散層６０３は、樹脂材料によって構成される第１および第２光拡散部６３１，６３２を備える。第１光拡散部６３１は、第１板状部材６２１の−Ｚ側の面のうちの−Ｙ側の端部近傍を除く略全面を覆うように形成された膜状の部分となっており、第２光拡散部６３２は、第２板状部材６２２の−Ｚ側の面のうちの−Ｙ側の端部近傍を除く略全面を覆うように形成された膜状の部分となっている。この第１および第２光拡散部６３１，６３２は、例えば、樹脂材料の内部に空房、もしくは添加物を内包しており、第１および第２発光部６１Ｕ，６１Ｖから射出される第１および第２波長光を、空房もしくは添加物によって屈折あるいは反射させることで拡散させる。ここで、第１および第２光拡散部６３１，６３２に添加物が内包される場合には、該添加物が基材である樹脂とは異なった屈折率を持つようにすれば良い。なお、第１および第２光拡散部６３１，６３２は、樹脂材料の表面が荒らされて磨りガラス状に仕上げられることで形成されて、第１および第２波長光を拡散するようにしても良い。
【００５４】
光変位素子層６０４は、第１および第２光変位素子部６４１，６４２を備える。第１光変位素子部６４１は、第１光拡散部６３１の−Ｚ側の略全面を覆うように形成された膜状の部分となっており、第２光変位素子部６４２は、第２光拡散部６３２の−Ｚ側の略全面を覆うように形成された膜状の部分となっている。つまり、第１光変位素子部６４１が、第１板状部材６２１上に第１光拡散部６３１が形成されて構成される板状部材の一方主面上において該板状部材と一体的に形成され、第２光変位素子部６４２が、第２板状部材６２２上に第２光拡散部６３２が形成されて構成される板状部材の一方主面上において該板状部材と一体的に形成されている。
【００５５】
そして、第１および第２光変位素子部６４１，６４２は、光を吸収することで伸縮する材料（例えば、フォトクロミック材料）によってそれぞれ構成される。具体的には、第１および第２光変位素子部６４１，６４２は、第１発光部６１Ｕから射出される第１波長光の照射に応じて延設方向（Ｙ軸に沿った方向、すなわちＹ軸方向）に伸び、第２発光部６１Ｖから射出される第２波長光の照射に応じて延設方向（Ｙ軸方向）に縮む。ここでは、フォトクロミック材料として、ジアリールエテンが採用される。
【００５６】
なお、フォトクロミック材料は、結晶の異方性によって伸縮する方向が決まる。このため、本実施形態では、第１および第２光変位素子部６４１，６４２の延設方向（Ｙ軸方向）に該第１および第２光変位素子部６４１，６４２が伸縮するように、フォトクロミック材料の結晶方位が制御されている。
【００５７】
ここで、第１板状部材６２１上に第１光拡散部６３１が形成されて構成される部分は、第１可動部６１のベース部材（第１ベース部材）６１Ｂ（図７）としての役割を有し、第２板状部材６２２上に第２光拡散部６３２が形成されて構成される部分は、第２可動部６２のベース部材（第２ベース部材）６２Ｂ（図７）としての役割を有する。そして、これらの各ベース部材６１Ｂ，６２Ｂは、柔軟性を有しながらも比較的高い弾性率を有し、延設方向（Ｙ軸方向）には基本的に伸縮しないように構成される。これに対して、第１および第２光変位素子部６４１，６４２は、第１および第２波長光の照射に応じて伸縮する。このため、第１および第２ベース部材６１Ｂ，６２Ｂと第１および第２光変位素子部６４１，６４２との伸縮量の差によって、第１および第２可動部６１，６２が曲がることで、第１および第２可動部６１，６２の各自由端がＺ軸に沿った方向（Ｚ軸方向）に変位する。但し、仮に、各ベース部材６１Ｂ，６２Ｂの弾性率が低ければ、第１および第２光変位素子部６４１，６４２の伸縮に同調して、各ベース部材６１Ｂ，６２Ｂも伸縮するため、第１および第２可動部６１，６２が曲がらず、第１および第２可動部６１，６２の各自由端がＺ軸方向に変位しない。
【００５８】
＜２−３．アクチュエータ層の動作＞
図７は、アクチュエータ層６０に電圧を印加するための電気回路を例示する図である。図７で示すように、配線部６２１ａには配線Ｃ１ａが電気的に接続され、配線部６２１ｂには配線Ｃ１ｂが電気的に接続され、該配線Ｃ１ａ，Ｃ１ｂはそれぞれ配線Ｃ３を介して電源Ｐｓの負極に対して電気的に接続される。そして、配線Ｃ４の一端が電源Ｐｓの正極に対して電気的に接続され、該配線Ｃ４の他端がスイッチＳｗの第１端子Ｔａに対して電気的に接続される。また、配線Ｃ２ａの一端が配線部６２２ａに対して電気的に接続され、該配線Ｃ２ａの他端がスイッチＳｗの第２端子Ｔｂに対して電気的に接続される。また、配線Ｃ２ｂの一端が配線部６２２ｂに対して電気的に接続され、該配線Ｃ２ｂの他端がスイッチＳｗの第３端子Ｔｃに対して電気的に接続される。したがって、スイッチＳｗの第１端子Ｔａと第２端子Ｔｂとが電気的に接続される場合には、各第１発光部６１Ｕに対して電圧が印加され、該各第１発光部６１Ｕが第１波長光を射出する。一方、スイッチＳｗの第１端子Ｔａと第３端子Ｔｃとが電気的に接続される場合には、各第２発光部６１Ｖに対して電圧が印加され、該各第２発光部６１Ｖが第２波長光を射出する。
【００５９】
ここで、第１および第２可動部６１，６２の動作について説明する。図８および図９は、第１および第２可動部６１，６２の動作を説明するための図である。図８は、図３(ｆ)と同様に、アクチュエータ層６０の構成を示す平面図であり、図９(ａ)，(ｂ)は、可動部６２に着目して、図８の切断面線IX−IXから見た断面模式図である。
【００６０】
図９(ａ)では、第１および第２可動部６１，６２が変形していない状態（初期状態）が示されている。初期状態では、第１および第２光変位素子部６４１，６４２に対して第１波長光が照射されておらず、固定枠層６０１の第１および第２板状部材６２１，６２２と第１および第２光拡散部６３１，６３２によって構成される各ベース部材６１Ｂ，６２Ｂの弾性力によって第１および第２光変位素子部６４１，６４２が平坦な状態とされ、第１および第２可動部６１，６２がほぼ平坦な形状を呈する。
【００６１】
図９(ａ)で示した初期状態から、スイッチＳｗの第１端子Ｔａと第２端子Ｔｂとが電気的に接続されると、各第１発光部６１Ｕから第１波長光（ここでは、紫外光）が射出される。このとき、該第１波長光は、第１および第２光拡散部６３１，６３２で拡散されて、第１および第２光変位素子部６４１，６４２に対してそれぞれ略均一に照射される。そして、第１および第２光変位素子部６４１，６４２が延設方向（Ｙ方向）にそれぞれ伸びる。ここでは、第１および第２ベース部材６１Ｂ，６２Ｂが、伸縮し難い弾性力の高い材料で構成されているため、第１および第２光変位素子部６４１，６４２の延設距離と、第１および第２ベース部材６１Ｂ，６２Ｂの延設距離との差が大きくなる。その結果、図９(ｂ)で示すように、枠部Ｆ６に対する第１および第２可動部６１，６２の自由端の相対的な位置が、上方（＋Ｚ方向）にシフトするように、第１および第２可動部６１，６２が変形する。
【００６２】
なお、ここで、第１端子Ｔａが第２および第３端子Ｔｂ，Ｔｃの何れとも電気的に接続されていないＯＦＦ状態にスイッチＳｗが設定されると、第１発光部６１Ｕからの第１波長光の射出が停止される。このとき、特定波長の光、もしくは熱エネルギーなどの影響を受けない限り、第１および第２光変位素子部６４１，６４２の延設距離、ひいては第１および第２可動部６１，６２が変形が保持される。
【００６３】
続いて、スイッチＳｗの第１端子Ｔａと第３端子Ｔｃとが電気的に接続されると、各第２発光部６１Ｖから第２波長光（ここでは、可視光線）が射出される。このとき、該第２波長光は、第１および第２光拡散部６３１，６３２で拡散されて、第１および第２光変位素子部６４１，６４２に対してそれぞれ略均一に照射される。そして、第１および第２光変位素子部６４１，６４２が延設方向（Ｙ方向）にそれぞれ縮み、第１および第２光変位素子部６４１，６４２の延設距離が、図９(ａ)で示した初期状態に戻る。このとき、第１および第２光変位素子部６４１，６４２の延設距離と、第１および第２ベース部材６１Ｂ，６２Ｂの延設距離との差が縮まる。その結果、第１および第２可動部６１，６２が変形していない図９(ａ)で示した初期状態に戻る。
【００６４】
このような第１および第２可動部６１，６２の自由端が、第１波長光の照射に応じて変位することと、第２波長光の照射に応じて初期状態へ戻ることとが、適宜繰り返されることで、アクチュエータ層６０が、レンズ部８１をＺ軸方向に移動させるアクチュエータとして機能する。
【００６５】
＜２−４．カメラモジュールの完成型の構造＞
図１０および図１１は、カメラモジュール４００の構造を例示する図である。具体的には、図１０は、カメラモジュール４００を保護層ＣＢ側（上方）から見た平面図であり、図１１は、図１０の切断面線XI−XIから見た断面模式図である。なお、図１０および図１１では、アクチュエータ層６０の配線部６２１ａ，６２１ｂ，６２２ａ，６２２ｂに対して外部から電気的に接続される配線Ｃ１ａ，Ｃ１ｂ，Ｃ２ａ，Ｃ２ｂ，Ｃ３，Ｃ４、スイッチＳｗ、および電源Ｐｓについては図示が省略されている。
【００６６】
図１１で示すように、撮像素子層１０、撮像センサホルダ層２０、赤外カットフィルタ層３０、第１レンズ層４０、第２レンズ層５０、アクチュエータ層６０、平行バネ下層７０、第３レンズ層８０、平行バネ上層９０、および保護層ＣＢの１０層がこの順番で積層されてカメラモジュール４００が形成されている。なお、このカメラモジュール４００は、例えば、微細装置の集積化のために使用されるマイクロマシニング(micromachining)技法により製作される。この技法は、半導体加工技術の一種として、一般にＭＥＭＳ(Micro Electro Mechanical Systems)と称される。なお、ＭＥＭＳという加工技術の名称が使用される分野としては、半導体工程、特に、集積回路技術を応用したマイクロマシニング技術を利用してサイズがμｍオーダーのマイクロセンサ、アクチュエータ、および電気機械的構造物を製作する分野が含まれる。
【００６７】
＜２−５．レンズ部の駆動の態様＞
図１２および図１３は、第３レンズ層８０に含まれるレンズ部８１の駆動態様を説明するための図である。図１２および図１３では、レンズ部８１と弾性部７１，９１の状態を側方から見た模式図が示されている。なお、実際にはレンズ保持部８３を弾性部７１，９１が挟持しているが、図１２および図１３では、説明の簡略化のために、弾性部７１，９１がレンズ部８１を点Ｐｕ，Ｐｄで保持しているように示されている。また、図１２では、弾性部７１，９１が変形していない状態（初期状態）が示され、図１３では、弾性部７１，９１が変形している状態（変形状態）が示されている。
【００６８】
上述したように、弾性部７１，９１は、ともに同様な構成を有し、それぞれ同様に枠部Ｆ７，Ｆ９に対して２箇所で固設される。そして、第１および第２可動部６１，６２の変形により、板状部材７１ｂが上昇するように弾性部７１が変形する際には、レンズ部８１を介して弾性部９１も同様に変形する。このとき、レンズ部８１が、所定距離離隔して並設される板状部材７１ａ，９１ａおよび板状部材７１ｃ，９１ｃによって挟持された状態と同視することができ、板状部材７１ａ，９１ａおよび板状部材７１ｃ，９１ｃが略同一のタイミングで略同一の変形を行う。このため、レンズ部８１は、光軸が傾くことなく、上下方向（ここでは、Ｚ軸方向）に移動する。すなわち、レンズ部８１の光軸の方向がずれることなく、レンズ部８１と撮像素子部１１との距離が変更される。その結果、撮像素子部１１とレンズ部８１との距離が変更され、焦点調整が実行される。
【００６９】
＜３．カメラモジュールの製造工程＞
図１４は、カメラモジュール４００の製造工程の手順を例示するフローチャートである。図１４で示すように、(工程Ａ)複数のシートの準備（ステップＳ１）、(工程Ｂ)複数のシートの接合（ステップＳ２）、(工程Ｃ)ダイシング（ステップＳ３）、(工程Ｄ)光軸の偏芯の検査（ステップＳ４）、および(工程Ｅ)撮像素子層の結合（ステップＳ５）が順次に行われることで、カメラモジュール４００が製造される。以下、各工程について簡単に説明する。
【００７０】
○複数のシートの準備（工程Ａ）：
図１５および図１６は、準備する１０枚のシートＵ２〜Ｕ９，ＵＣＢの構成例を示す平面図である。ここでは、各シートＵ２〜Ｕ９，ＵＣＢが、円盤状である例を示して説明する。
【００７１】
図１５(ａ)は、図３(ｂ)で示した撮像センサホルダ層２０に相当するチップが所定配列（ここでは、マトリックス状の所定配列）で多数形成されたシート（撮像センサホルダシート）Ｕ２を例示する図である。この撮像センサホルダシートＵ２は、例えば、樹脂材料を素材として、金属金型を用いたプレス加工によって製作される。
【００７２】
図１５(ｂ)は、図３(ｃ)で示した赤外カットフィルタ層３０に相当するチップが所定配列（ここでは、マトリックス状の所定配列）で多数配列されたシート（赤外カットフィルタシート）Ｕ３を例示する図である。この赤外カットフィルタシートＵ３は、例えば、透明基板上に屈折率の異なる透明薄膜を多層化することで製作される。具体的には、まず、フィルタの基板となるガラスあるいは透明樹脂の基板を用意し、該基板の上面に屈折率の異なる透明薄膜をスパッタリングや蒸着などの手法によって多数積層させることで製作される。なお、透明薄膜の厚みや屈折率の組合せを適宜変更することで、透過する光の波長帯が設定される。ここでは、例えば、６００ｎｍ以上の波長帯の光を透過させないように設定することで、赤外光が遮断される。
【００７３】
図１５(ｃ)は、図３(ｄ)で示した第１レンズ層４０に相当するチップが所定配列（ここでは、マトリックス状の所定配列）で多数形成されたシート（第１レンズシート）Ｕ４を例示する図であり、図１５(ｄ)は、図３(ｅ)で示した第２レンズ層５０に相当するチップが所定配列（ここでは、マトリックス状の所定配列）で多数形成されたシート（第２レンズシート）Ｕ５を例示する図である。第１および第２レンズシートＵ４，Ｕ５は、例えば、フェノール系の樹脂、アクリル系の樹脂、または光学ガラスを素材として、成型またはエッチングなどの手法で製作される。なお、カメラモジュール４００に絞りを形成する場合は、例えば、第２レンズ層５０などに、シャドウマスクを用いて遮光材料の薄膜を形成したり、別途黒色に色づけされた樹脂材料などで絞りを形成したりすれば良い。
【００７４】
図１５(ｅ)は、図３(ｆ)で示したアクチュエータ層６０に相当するチップが所定配列（ここでは、マトリックス状の所定配列）で多数形成されたシート（アクチュエータシート）Ｕ６を例示する図である。アクチュエータシートＵ６は、例えば、シリコンやプラスチックスなどの基板のエッチングによって、固定枠層６０１が形成された上に、発光層６０２と光拡散層６０３と光変位素子層６０４とがこの順番で積層されて製作される。例えば、固定枠層６０１と、発光層６０２の第１および第２板状部材６２１，６２２のベースとなるシートとが一体的に構成され、該シートに対して、第１および第２発光部６１Ｕ，６１Ｖが蒸着やエッチングなどによって形成されて、第１および第２板状部材６２１，６２２が形成される。そして、第１および第２板状部材６２１，６２２と、第１および第２光拡散部６３１，６３２と、第１および第２光変位素子部６４１，６４２とが、接着や圧着などの手法によってそれぞれ張り合わされる。
【００７５】
なお、第１および第２板状部材６２１，６２２上に、蒸着やスパッタリングなどの手法によって、第１および第２光拡散部６３１，６３２と、第１および第２光変位素子部６４１，６４２とがこの順でそれぞれ形成されても良い。また、第１および第２光拡散部６３１，６３２については、第１および第２板状部材６２１，６２２上に、第１および第２光拡散部６３１，６３２用の層が形成された後に、その表面が荒らされて磨りガラス状にされて、第１および第２光拡散部６３１，６３２が形成されても良い。配線部６２１ａ，６２１ｂ，６２２ａ，６２２ｂ，６２３ａ，６２３ｂについては、例えば、スパッタリング法（または蒸着法）を用いて形成すれば良い。但し、配線部６２１ａ，６２１ｂ，６２２ａ，６２２ｂ，６２３ａ，６２３ｂに対して、配線Ｃ１ａ，Ｃ１ｂ，Ｃ２ａ，Ｃ２ｂを接続し易くするために、配線部６２１ａ，６２１ｂ，６２２ａ，６２２ｂ，６２３ａ，６２３ｂの端部に適宜端子部を設けることが好ましい。
【００７６】
図１５(ｆ)は、図４(ａ)で示した平行バネ下層７０に相当するチップが所定配列（ここでは、マトリックス状の所定配列）で多数形成されたシート（平行バネ下シート）Ｕ７を例示する図であり、図１６(ｂ)は、図４(ｃ)で示した平行バネ上層９０に相当するチップが所定配列（ここでは、マトリックス状の所定配列）で多数形成されたシート（平行バネ上シート）Ｕ９を例示する図である。平行バネ下シートＵ７および平行バネ上シートＵ９は、りん青銅などの金属材料の薄板に対して、例えばエッチングなどを施すことで製作される。
【００７７】
図１６(ａ)は、図４(ｂ)で示した第３レンズ層８０に相当するチップが所定配列（ここでは、マトリックス状の所定配列）で多数形成されたシート（第３レンズシート）Ｕ８を例示する図である。第３レンズシートＵ８は、例えば、フェノール系の樹脂、アクリル系の樹脂、または光学ガラスを素材として、成型およびエッチングなどの手法で製作される。第３レンズシートＵ８では、各チップにおいて、枠部Ｆ８と、レンズ部８１と、レンズ保持部８３とが樹脂などの同一素材によって一体的に形成される。また、図４(ｂ)で示したように、２本の連結部により、レンズ部８１を保持するレンズ保持部８３と、枠部Ｆ８とが連結されて、レンズ部８１が支持された状態となっている。なお、第３レンズ層８０がカメラモジュール４００に適用されることを考慮すると、第３レンズ層８０のうちのレンズ部８１以外の部分は、光を遮断することが好ましい。したがって、例えば、枠部Ｆ８、レンズ保持部８３、および連結部のうちの少なくとも一部分が、遮光部材を含んで一体的に形成されれば、光学系の製造の簡略化、ひいてはカメラモジュール４００の製造の簡略化が図られる。
【００７８】
図１６(ｃ)は、図４(ｄ)で示した保護層ＣＢに相当するチップが所定配列（ここでは、マトリックス状の所定配列）で多数形成されたシート（保護シート）ＵＣＢを例示する図である。保護シートＵＣＢは、例えば、透明の材料である樹脂（またはガラス）を所望の厚みとし、適宜エッチングを施すことで製作された平板状のシートである。
【００７９】
なお、ここで準備される１０枚のシートＵ２〜Ｕ９，ＵＣＢには、シートの接合工程における位置合わせのためのマーク（アライメントマーク）が、略同一の位置に付される。アライメントマークとしては、例えば、十字などのマークなどが挙げられ、各シートＵ２〜Ｕ９，ＵＣＢの上面の外周部近傍であって比較的離隔した２箇所以上の位置に設けられることが好ましい。
【００８０】
○複数のシートの接合（工程Ｂ）：
図１７は、複数のシートＵ２〜Ｕ９，ＵＣＢを順次に積層させて接合する工程を模式的に示す図である。
【００８１】
まず、撮像センサホルダシートＵ２、赤外カットフィルタシートＵ３、第１レンズシートＵ４、および第２レンズシートＵ５について、シートＵ２〜Ｕ５の各チップが、それぞれ直上に積層されるように、シート形状のまま位置合わせ（アライメント）が行われる。なお、レンズ部４１，５１，８１によって形成される光学系の精度を保つためには、３つのレンズ部４１，５１，８１の光軸のズレ量（すなわち偏芯精度）が５μｍ以内であることが望ましい。
【００８２】
具体的には、公知のアライナー装置に、まず、撮像センサホルダシートＵ２および赤外カットフィルタシートＵ３がセットされ、予め形成しておいたアライメントマークを用いたアライメントが行われる。この際、事前に、撮像センサホルダシートＵ２と赤外カットフィルタシートＵ３とが接合される面（接合面）に、いわゆるエポキシ樹脂系の接着剤、または紫外線硬化接着剤が塗布されており、両シートＵ２，Ｕ３が接合される。なお、接合面にＯ２プラズマを照射することで、接合面を活性化して、両シートＵ２，Ｕ３を直接接合する方法を用いても良い。但し、複数の層を短時間で簡単に接合して、カメラモジュール４００の生産性の向上と製造コストの低減とを図ることを考慮すれば、上記樹脂の接着剤を用いる方が好ましい。
【００８３】
続いて、上記と同様なアライメントならびに接合方法により、赤外カットフィルタシートＵ３上に第１レンズシートＵ４が接合され、更に、第１レンズシートＵ４上に第２レンズシートＵ５が接合される。
【００８４】
次に、４つのシートＵ２〜Ｕ５が積層されて形成された積層体の上面に対して、アクチュエータシートＵ６、平行バネ下シートＵ７、第３レンズシートＵ８、および平行バネ上シートＵ９がこの順番で積層および接合される。アライメントならびに接合方法については、上述したシートＵ２，Ｕ３に係る手法と同様であり、このとき、シートＵ２〜Ｕ９の各チップが、それぞれ直上に積層される。ここでは、例えば、第３レンズシートＵ８の枠部Ｆ８に相当する部分が、平行バネ下シートＵ７および平行バネ上シートＵ９と接合される。
【００８５】
また、この際、第３レンズシートＵ８のレンズ部８１が、平行バネ下シートＵ７の弾性部７１を介して、アクチュエータシートＵ６の第１および第２可動部６１，６２によって支持された状態となる。また、シートＵ７〜Ｕ９が積層されて結合されることで、レンズ保持部８３が上下面から弾性部７１，９１によって挟持され、弾性部７１，９１によってレンズ部８１が支持された状態となる。このとき、第３レンズシートＵ８の各チップにおいて、枠部Ｆ８とレンズ部８１とをレンズ保持部８３を介して連結する連結部がいわゆるフェムト秒レーザなどによって切断され、枠部Ｆ８とレンズ部８１とが分離される。なお、ここでは、各連結部が枠部Ｆ８側の一部分８４ａ，８４ｂ（図４(ｂ)の太破線部）で切断される。
【００８６】
このように、複数のチップが形成されたシートの状態で、各チップのレンズ部８１が弾性部７１，９１によって支持された後に、レンズ部８１が移動可能な状態とされる。このため、レンズ部８１と第１および第２可動部６１，６２との位置合わせを精度良く行うことができる。すなわち、例えば、各光学ユニット（後述）におけるレンズ部の光軸の偏芯などを防ぐことが可能となる。
【００８７】
最後に、平行バネ上シートＵ９の上面に対して、保護シートＵＣＢが、上述した手法と同様な方法で、アライメントされて接合される。このとき、９つのシートＵ２〜Ｕ９，ＵＣＢが積層した部材（積層部材）が形成される。
【００８８】
○ダイシング（工程Ｃ）：
９つのシートＵ２〜Ｕ９，ＵＣＢが積層された形成された積層部材が、ダイシング装置によってチップ毎に切り離されて、９つの層２０〜９０，ＣＢが積層された光学系のユニット（光学ユニット）が多数生成される。
【００８９】
○光軸の偏芯の検査（工程Ｄ）：
上記ダイシングによって生成された多数の光学ユニットについて、レンズ偏芯測定機によって、３つのレンズ部４１，５１，８１の光軸のズレ量（すなわち偏芯）が所定の許容値域範囲（例えば、５μｍ以内）に入っているのか否か検査される。一般に、カメラモジュール４００を構成する部品のうち、最も高価となるのは撮像素子層１０である。そして、光軸の偏芯が所定の許容値域範囲から外れたカメラモジュール４００は、不良品として扱われる。このため、光学ユニットの段階で不良品と良品とが選別され、良品に対してのみ撮像素子層１０を取り付けられることで、カメラモジュール４００の製造コストならびに資源の無駄使いの低減が図られる。
【００９０】
○撮像素子層の結合（工程Ｅ）：
光軸の偏芯の検査によって良品であると判別された各光学ユニットの下面（具体的には、撮像センサホルダ層２０の裏面）に対して、撮像素子層１０のチップが、いわゆるエポキシ樹脂系の接着剤、または紫外線硬化接着剤を用いた接合によって取り付けられて、カメラモジュール４００が完成される。このとき、各カメラモジュール４００のアクチュエータ層６０の配線部６２１ａ，６２１ｂ，６２２ａ，６２２ｂに対して、配線Ｃ１ａ，Ｃ１ｂ，Ｃ２ａ，Ｃ２ｂ，Ｃ３，Ｃ４、スイッチＳｗ、および電源Ｐｓが外部から電気的に接続される。
【００９１】
以上のように、本発明の実施形態に係るカメラモジュール４００では、アクチュエータ層６０において、第１および第２波長光の照射による第１および第２光変位素子部６４１，６４２の伸縮に応じて第１および第２可動部６１，６２の自由端が変位する。この構成では、小型の構成で大きな駆動力を発生させることができる。そして、この大きな駆動力で光学レンズであるレンズ部８１を移動させることができる。さらに、第１および第２発光部６１Ｕ，６１Ｖが有機ＥＬ素子によって構成されているため、第１および第２可動部６１，６２の曲げに対する抵抗が抑制され、駆動力の低下を招かない。
【００９２】
また、カメラモジュール４００を構成する各層１０〜９０，ＣＢは、各外周部で接着剤によってそれぞれ接合されているため、第１および第２可動部６１，６２、弾性部７１，９１、レンズ部８１、およびレンズ保持部８３を含む内部構成は、密閉された状態になる。したがって、駆動機構が非常に小さな隙間を有して構成されているが、例えば、クリーンルーム内でカメラモジュール４００の組み立てを行うと、撮像素子部１１と保護層ＳＢと各層の外周部によって作られる空間へのゴミの進入が防がれ、密封により駆動機構の動作精度が高まる。また、密封により、空気の対流も防止されるため、駆動機構に対する負荷のバラツキも低減される。
【００９３】
＜４．変形例＞
本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
【００９４】
◎例えば、上記実施形態では、第１および第２可動部６１，６２に対して第１および第２波長光を射出する第１および第２発光部６１Ｕ，６１Ｖが設けられたが、これに限られない。例えば、アクチュエータ層６０に隣接する第２レンズ層５０など、その他の層に第１および第２発光部６１Ｕ，６１Ｖが設けられても良い。但し、第１および第２可動部６１，６２に対して第１および第２波長光を射出する第１および第２発光部６１Ｕ，６１Ｖが設けられている方が、第１および第２可動部６１，６２の外部に発光部を設ける必要性がなくなり、第１および第２可動部６１，６２の配置の自由度が高まる。
【００９５】
◎また、上記実施形態では、第１および第２発光部６１Ｕ，６１Ｖが、有機ＥＬ素子によって構成され、柔軟性を有するシート上に配列されたが、これに限られない。例えば、柔軟性を有する樹脂製のシート上に、第１および第２波長光をそれぞれ射出する無機材料によって構成される発光ダイオード（ＬＥＤ）のチップが市松模様を形成するように貼り付けられても良い。なお、ＬＥＤのチップが樹脂製のシート上に貼り付けられる構成では、該貼り付けに用いられる接着剤も硬化後にある程度柔軟性を有することが好ましい。
【００９６】
◎また、上記実施形態では、アクチュエータ層６０の配線部６２１ａ，６２１ｂ，６２２ａ，６２２ｂに対して、配線Ｃ１ａ，Ｃ１ｂ，Ｃ２ａ，Ｃ２ｂ，Ｃ３，Ｃ４、スイッチＳｗ、および電源Ｐｓが外部から電気的に接続されたが、これに限られない。例えば、撮像素子層１０、撮像センサホルダ層２０、赤外カットフィルタ層３０、第１レンズ層４０、および第２レンズ層５０の各外周部を貫通し、且つアクチュエータ層６０の第１および第２板状部材６２１，６２２まで至る微小な孔（貫通孔）が複数個設けられ、該複数の貫通孔に導電性を有する素材（導電材料）が充填されることで、配線部６２１ａ，６２１ｂ，６２２ａ，６２２ｂに代わる複数の配線が形成され、該複数の配線に対して、配線Ｃ１ａ，Ｃ１ｂ，Ｃ２ａ，Ｃ２ｂ，Ｃ３，Ｃ４、スイッチＳｗ、および電源Ｐｓが外部から電気的に接続されるようにしても良い。
【００９７】
◎また、上記実施形態では、フォトクロミック材料として、ジアリールエテンが採用されたが、これに限られない。例えば、アゾベンゼンなどの他のフォトクロミック材料が採用されても良い。但し、ジアリールエテンの方が、第１および第２波長光の照射開始から第１および第２光変位素子部６４１，６４２が伸縮するまでに要する時間が短い、いわゆる応答性が優れている面で好ましい。そして、光の照射に対する伸縮の応答性が高まれば、所望のタイミングで駆動力を発生させることができる。
【００９８】
◎また、上記実施形態では、アクチュエータ層６０において、２枚の第１および第２可動部６１，６２が設けられたが、これに限られず、少なくとも、第１および第２可動部６１，６２のうちの一方が設けられれば良い。
【００９９】
◎また、上記実施形態では、弾性部７１，９１がそれぞれ枠部Ｆ７，Ｆ９の２箇所に固設されたが、これに限られず、種々の構成を採用しても良い。但し、上述の如くレンズ部８１の光軸を傾けることなく、レンズ部８１を移動させるためには、弾性部７１，９１がそれぞれ枠部Ｆ７，Ｆ９の２箇所以上で固設されることが好ましい。また、弾性部７１，９１の態様としては、例えば、弾性部７１，９１をそれぞれ中央部分で２分割して、２分割された弾性部７１の一方および他方の一端を枠部Ｆ７にそれぞれ固設することで合計２箇所に固設するとともに、２分割された弾性部９１の一方および他方の一端を枠部Ｆ９にそれぞれ固設することで合計２箇所に固設するような構成も考えられる。
【０１００】
◎また、上記実施形態では、第１および第２可動部６１，６２によって移動される対象物（移動対象物）が、オートフォーカス装置を構成する光学レンズであったが、これに限られない。例えば、移動対象物は、手振れ補正機構を構成する光学レンズや光ピックアップ装置を構成する光学レンズなど、その他の光学レンズであっても良いし、更に、光学レンズ以外の種々の小型の移動対象物であっても良い。つまり、本発明は、移動対象物を移動させるアクチュエータ一般に適用することができる。なお、手振れ補正機構としては、例えば、第１および第２可動部の動きにより、移動対象物である光学レンズが上下左右に２次元的に駆動する構成を挙げることができる。
【０１０１】
ここで、本発明を適用して製造されたアクチュエータを含む具体例について簡単に説明する。図１８は、対物レンズ５０５を移動させるアクチュエータを含む光ピックアップ装置７００の構成例を示す断面模式図である。
【０１０２】
光ピックアップ装置７００は、光源７０１から射出される光ビームを光ディスク７０６の情報記録面７０７に集光させ、該情報記録面７０７で反射される光ビームを受光素子７０８で受光して、情報を読み取るものである。そして、この光ピックアップ装置７００では、情報記録面７０７の形状に合わせて、光ビームのフォーカス位置を調節する必要がある。そこで、本具体例に係る光ピックアップ装置７００には、上記実施形態に係るアクチュエータ層６０、平行バネ下層７０、および平行バネ上層９０を用いて対物レンズ７０５を駆動することで光ビームの焦点を調節する駆動装置が搭載されている。
【０１０３】
図１８で示すように、光源７０１から射出された光ビームは、ビームスプリッター７０２を透過し、コリメータレンズ７０３で略平行光とされ、反射プリズム７０４にて反射されて、対物レンズ７０５に入射する。そして、対物レンズ７０５を保持する部分が、平行バネ下層７０の弾性部７１と、平行バネ上層９０の弾性部９１とによって挟持され、弾性部７１の下面にアクチュエータ層６０の第１および第２可動部６１，６２が当接されている。このため、第１および第２可動部６１，６２の変形により、弾性部７１の押し上げ、ならびに弾性部７１の弾性力による押し下げが生じ、対物レンズ７０５が光軸に沿って上下に駆動可能とされている。また、対物レンズ７０５で屈折された光は、光ディスク７０６に入射し、情報記録面７０７に集光される。そして、情報記録面７０７で反射された光は、入射してきた光路を逆に辿り、ビームスプリッター７０２で反射されて受光素子７０８に至る。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】本発明の実施形態に係るカメラモジュールを搭載した携帯電話機の概略構成を例示する模式図である。
【図２】カメラモジュールの構成例を模式的に示す分解斜視図である。
【図３】カメラモジュールを構成する各層の構成例をそれぞれ示す平面図である。
【図４】カメラモジュールを構成する各層の構成例をそれぞれ示す平面図である。
【図５】アクチュエータ層の詳細な構成を説明するための図である。
【図６】アクチュエータ層の詳細な構成を説明するための図である。
【図７】アクチュエータ層に電圧を印加するための電気回路を例示する図である。
【図８】可動部の動作を説明するための図である。
【図９】可動部の動作を説明するための図である。
【図１０】カメラモジュールの構造を示す図である。
【図１１】カメラモジュールの構造を示す図である。
【図１２】第３レンズ層に含まれるレンズ部の駆動態様を説明するための図である。
【図１３】第３レンズ層に含まれるレンズ部の駆動態様を説明するための図である。
【図１４】カメラモジュールの製造工程の手順を例示するフローチャートである。
【図１５】準備するシートの構成例を示す平面図である。
【図１６】準備するシートの構成例を示す平面図である。
【図１７】複数のシートを順次に積層させて接合する工程を模式的に示す図である。
【図１８】対物レンズを移動させるアクチュエータを含む光ピックアップ装置の構成例を示す断面模式図である。
【符号の説明】
【０１０５】
１０ 撮像素子層
１１ 撮像素子部
２０ 撮像センサホルダ層
３０ 赤外カットフィルタ層
４０ 第１レンズ層
４１，５１，８１ レンズ部
５０ 第２レンズ層
６０ アクチュエータ層
６１ 第１可動部
６１Ｂ 第１ベース部材
６１Ｕ 第１発光部
６１Ｖ 第２発光部
６２ 第２可動部
６２Ｂ 第２ベース部材
７０ 平行バネ下層
８０ 第３レンズ層
９０ 平行バネ上層
１００ 携帯電話機
４００ カメラモジュール
６０１ 固定枠層
６０２ 発光層
６０３ 光拡散層
６０４ 光変位素子層
６２１ 第１板状部材
６２２ 第２板状部材
６３１ 第１光拡散部
６３２ 第２光拡散部
６４１ 第１光変位素子部
６４２ 第２光変位素子部
７００ 光ピックアップ装置
ＣＢ 保護層
Ｆ６，Ｆ６１ 枠部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小型のアクチュエータおよび該アクチュエータを備えた撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ズーム機能やオートフォーカス（ＡＦ）機能を有するカメラモジュールが搭載された携帯電話機が市販されている。このカメラモジュールでは、光学レンズを移動させるための小型のアクチュエータが必要とされている。そして、カメラモジュールの更なる小型化が指向される中、アクチュエータについても更なる小型化が要求されている。
【０００３】
まず、カメラモジュールについては、従来、レンズを支持するレンズバレルとレンズホルダ、赤外線(ＩＲ)カットフィルタを支持するホルダ、基板、撮像素子、および光学素子からなる積層体を保持する筐体、該積層体を封止する樹脂などが必要とされている。よって、上記多数の部品の小型化を図ると、多数の部品を精度良く組み合わせてカメラモジュールを作製することは容易でなかった。そこで、基板と、多数の撮像素子が形成された半導体シートと、多数の撮像レンズが形成されたレンズアレイシートとを樹脂層を介して貼り付けて積層部材を形成し、該積層部材をダイシングして、個々のカメラモジュールを完成させる技術が提案されている（例えば、特許文献１など）。
【０００４】
そして、小型のアクチュエータについては、応答性に優れ、比較的大きな変位の実現が可能なものとして、光の刺激により構造変化を引き起こすアゾベンゼン化合物を用いたものが提案されている（例えば、特許文献２，３など）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１２９９５号公報
【特許文献２】特開２００７−１０６９４５号公報
【特許文献３】特開２００５−２９１０２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献２，３で提案されたアクチュエータは、アゾベンゼン化合物からなる光屈曲膜自身が光の照射に応じて屈曲するものであり、小型の構成で大きな力を生むことができない。
【０００７】
これに対して、例えば、現在市販されている小型の撮像レンズユニットを移動させるタイプのＡＦ機構については、移動対象物である撮像レンズユニットは軽いものでも０．２ｇ程度の重量を有する。それに加えて、部品間に生じる摩擦やバネによる負荷、更には、絞り機構からの電気信号を外部に伝達するためのフレキシブル基板の負荷なども考慮すると、アクチュエータに対して合計で１ｇｆ程度の負荷が生じるのが一般的である。
【０００８】
したがって、上記特許文献２，３で提案されたアクチュエータを利用して撮像レンズユニットを移動させるためには、アクチュエータの大型化、ひいてはカメラモジュールの大型化を招いてしまう。そして、このような問題は、撮像レンズユニットを移動させるアクチュエータに限られず、種々の移動対象物を移動させるアクチュエータ一般に共通する。
【０００９】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、小型の構成で大きな駆動力を発生させることが可能な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するために、請求項１の発明は、固定部と、一端が前記固定部に固設され、且つ一方向に延設される板状の可動部と、を備え、前記可動部が、一端が前記固定部に固設され、且つ前記一方向に延設される板状のベース部と、前記ベース部の一方主面上において該ベース部と一体的に形成され、且つ第１の光の照射に応じて前記一方向に伸び、第２の光の照射に応じて前記一方向に縮む光変位部と、を有することを特徴とするアクチュエータである。
【００１１】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載のアクチュエータであって、前記ベース部が、前記第１および第２の光をそれぞれ発する発光部を含むことを特徴とする。
【００１２】
また、請求項３の発明は、請求項２に記載のアクチュエータであって、前記発光部が、前記第１の光を発する第１の有機ＥＬ素子と、前記第２の光を発する第２の有機ＥＬ素子とを含むことを特徴とする。
【００１３】
また、請求項４の発明は、請求項１から請求項３の何れかに記載のアクチュエータであって、前記光変位部が、ジアリールエテンを用いて構成されることを特徴とする。
【００１４】
また、請求項５の発明は、請求項１から請求項４の何れかに記載のアクチュエータと、前記アクチュエータによって移動される光学レンズと、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１から請求項５の何れに記載の発明によっても、光の照射による光変位部の伸縮に応じて可動部が曲がるため、小型の構成で大きな駆動力を発生させることができる。
【００１６】
請求項２に記載の発明によれば、アクチュエータの外部に発光部を設ける必要性がなくなるため、アクチュエータの配置の自由度が高まる。
【００１７】
請求項３に記載の発明によれば、可動部の曲げに対する抵抗が抑制されるため、駆動力の低下を招かない。
【００１８】
請求項４に記載の発明によれば、光の照射に対する伸縮の応答性が高まるため、所望のタイミングで駆動力を発生させることができる。
【００１９】
請求項５に記載の発明によれば、小型の構成で光学レンズを移動させることが可能な撮像装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２１】
＜１．携帯電話機の概略構成＞
図１は、本発明の実施形態に係るカメラモジュール４００を搭載した携帯電話機１００の概略構成を例示する模式図である。なお、図１および図１以降の図では方位関係を明確化するために、ＸＹＺの相互に直交する３軸が適宜付されている。
【００２２】
図１(ａ)で示すように、携帯電話機１００は、画像取得再生部２００と本体部３００とを備える。画像取得再生部２００は、カメラモジュール４００や表示ディスプレイ（不図示）を有し、本体部３００は、携帯電話機１００の全体を制御する制御部とテンキーなどの各種ボタン（不図示）とを有する。なお、画像取得再生部２００と本体部３００とが、回動可能なヒンジ部によって連結され、携帯電話機１００が折り畳み可能となっている。
【００２３】
図１(ｂ)は、携帯電話機１００のうちの画像取得再生部２００に着目した断面模式図である。図１(ａ)，(ｂ)で示すように、カメラモジュール４００は、ＸＹ断面のサイズが約５ｍｍ四方であり、厚さ（Ｚ方向の奥行き）が約３ｍｍ程度である小型の撮像装置、すなわち所謂マイクロカメラユニット(ＭＣＵ)となっている。
【００２４】
＜２．カメラモジュールの構成＞
図２は、カメラモジュール４００の構成例を模式的に示す分解斜視図である。図２で示すように、カメラモジュール４００は、撮像素子層１０、撮像センサホルダ層２０、赤外カットフィルタ層３０、第１レンズ層４０、第２レンズ層５０、アクチュエータ層６０、平行バネ下層７０、第３レンズ層８０、平行バネ上層９０、および保護層ＣＢの１０層がこの順番で積層されて形成されている。そして、１０層に含まれる相互に隣接する各２層の間が、エポキシ樹脂などの樹脂によって接合されており、各層間に樹脂が介在している。また、各層１０〜９０，ＣＢは、±Ｚ方向の面において略同一の矩形状（ここでは、一辺が約５ｍｍの正方形）の外形を有する。なお、後述するが、第３レンズ層８０については、カメラモジュール４００の製造途中で、連結部が図中の太破線で描かれた部分８４ａ，８４ｂで切断され、枠部Ｆ８とレンズ部８１とが分離された状態となる（図４(ｂ)参照）。
【００２５】
＜２−１．各層の構成＞
図３および図４は、撮像素子層１０、撮像センサホルダ層２０、赤外カットフィルタ層３０、第１レンズ層４０、第２レンズ層５０、アクチュエータ層６０、平行バネ下層７０、第３レンズ層８０、平行バネ上層９０、および保護層ＣＢの構成例をそれぞれ示す平面図である。
【００２６】
○撮像素子層１０：
図３(ａ)で示すように、撮像素子層１０は、例えば、ＣＯＭＳセンサまたはＣＣＤセンサなどで形成される撮像素子部１１、その周辺回路、および撮像素子部１１を囲む外周部Ｆ１を備えるチップである。なお、ここでは図示を省略しているが、撮像素子層１０の裏面（−Ｚ側の面）には、撮像素子部１１に対する信号の付与、および撮像素子部１１からの信号の読み出しを行うための配線を接続するための各種端子が設けられる。更に、撮像素子部１１の＋Ｚ側の面は、被写体からの光を受光する面（撮像面）として機能し、外周部Ｆ１が、撮像素子層１０の＋Ｚ側に隣接する撮像センサホルダ層２０に対して接合される。
【００２７】
○撮像センサホルダ層２０：
図３(ｂ)で示すように、撮像センサホルダ層２０は、例えば、樹脂などの素材によって形成され、接合によって取り付けられる撮像素子層１０を保持するチップである。具体的には、撮像センサホルダ層２０の略中央には、断面が略正方形の開口２１がＺ方向に沿って設けられ、該開口２１の断面は＋Ｚ側に行くに従って小さくなる。なお、図３(ｂ)の破線で描かれた四角形は、−Ｚ側の面における開口２１の外縁を示す。更に、撮像センサホルダ層２０の外周部の−Ｚ側の面が隣接する撮像素子層１０と接合され、該外周部の＋Ｚ側の面が隣接する赤外カットフィルタ層３０と接合される。
【００２８】
○赤外カットフィルタ層３０：
図３(ｃ)で示すように、赤外カットフィルタ層３０は、透明基板上に屈折率の異なる透明薄膜が多層化されて構成された赤外線をカットするフィルタのチップである。具体的には、赤外カットフィルタ層３０は、例えば、ガラスまたは透明樹脂で構成される基板の上面に屈折率の異なる多数の透明薄膜をスパッタリングなどで形成したもので、薄膜の厚みおよび屈折率の組合せにより、透過する光の波長帯が制御される。例えば、赤外カットフィルタ層３０としては、６００ｎｍ以上の波長帯の光を遮断するものが好ましい。更に、赤外カットフィルタ層３０の外周部の−Ｚ側の面が隣接する撮像センサホルダ層２０と接合され、該外周部の＋Ｚ側の面が隣接する第１レンズ層４０と接合される。
【００２９】
○第１レンズ層４０：
図３(ｄ)で示すように、第１レンズ層４０は、正のレンズパワーを有する光学レンズからなるレンズ部４１と、該レンズ部４１を囲み且つ該第１レンズ層４０の外周部を構成する枠部Ｆ４とが同一の素材で一体成型されて形成されたチップである。そして、第１レンズ層４０を構成する素材としては、フェノール系の樹脂やアクリル系の樹脂、あるいはガラスなどが挙げられる。なお、レンズ部４１は、第１〜３レンズ層４０，５０，８０による焦点が撮像素子部１１に対応したものとなるように光を屈折させる光学レンズとなっている。更に、枠部Ｆ４の−Ｚ側の面が隣接する赤外カットフィルタ層３０と接合され、該枠部Ｆ４の＋Ｚ側の面が隣接する第２レンズ層５０と接合される。
【００３０】
○第２レンズ層５０：
図３(ｅ)で示すように、第２レンズ層５０は、負のレンズパワーを有する光学レンズからなるレンズ部５１と、該レンズ部５１を囲み且つ該第２レンズ層５０の外周部を構成する枠部Ｆ５とが同一の素材で一体成型されて形成されたチップである。そして、第２レンズ層５０を構成する素材としては、第１レンズ層４０と同様に、フェノール系の樹脂やアクリル系の樹脂、あるいはガラスなどが挙げられる。なお、レンズ部５１は、レンズ部４１と同様に、第１〜３レンズ層４０，５０，８０による焦点が撮像素子部１１に対応したものとなるように光を屈折させる光学レンズとなっている。更に、枠部Ｆ５の−Ｚ側の面が隣接する第１レンズ層４０（具体的には、枠部Ｆ４）と接合され、該枠部Ｆ５の＋Ｚ側の面が隣接するアクチュエータ層６０と接合される。
【００３１】
○アクチュエータ層６０：
図３(ｆ)で示すように、アクチュエータ層６０は、撮像素子層１０の撮像面側に配置されるとともに、第３レンズ層８０のレンズ部８１を移動させる薄板状の第１および第２可動部６１，６２を備えるチップである。また、アクチュエータ層６０は、外周部を構成する枠部Ｆ６と、該枠部Ｆ６の内側の中空部分に対して該枠部Ｆ６から突設される２枚の板状の第１および第２可動部６１，６２とを備える。ここでは、２枚の第１および第２可動部６１，６２は、一端がそれぞれ枠部Ｆ６に固設され、且つＹ軸に沿って延設されており、枠部Ｆ６が２枚の第１および第２可動部６１，６２を囲むように形成されている。そして、枠部Ｆ６は、カメラモジュール４００が携帯電話機１００における画像取得再生部２００の筐体に対して固定されている部分（本発明の「固定部」に相当する）を構成する。
【００３２】
より具体的には、枠部Ｆ６は、Ｘ軸に対して平行に延設され且つ相互に対向する２辺を成す２枚の板状部材と、Ｙ軸に対して平行に延設され且つ相互に対向する２辺を成す２枚の板状部材とからなる４枚の板状部材がロの字型に配置されて形成される。また、該４枚の板状部材のうちの１枚の板状部材（ここでは、−Ｙ側の板状部材）が形成する枠部Ｆ６の内縁のうち、−Ｘ側の端部（一端）近傍の所定部（一方所定部）に第１可動部６１の一端が固設され、＋Ｘ側の端部（他端）近傍の所定部（他方所定部）に第２可動部６２の一端が固設される。つまり、２枚の第１および第２可動部６１，６２の各一端が枠部Ｆ６に対して固定された端部（固定端）となり、２枚の第１および第２可動部６１，６２の各他端が枠部Ｆ６に対する相対的な位置が自由に変更される端部（自由端）となっている。更に、枠部Ｆ６の−Ｚ側の面が隣接する第２レンズ層５０（具体的には、枠部Ｆ５）と接合され、該枠部Ｆ６の＋Ｚ側の面が隣接する平行バネ下層７０と接合される。
【００３３】
また、第１および第２可動部６１，６２は、それぞれアクチュエータ素子として、照射される光の種類に応じて伸縮する素子（光変位素子）が用いられて構成されている。第１および第２可動部６１，６２の詳細な構成ならびに動作については後述する。
【００３４】
○平行バネ下層７０：
図４(ａ)で示すように、平行バネ下層７０は、りん青銅などの金属材料で構成され、枠部Ｆ７と、弾性部７１とを有するチップであり、バネ機構を形成する層（弾性層）となっている。枠部Ｆ７は、平行バネ下層７０の外周部を構成する。そして、枠部Ｆ７の−Ｚ側の面が隣接するアクチュエータ層６０（具体的には、枠部Ｆ６）と接合され、該枠部Ｆ７の＋Ｚ側の面が隣接する第３レンズ層８０と接合される。弾性部７１は、３つの略直線状に伸びる板状部材７１ａ，７１ｂ，７１ｃがコの字型に連結されて形成され、３つの板状部材７１ａ，７１ｂ，７１ｃのうちの両側の２本の板状部材７１ａ，７１ｃの各一端、すなわち弾性部７１の両端が、枠部Ｆ７の２箇所に固設される。ここでは、弾性部７１は、枠部Ｆ７の内側の中空部分に配置されるため、枠部Ｆ７が、弾性部７１を囲むように形成される。
【００３５】
より具体的には、枠部Ｆ７は、枠部Ｆ６と同様に、Ｘ軸に対して平行に延設され且つ相互に対向する２辺を成す２枚の板状部材と、Ｙ軸に対して平行に延設され且つ相互に対向する２辺を成す２枚の板状部材とからなる４枚の板状部材がロの字型に配置されて形成される。また、該４枚の板状部材のうちの１枚の板状部材（ここでは、−Ｙ側の板状部材）が形成する枠部Ｆ７の内縁のうち、−Ｘ側の端部（一端）近傍の所定部（一方所定部）に弾性部７１の一端（具体的には、板状部材７１ａの一端）が固設され、＋Ｘ側の端部（他端）近傍の所定部（他方所定部）に弾性部７１の他端（具体的には、板状部材７１ｃの一端）が固設される。
【００３６】
また、弾性部７１を構成する３つの板状部材７１ａ，７１ｂ，７１ｃのうち、両側の２つの板状部材７１ａ，７１ｃの下面（−Ｚ側の面）が、第１および第２可動部６１，６２の上面（＋Ｚ側の面）に当接する。
【００３７】
○第３レンズ層８０：
図４(ｂ)で示すように、第３レンズ層８０は、枠部Ｆ８と、レンズ部８１と、レンズ保持部８３とを有するチップである。この第３レンズ層８０を構成する素材としては、第１および第２レンズ層４０，５０と同様に、フェノール系の樹脂やアクリル系の樹脂、あるいはガラスなどが挙げられる。
【００３８】
枠部Ｆ８は、第３レンズ層８０の外周部を構成する。具体的には、枠部Ｆ８は、Ｘ軸に対して平行に延設され且つ相互に対向する２辺を成す２枚の板状部材と、Ｙ軸に対して平行に延設され且つ相互に対向する２辺を成す２枚の板状部材とからなる４枚の板状部材がロの字型に配置されて形成される。そして、枠部Ｆ８の内側に形成される中空部分に、レンズ部８１およびレンズ保持部８３が配置され、レンズ部８１およびレンズ保持部８３が枠部Ｆ８に囲まれた状態となっている。また、枠部Ｆ８の−Ｚ側の面が隣接する平行バネ下層７０（具体的には、枠部Ｆ７）と接合され、該枠部Ｆ８の＋Ｚ側の面が隣接する平行バネ上層９０と接合される。
【００３９】
レンズ部８１は、撮像素子部１１からの距離が変更可能な光学レンズであり、ここでは、正のレンズパワーを有する。レンズ保持部８３は、レンズ部８１を保持し、平行バネ下層７０の弾性部７１と、後述する平行バネ上層９０の弾性部９１とによって挟持される。具体的には、例えば、レンズ保持部８３は、レンズ部８１と一体的に成型され、レンズ保持部８３の＋Ｙ側の端部のうち、−Ｚ側の面に弾性部７１が接合され、＋Ｚ側の面に弾性部９１が接合される。
【００４０】
なお、第３レンズ層８０については、カメラモジュール４００の製造途中で、図４(ｂ)で示すように、連結部が図中の太破線で描かれた部分８４ａ，８４ｂで切断されて、枠部Ｆ８と、レンズ部８１およびレンズ保持部８３とが分離された状態となり、第３レンズ層８０が形成される。
【００４１】
○平行バネ上層９０：
図４(ｃ)で示すように、平行バネ上層９０は、平行バネ下層７０と同様な構成を有し、りん青銅などの金属材料で構成され、枠部Ｆ９と、弾性部９１とを有するチップであり、バネ機構を形成する層（弾性層）となっている。枠部Ｆ９は、平行バネ上層９０の外周部を構成する。そして、枠部Ｆ９の−Ｚ側の面が隣接する第３レンズ層８０（具体的には、枠部Ｆ８）と接合され、該枠部Ｆ９の＋Ｚ側の面が隣接する保護層ＣＢと接合される。弾性部９１は、弾性部７１と同様に、３つの略直線状に伸びる板状部材９１ａ，９１ｂ，９１ｃがコの字型に連結されて形成され、３つの板状部材９１ａ，９１ｂ，９１ｃのうちの両側の２本の板状部材９１ａ，９１ｃの各一端、すなわち弾性部９１の両端が、枠部Ｆ９の２箇所に固設される。ここでは、弾性部９１は、枠部Ｆ９の内側の中空部分に配置されるため、枠部Ｆ９が、弾性部９１を囲むように形成されている。枠部Ｆ９のより具体的な構成については、上述した枠部Ｆ７と同様となるため、ここでは、説明を省略する。
【００４２】
なお、弾性部９１を構成する３つの板状部材９１ａ，９１ｂ，９１ｃのうち、中央の１つの板状部材９１ｂの下面（−Ｚ側の面）が、レンズ保持部８３に接合されることで、レンズ保持部８３が、弾性部７１と弾性部９１とによって挟持される。
【００４３】
○保護層ＣＢ：
図４(ｄ)で示すように、保護層ＣＢは、盤面が略正方形の板状の透明部材であり、例えば、樹脂やガラスなどによって構成される。そして、保護層ＣＢの外周部の−Ｚ側の面が隣接する平行バネ上層９０（具体的には、枠部Ｆ９）と接合される。保護層ＣＢの外周部は、例えば、外周に沿って凸形状を持つ構造にして、凸形状の上端面で接合するようにしても良い。
【００４４】
＜２−２．アクチュエータ層の詳細な構成＞
図５および図６は、アクチュエータ層６０の詳細な構成を説明するための図である。図５および図６では、各層１０〜９０，ＣＢを＋Ｚ方向から見た平面図を示した図３および図４とは異なり、アクチュエータ層６０を構成する各部を−Ｚ方向から見た平面図が示されている。
【００４５】
アクチュエータ層６０は、図５(ａ)で示す固定枠層６０１に対して、図５(ｂ)で示す発光層６０２、図６(ａ)で示す光拡散層６０３、および図６(ｂ)で示す光変位素子層６０４がこの順番で積層されて構成される。
【００４６】
固定枠層６０１は、例えば、適度な剛性を有する素材（例えば、シリコンやプラスチックスなど）で構成され、枠部Ｆ６１を備える。この枠部Ｆ６１は、Ｘ軸に対して平行に延設され且つ相互に対向する２辺を成す２枚の板状部材と、Ｙ軸に対して平行に延設され且つ相互に対向する２辺を成す２枚の板状部材とからなる４枚の板状部材がロの字型に配置されて形成される。そして、枠部Ｆ６１は、第２レンズ層５０および平行バネ下層７０に対して接合されて固定される部分である。
【００４７】
発光層６０２は、第１および第２板状部材６２１，６２２、および配線部６２１ａ，６２１ｂ，６２２ａ，６２２ｂ，６２３ａ，６２３ｂを備えて構成される。
【００４８】
第１および第２板状部材６２１，６２２は、Ｙ軸に略平行な一方向に延設される板状の部分である。そして、枠部Ｆ６１を構成する４枚の板状部材のうちの１枚の板状部材（ここでは、−Ｙ側の板状部材）が形成する枠部Ｆ６１の内縁のうち、−Ｘ側の端部（一端）近傍の所定部（一方所定部）に第１板状部材６２１の一端が固設され、＋Ｘ側の端部（他端）近傍の所定部（他方所定部）に第２板状部材６２２の一端が固設される。つまり、第１および第２板状部材６２１，６２２の各一端が枠部Ｆ６１に対して固定された端部（固定端）となり、第１および第２板状部材６２１，６２２の各他端が枠部Ｆ６１に対する相対的な位置が自由に変更される端部（自由端）となっている。
【００４９】
第１および第２板状部材６２１，６２２は、同様な構成を有し、該第１および第２板状部材６２１，６２２では、それぞれ−Ｚ方向から見て、第１波長の光（第１波長光）を発する第１発光部６１Ｕと、第２波長の光（第２波長光）を発する第２発光部６１Ｖとが市松模様を形成するように配列されている。第１および第２発光部６１Ｕ，６１Ｖは、有機ＥＬ（Organic Electro-Luminescence）素子などの発光素子によって構成され、第１および第２板状部材６２１，６２２は、複数の第１および第２発光部６１Ｕ，６１Ｖがそれぞれ柔軟性を有するシート上に形成されて構成される。例えば、柔軟性を有する樹脂材料のシート上に有機ＥＬ素子が形成されるような態様が考えられる。
【００５０】
また、光変位素子層６０４を構成する素材の特性に応じて、有機ＥＬ素子を構成する材料を適宜設定することで、第１および第２波長が設定される。ここでは、例えば、第１波長が、紫外光の波長範囲に含まれる３５０ｎｍ付近に設定され、第２波長が、可視光線の波長範囲に含まれる５４０ｎｍ付近に設定される。
【００５１】
配線部６２１ａは、第１板状部材６２１に対して電気的に接続され、第１板状部材６２１内に配設される配線を介して各第１発光部６１Ｕに対して電気的に接続される。配線部６２１ｂは、第１板状部材６２１に対して電気的に接続され、第１板状部材６２１内に配設される配線を介して各第２発光部６１Ｖに対して電気的に接続される。配線部６２２ａは、第２板状部材６２２に対して電気的に接続され、第２板状部材６２２内に配設される配線を介して各第１発光部６１Ｕに対して電気的に接続される。配線部６２２ｂは、第２板状部材６２２に対して電気的に接続され、第２板状部材６２２内に配設される配線を介して各第２発光部６１Ｖに対して電気的に接続される。
【００５２】
また、配線部６２３ａは、第１板状部材６２１内に配設される第１発光部６１Ｕに対して電気的に接続される配線と、第２板状部材６２２内に配設される第１発光部６１Ｕに対して電気的に接続される配線とを電気的に接続する。配線部６２３ｂは、第１板状部材６２１内に配設される第２発光部６１Ｖに対して電気的に接続される配線と、第２板状部材６２２内に配設される第２発光部６１Ｖに対して電気的に接続される配線とを電気的に接続する。そして、配線部６２１ａ，６２１ｂ，６２２ａ，６２２ｂに対して、適宜電圧が印加されることで、第１および第２発光部６１Ｕ，６１Ｖが発光する。
【００５３】
光拡散層６０３は、樹脂材料によって構成される第１および第２光拡散部６３１，６３２を備える。第１光拡散部６３１は、第１板状部材６２１の−Ｚ側の面のうちの−Ｙ側の端部近傍を除く略全面を覆うように形成された膜状の部分となっており、第２光拡散部６３２は、第２板状部材６２２の−Ｚ側の面のうちの−Ｙ側の端部近傍を除く略全面を覆うように形成された膜状の部分となっている。この第１および第２光拡散部６３１，６３２は、例えば、樹脂材料の内部に空房、もしくは添加物を内包しており、第１および第２発光部６１Ｕ，６１Ｖから射出される第１および第２波長光を、空房もしくは添加物によって屈折あるいは反射させることで拡散させる。ここで、第１および第２光拡散部６３１，６３２に添加物が内包される場合には、該添加物が基材である樹脂とは異なった屈折率を持つようにすれば良い。なお、第１および第２光拡散部６３１，６３２は、樹脂材料の表面が荒らされて磨りガラス状に仕上げられることで形成されて、第１および第２波長光を拡散するようにしても良い。
【００５４】
光変位素子層６０４は、第１および第２光変位素子部６４１，６４２を備える。第１光変位素子部６４１は、第１光拡散部６３１の−Ｚ側の略全面を覆うように形成された膜状の部分となっており、第２光変位素子部６４２は、第２光拡散部６３２の−Ｚ側の略全面を覆うように形成された膜状の部分となっている。つまり、第１光変位素子部６４１が、第１板状部材６２１上に第１光拡散部６３１が形成されて構成される板状部材の一方主面上において該板状部材と一体的に形成され、第２光変位素子部６４２が、第２板状部材６２２上に第２光拡散部６３２が形成されて構成される板状部材の一方主面上において該板状部材と一体的に形成されている。
【００５５】
そして、第１および第２光変位素子部６４１，６４２は、光を吸収することで伸縮する材料（例えば、フォトクロミック材料）によってそれぞれ構成される。具体的には、第１および第２光変位素子部６４１，６４２は、第１発光部６１Ｕから射出される第１波長光の照射に応じて延設方向（Ｙ軸に沿った方向、すなわちＹ軸方向）に伸び、第２発光部６１Ｖから射出される第２波長光の照射に応じて延設方向（Ｙ軸方向）に縮む。ここでは、フォトクロミック材料として、ジアリールエテンが採用される。
【００５６】
なお、フォトクロミック材料は、結晶の異方性によって伸縮する方向が決まる。このため、本実施形態では、第１および第２光変位素子部６４１，６４２の延設方向（Ｙ軸方向）に該第１および第２光変位素子部６４１，６４２が伸縮するように、フォトクロミック材料の結晶方位が制御されている。
【００５７】
ここで、第１板状部材６２１上に第１光拡散部６３１が形成されて構成される部分は、第１可動部６１のベース部材（第１ベース部材）６１Ｂ（図７）としての役割を有し、第２板状部材６２２上に第２光拡散部６３２が形成されて構成される部分は、第２可動部６２のベース部材（第２ベース部材）６２Ｂ（図７）としての役割を有する。そして、これらの各ベース部材６１Ｂ，６２Ｂは、柔軟性を有しながらも比較的高い弾性率を有し、延設方向（Ｙ軸方向）には基本的に伸縮しないように構成される。これに対して、第１および第２光変位素子部６４１，６４２は、第１および第２波長光の照射に応じて伸縮する。このため、第１および第２ベース部材６１Ｂ，６２Ｂと第１および第２光変位素子部６４１，６４２との伸縮量の差によって、第１および第２可動部６１，６２が曲がることで、第１および第２可動部６１，６２の各自由端がＺ軸に沿った方向（Ｚ軸方向）に変位する。但し、仮に、各ベース部材６１Ｂ，６２Ｂの弾性率が低ければ、第１および第２光変位素子部６４１，６４２の伸縮に同調して、各ベース部材６１Ｂ，６２Ｂも伸縮するため、第１および第２可動部６１，６２が曲がらず、第１および第２可動部６１，６２の各自由端がＺ軸方向に変位しない。
【００５８】
＜２−３．アクチュエータ層の動作＞
図７は、アクチュエータ層６０に電圧を印加するための電気回路を例示する図である。図７で示すように、配線部６２１ａには配線Ｃ１ａが電気的に接続され、配線部６２１ｂには配線Ｃ１ｂが電気的に接続され、該配線Ｃ１ａ，Ｃ１ｂはそれぞれ配線Ｃ３を介して電源Ｐｓの負極に対して電気的に接続される。そして、配線Ｃ４の一端が電源Ｐｓの正極に対して電気的に接続され、該配線Ｃ４の他端がスイッチＳｗの第１端子Ｔａに対して電気的に接続される。また、配線Ｃ２ａの一端が配線部６２２ａに対して電気的に接続され、該配線Ｃ２ａの他端がスイッチＳｗの第２端子Ｔｂに対して電気的に接続される。また、配線Ｃ２ｂの一端が配線部６２２ｂに対して電気的に接続され、該配線Ｃ２ｂの他端がスイッチＳｗの第３端子Ｔｃに対して電気的に接続される。したがって、スイッチＳｗの第１端子Ｔａと第２端子Ｔｂとが電気的に接続される場合には、各第１発光部６１Ｕに対して電圧が印加され、該各第１発光部６１Ｕが第１波長光を射出する。一方、スイッチＳｗの第１端子Ｔａと第３端子Ｔｃとが電気的に接続される場合には、各第２発光部６１Ｖに対して電圧が印加され、該各第２発光部６１Ｖが第２波長光を射出する。
【００５９】
ここで、第１および第２可動部６１，６２の動作について説明する。図８および図９は、第１および第２可動部６１，６２の動作を説明するための図である。図８は、図３(ｆ)と同様に、アクチュエータ層６０の構成を示す平面図であり、図９(ａ)，(ｂ)は、可動部６２に着目して、図８の切断面線IX−IXから見た断面模式図である。
【００６０】
図９(ａ)では、第１および第２可動部６１，６２が変形していない状態（初期状態）が示されている。初期状態では、第１および第２光変位素子部６４１，６４２に対して第１波長光が照射されておらず、固定枠層６０１の第１および第２板状部材６２１，６２２と第１および第２光拡散部６３１，６３２によって構成される各ベース部材６１Ｂ，６２Ｂの弾性力によって第１および第２光変位素子部６４１，６４２が平坦な状態とされ、第１および第２可動部６１，６２がほぼ平坦な形状を呈する。
【００６１】
図９(ａ)で示した初期状態から、スイッチＳｗの第１端子Ｔａと第２端子Ｔｂとが電気的に接続されると、各第１発光部６１Ｕから第１波長光（ここでは、紫外光）が射出される。このとき、該第１波長光は、第１および第２光拡散部６３１，６３２で拡散されて、第１および第２光変位素子部６４１，６４２に対してそれぞれ略均一に照射される。そして、第１および第２光変位素子部６４１，６４２が延設方向（Ｙ方向）にそれぞれ伸びる。ここでは、第１および第２ベース部材６１Ｂ，６２Ｂが、伸縮し難い弾性力の高い材料で構成されているため、第１および第２光変位素子部６４１，６４２の延設距離と、第１および第２ベース部材６１Ｂ，６２Ｂの延設距離との差が大きくなる。その結果、図９(ｂ)で示すように、枠部Ｆ６に対する第１および第２可動部６１，６２の自由端の相対的な位置が、上方（＋Ｚ方向）にシフトするように、第１および第２可動部６１，６２が変形する。
【００６２】
なお、ここで、第１端子Ｔａが第２および第３端子Ｔｂ，Ｔｃの何れとも電気的に接続されていないＯＦＦ状態にスイッチＳｗが設定されると、第１発光部６１Ｕからの第１波長光の射出が停止される。このとき、特定波長の光、もしくは熱エネルギーなどの影響を受けない限り、第１および第２光変位素子部６４１，６４２の延設距離、ひいては第１および第２可動部６１，６２が変形が保持される。
【００６３】
続いて、スイッチＳｗの第１端子Ｔａと第３端子Ｔｃとが電気的に接続されると、各第２発光部６１Ｖから第２波長光（ここでは、可視光線）が射出される。このとき、該第２波長光は、第１および第２光拡散部６３１，６３２で拡散されて、第１および第２光変位素子部６４１，６４２に対してそれぞれ略均一に照射される。そして、第１および第２光変位素子部６４１，６４２が延設方向（Ｙ方向）にそれぞれ縮み、第１および第２光変位素子部６４１，６４２の延設距離が、図９(ａ)で示した初期状態に戻る。このとき、第１および第２光変位素子部６４１，６４２の延設距離と、第１および第２ベース部材６１Ｂ，６２Ｂの延設距離との差が縮まる。その結果、第１および第２可動部６１，６２が変形していない図９(ａ)で示した初期状態に戻る。
【００６４】
このような第１および第２可動部６１，６２の自由端が、第１波長光の照射に応じて変位することと、第２波長光の照射に応じて初期状態へ戻ることとが、適宜繰り返されることで、アクチュエータ層６０が、レンズ部８１をＺ軸方向に移動させるアクチュエータとして機能する。
【００６５】
＜２−４．カメラモジュールの完成型の構造＞
図１０および図１１は、カメラモジュール４００の構造を例示する図である。具体的には、図１０は、カメラモジュール４００を保護層ＣＢ側（上方）から見た平面図であり、図１１は、図１０の切断面線XI−XIから見た断面模式図である。なお、図１０および図１１では、アクチュエータ層６０の配線部６２１ａ，６２１ｂ，６２２ａ，６２２ｂに対して外部から電気的に接続される配線Ｃ１ａ，Ｃ１ｂ，Ｃ２ａ，Ｃ２ｂ，Ｃ３，Ｃ４、スイッチＳｗ、および電源Ｐｓについては図示が省略されている。
【００６６】
図１１で示すように、撮像素子層１０、撮像センサホルダ層２０、赤外カットフィルタ層３０、第１レンズ層４０、第２レンズ層５０、アクチュエータ層６０、平行バネ下層７０、第３レンズ層８０、平行バネ上層９０、および保護層ＣＢの１０層がこの順番で積層されてカメラモジュール４００が形成されている。なお、このカメラモジュール４００は、例えば、微細装置の集積化のために使用されるマイクロマシニング(micromachining)技法により製作される。この技法は、半導体加工技術の一種として、一般にＭＥＭＳ(Micro Electro Mechanical Systems)と称される。なお、ＭＥＭＳという加工技術の名称が使用される分野としては、半導体工程、特に、集積回路技術を応用したマイクロマシニング技術を利用してサイズがμｍオーダーのマイクロセンサ、アクチュエータ、および電気機械的構造物を製作する分野が含まれる。
【００６７】
＜２−５．レンズ部の駆動の態様＞
図１２および図１３は、第３レンズ層８０に含まれるレンズ部８１の駆動態様を説明するための図である。図１２および図１３では、レンズ部８１と弾性部７１，９１の状態を側方から見た模式図が示されている。なお、実際にはレンズ保持部８３を弾性部７１，９１が挟持しているが、図１２および図１３では、説明の簡略化のために、弾性部７１，９１がレンズ部８１を点Ｐｕ，Ｐｄで保持しているように示されている。また、図１２では、弾性部７１，９１が変形していない状態（初期状態）が示され、図１３では、弾性部７１，９１が変形している状態（変形状態）が示されている。
【００６８】
上述したように、弾性部７１，９１は、ともに同様な構成を有し、それぞれ同様に枠部Ｆ７，Ｆ９に対して２箇所で固設される。そして、第１および第２可動部６１，６２の変形により、板状部材７１ｂが上昇するように弾性部７１が変形する際には、レンズ部８１を介して弾性部９１も同様に変形する。このとき、レンズ部８１が、所定距離離隔して並設される板状部材７１ａ，９１ａおよび板状部材７１ｃ，９１ｃによって挟持された状態と同視することができ、板状部材７１ａ，９１ａおよび板状部材７１ｃ，９１ｃが略同一のタイミングで略同一の変形を行う。このため、レンズ部８１は、光軸が傾くことなく、上下方向（ここでは、Ｚ軸方向）に移動する。すなわち、レンズ部８１の光軸の方向がずれることなく、レンズ部８１と撮像素子部１１との距離が変更される。その結果、撮像素子部１１とレンズ部８１との距離が変更され、焦点調整が実行される。
【００６９】
＜３．カメラモジュールの製造工程＞
図１４は、カメラモジュール４００の製造工程の手順を例示するフローチャートである。図１４で示すように、(工程Ａ)複数のシートの準備（ステップＳ１）、(工程Ｂ)複数のシートの接合（ステップＳ２）、(工程Ｃ)ダイシング（ステップＳ３）、(工程Ｄ)光軸の偏芯の検査（ステップＳ４）、および(工程Ｅ)撮像素子層の結合（ステップＳ５）が順次に行われることで、カメラモジュール４００が製造される。以下、各工程について簡単に説明する。
【００７０】
○複数のシートの準備（工程Ａ）：
図１５および図１６は、準備する１０枚のシートＵ２〜Ｕ９，ＵＣＢの構成例を示す平面図である。ここでは、各シートＵ２〜Ｕ９，ＵＣＢが、円盤状である例を示して説明する。
【００７１】
図１５(ａ)は、図３(ｂ)で示した撮像センサホルダ層２０に相当するチップが所定配列（ここでは、マトリックス状の所定配列）で多数形成されたシート（撮像センサホルダシート）Ｕ２を例示する図である。この撮像センサホルダシートＵ２は、例えば、樹脂材料を素材として、金属金型を用いたプレス加工によって製作される。
【００７２】
図１５(ｂ)は、図３(ｃ)で示した赤外カットフィルタ層３０に相当するチップが所定配列（ここでは、マトリックス状の所定配列）で多数配列されたシート（赤外カットフィルタシート）Ｕ３を例示する図である。この赤外カットフィルタシートＵ３は、例えば、透明基板上に屈折率の異なる透明薄膜を多層化することで製作される。具体的には、まず、フィルタの基板となるガラスあるいは透明樹脂の基板を用意し、該基板の上面に屈折率の異なる透明薄膜をスパッタリングや蒸着などの手法によって多数積層させることで製作される。なお、透明薄膜の厚みや屈折率の組合せを適宜変更することで、透過する光の波長帯が設定される。ここでは、例えば、６００ｎｍ以上の波長帯の光を透過させないように設定することで、赤外光が遮断される。
【００７３】
図１５(ｃ)は、図３(ｄ)で示した第１レンズ層４０に相当するチップが所定配列（ここでは、マトリックス状の所定配列）で多数形成されたシート（第１レンズシート）Ｕ４を例示する図であり、図１５(ｄ)は、図３(ｅ)で示した第２レンズ層５０に相当するチップが所定配列（ここでは、マトリックス状の所定配列）で多数形成されたシート（第２レンズシート）Ｕ５を例示する図である。第１および第２レンズシートＵ４，Ｕ５は、例えば、フェノール系の樹脂、アクリル系の樹脂、または光学ガラスを素材として、成型またはエッチングなどの手法で製作される。なお、カメラモジュール４００に絞りを形成する場合は、例えば、第２レンズ層５０などに、シャドウマスクを用いて遮光材料の薄膜を形成したり、別途黒色に色づけされた樹脂材料などで絞りを形成したりすれば良い。
【００７４】
図１５(ｅ)は、図３(ｆ)で示したアクチュエータ層６０に相当するチップが所定配列（ここでは、マトリックス状の所定配列）で多数形成されたシート（アクチュエータシート）Ｕ６を例示する図である。アクチュエータシートＵ６は、例えば、シリコンやプラスチックスなどの基板のエッチングによって、固定枠層６０１が形成された上に、発光層６０２と光拡散層６０３と光変位素子層６０４とがこの順番で積層されて製作される。例えば、固定枠層６０１と、発光層６０２の第１および第２板状部材６２１，６２２のベースとなるシートとが一体的に構成され、該シートに対して、第１および第２発光部６１Ｕ，６１Ｖが蒸着やエッチングなどによって形成されて、第１および第２板状部材６２１，６２２が形成される。そして、第１および第２板状部材６２１，６２２と、第１および第２光拡散部６３１，６３２と、第１および第２光変位素子部６４１，６４２とが、接着や圧着などの手法によってそれぞれ張り合わされる。
【００７５】
なお、第１および第２板状部材６２１，６２２上に、蒸着やスパッタリングなどの手法によって、第１および第２光拡散部６３１，６３２と、第１および第２光変位素子部６４１，６４２とがこの順でそれぞれ形成されても良い。また、第１および第２光拡散部６３１，６３２については、第１および第２板状部材６２１，６２２上に、第１および第２光拡散部６３１，６３２用の層が形成された後に、その表面が荒らされて磨りガラス状にされて、第１および第２光拡散部６３１，６３２が形成されても良い。配線部６２１ａ，６２１ｂ，６２２ａ，６２２ｂ，６２３ａ，６２３ｂについては、例えば、スパッタリング法（または蒸着法）を用いて形成すれば良い。但し、配線部６２１ａ，６２１ｂ，６２２ａ，６２２ｂ，６２３ａ，６２３ｂに対して、配線Ｃ１ａ，Ｃ１ｂ，Ｃ２ａ，Ｃ２ｂを接続し易くするために、配線部６２１ａ，６２１ｂ，６２２ａ，６２２ｂ，６２３ａ，６２３ｂの端部に適宜端子部を設けることが好ましい。
【００７６】
図１５(ｆ)は、図４(ａ)で示した平行バネ下層７０に相当するチップが所定配列（ここでは、マトリックス状の所定配列）で多数形成されたシート（平行バネ下シート）Ｕ７を例示する図であり、図１６(ｂ)は、図４(ｃ)で示した平行バネ上層９０に相当するチップが所定配列（ここでは、マトリックス状の所定配列）で多数形成されたシート（平行バネ上シート）Ｕ９を例示する図である。平行バネ下シートＵ７および平行バネ上シートＵ９は、りん青銅などの金属材料の薄板に対して、例えばエッチングなどを施すことで製作される。
【００７７】
図１６(ａ)は、図４(ｂ)で示した第３レンズ層８０に相当するチップが所定配列（ここでは、マトリックス状の所定配列）で多数形成されたシート（第３レンズシート）Ｕ８を例示する図である。第３レンズシートＵ８は、例えば、フェノール系の樹脂、アクリル系の樹脂、または光学ガラスを素材として、成型およびエッチングなどの手法で製作される。第３レンズシートＵ８では、各チップにおいて、枠部Ｆ８と、レンズ部８１と、レンズ保持部８３とが樹脂などの同一素材によって一体的に形成される。また、図４(ｂ)で示したように、２本の連結部により、レンズ部８１を保持するレンズ保持部８３と、枠部Ｆ８とが連結されて、レンズ部８１が支持された状態となっている。なお、第３レンズ層８０がカメラモジュール４００に適用されることを考慮すると、第３レンズ層８０のうちのレンズ部８１以外の部分は、光を遮断することが好ましい。したがって、例えば、枠部Ｆ８、レンズ保持部８３、および連結部のうちの少なくとも一部分が、遮光部材を含んで一体的に形成されれば、光学系の製造の簡略化、ひいてはカメラモジュール４００の製造の簡略化が図られる。
【００７８】
図１６(ｃ)は、図４(ｄ)で示した保護層ＣＢに相当するチップが所定配列（ここでは、マトリックス状の所定配列）で多数形成されたシート（保護シート）ＵＣＢを例示する図である。保護シートＵＣＢは、例えば、透明の材料である樹脂（またはガラス）を所望の厚みとし、適宜エッチングを施すことで製作された平板状のシートである。
【００７９】
なお、ここで準備される１０枚のシートＵ２〜Ｕ９，ＵＣＢには、シートの接合工程における位置合わせのためのマーク（アライメントマーク）が、略同一の位置に付される。アライメントマークとしては、例えば、十字などのマークなどが挙げられ、各シートＵ２〜Ｕ９，ＵＣＢの上面の外周部近傍であって比較的離隔した２箇所以上の位置に設けられることが好ましい。
【００８０】
○複数のシートの接合（工程Ｂ）：
図１７は、複数のシートＵ２〜Ｕ９，ＵＣＢを順次に積層させて接合する工程を模式的に示す図である。
【００８１】
まず、撮像センサホルダシートＵ２、赤外カットフィルタシートＵ３、第１レンズシートＵ４、および第２レンズシートＵ５について、シートＵ２〜Ｕ５の各チップが、それぞれ直上に積層されるように、シート形状のまま位置合わせ（アライメント）が行われる。なお、レンズ部４１，５１，８１によって形成される光学系の精度を保つためには、３つのレンズ部４１，５１，８１の光軸のズレ量（すなわち偏芯精度）が５μｍ以内であることが望ましい。
【００８２】
具体的には、公知のアライナー装置に、まず、撮像センサホルダシートＵ２および赤外カットフィルタシートＵ３がセットされ、予め形成しておいたアライメントマークを用いたアライメントが行われる。この際、事前に、撮像センサホルダシートＵ２と赤外カットフィルタシートＵ３とが接合される面（接合面）に、いわゆるエポキシ樹脂系の接着剤、または紫外線硬化接着剤が塗布されており、両シートＵ２，Ｕ３が接合される。なお、接合面にＯ２プラズマを照射することで、接合面を活性化して、両シートＵ２，Ｕ３を直接接合する方法を用いても良い。但し、複数の層を短時間で簡単に接合して、カメラモジュール４００の生産性の向上と製造コストの低減とを図ることを考慮すれば、上記樹脂の接着剤を用いる方が好ましい。
【００８３】
続いて、上記と同様なアライメントならびに接合方法により、赤外カットフィルタシートＵ３上に第１レンズシートＵ４が接合され、更に、第１レンズシートＵ４上に第２レンズシートＵ５が接合される。
【００８４】
次に、４つのシートＵ２〜Ｕ５が積層されて形成された積層体の上面に対して、アクチュエータシートＵ６、平行バネ下シートＵ７、第３レンズシートＵ８、および平行バネ上シートＵ９がこの順番で積層および接合される。アライメントならびに接合方法については、上述したシートＵ２，Ｕ３に係る手法と同様であり、このとき、シートＵ２〜Ｕ９の各チップが、それぞれ直上に積層される。ここでは、例えば、第３レンズシートＵ８の枠部Ｆ８に相当する部分が、平行バネ下シートＵ７および平行バネ上シートＵ９と接合される。
【００８５】
また、この際、第３レンズシートＵ８のレンズ部８１が、平行バネ下シートＵ７の弾性部７１を介して、アクチュエータシートＵ６の第１および第２可動部６１，６２によって支持された状態となる。また、シートＵ７〜Ｕ９が積層されて結合されることで、レンズ保持部８３が上下面から弾性部７１，９１によって挟持され、弾性部７１，９１によってレンズ部８１が支持された状態となる。このとき、第３レンズシートＵ８の各チップにおいて、枠部Ｆ８とレンズ部８１とをレンズ保持部８３を介して連結する連結部がいわゆるフェムト秒レーザなどによって切断され、枠部Ｆ８とレンズ部８１とが分離される。なお、ここでは、各連結部が枠部Ｆ８側の一部分８４ａ，８４ｂ（図４(ｂ)の太破線部）で切断される。
【００８６】
このように、複数のチップが形成されたシートの状態で、各チップのレンズ部８１が弾性部７１，９１によって支持された後に、レンズ部８１が移動可能な状態とされる。このため、レンズ部８１と第１および第２可動部６１，６２との位置合わせを精度良く行うことができる。すなわち、例えば、各光学ユニット（後述）におけるレンズ部の光軸の偏芯などを防ぐことが可能となる。
【００８７】
最後に、平行バネ上シートＵ９の上面に対して、保護シートＵＣＢが、上述した手法と同様な方法で、アライメントされて接合される。このとき、９つのシートＵ２〜Ｕ９，ＵＣＢが積層した部材（積層部材）が形成される。
【００８８】
○ダイシング（工程Ｃ）：
９つのシートＵ２〜Ｕ９，ＵＣＢが積層された形成された積層部材が、ダイシング装置によってチップ毎に切り離されて、９つの層２０〜９０，ＣＢが積層された光学系のユニット（光学ユニット）が多数生成される。
【００８９】
○光軸の偏芯の検査（工程Ｄ）：
上記ダイシングによって生成された多数の光学ユニットについて、レンズ偏芯測定機によって、３つのレンズ部４１，５１，８１の光軸のズレ量（すなわち偏芯）が所定の許容値域範囲（例えば、５μｍ以内）に入っているのか否か検査される。一般に、カメラモジュール４００を構成する部品のうち、最も高価となるのは撮像素子層１０である。そして、光軸の偏芯が所定の許容値域範囲から外れたカメラモジュール４００は、不良品として扱われる。このため、光学ユニットの段階で不良品と良品とが選別され、良品に対してのみ撮像素子層１０を取り付けられることで、カメラモジュール４００の製造コストならびに資源の無駄使いの低減が図られる。
【００９０】
○撮像素子層の結合（工程Ｅ）：
光軸の偏芯の検査によって良品であると判別された各光学ユニットの下面（具体的には、撮像センサホルダ層２０の裏面）に対して、撮像素子層１０のチップが、いわゆるエポキシ樹脂系の接着剤、または紫外線硬化接着剤を用いた接合によって取り付けられて、カメラモジュール４００が完成される。このとき、各カメラモジュール４００のアクチュエータ層６０の配線部６２１ａ，６２１ｂ，６２２ａ，６２２ｂに対して、配線Ｃ１ａ，Ｃ１ｂ，Ｃ２ａ，Ｃ２ｂ，Ｃ３，Ｃ４、スイッチＳｗ、および電源Ｐｓが外部から電気的に接続される。
【００９１】
以上のように、本発明の実施形態に係るカメラモジュール４００では、アクチュエータ層６０において、第１および第２波長光の照射による第１および第２光変位素子部６４１，６４２の伸縮に応じて第１および第２可動部６１，６２の自由端が変位する。この構成では、小型の構成で大きな駆動力を発生させることができる。そして、この大きな駆動力で光学レンズであるレンズ部８１を移動させることができる。さらに、第１および第２発光部６１Ｕ，６１Ｖが有機ＥＬ素子によって構成されているため、第１および第２可動部６１，６２の曲げに対する抵抗が抑制され、駆動力の低下を招かない。
【００９２】
また、カメラモジュール４００を構成する各層１０〜９０，ＣＢは、各外周部で接着剤によってそれぞれ接合されているため、第１および第２可動部６１，６２、弾性部７１，９１、レンズ部８１、およびレンズ保持部８３を含む内部構成は、密閉された状態になる。したがって、駆動機構が非常に小さな隙間を有して構成されているが、例えば、クリーンルーム内でカメラモジュール４００の組み立てを行うと、撮像素子部１１と保護層ＳＢと各層の外周部によって作られる空間へのゴミの進入が防がれ、密封により駆動機構の動作精度が高まる。また、密封により、空気の対流も防止されるため、駆動機構に対する負荷のバラツキも低減される。
【００９３】
＜４．変形例＞
本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
【００９４】
◎例えば、上記実施形態では、第１および第２可動部６１，６２に対して第１および第２波長光を射出する第１および第２発光部６１Ｕ，６１Ｖが設けられたが、これに限られない。例えば、アクチュエータ層６０に隣接する第２レンズ層５０など、その他の層に第１および第２発光部６１Ｕ，６１Ｖが設けられても良い。但し、第１および第２可動部６１，６２に対して第１および第２波長光を射出する第１および第２発光部６１Ｕ，６１Ｖが設けられている方が、第１および第２可動部６１，６２の外部に発光部を設ける必要性がなくなり、第１および第２可動部６１，６２の配置の自由度が高まる。
【００９５】
◎また、上記実施形態では、第１および第２発光部６１Ｕ，６１Ｖが、有機ＥＬ素子によって構成され、柔軟性を有するシート上に配列されたが、これに限られない。例えば、柔軟性を有する樹脂製のシート上に、第１および第２波長光をそれぞれ射出する無機材料によって構成される発光ダイオード（ＬＥＤ）のチップが市松模様を形成するように貼り付けられても良い。なお、ＬＥＤのチップが樹脂製のシート上に貼り付けられる構成では、該貼り付けに用いられる接着剤も硬化後にある程度柔軟性を有することが好ましい。
【００９６】
◎また、上記実施形態では、アクチュエータ層６０の配線部６２１ａ，６２１ｂ，６２２ａ，６２２ｂに対して、配線Ｃ１ａ，Ｃ１ｂ，Ｃ２ａ，Ｃ２ｂ，Ｃ３，Ｃ４、スイッチＳｗ、および電源Ｐｓが外部から電気的に接続されたが、これに限られない。例えば、撮像素子層１０、撮像センサホルダ層２０、赤外カットフィルタ層３０、第１レンズ層４０、および第２レンズ層５０の各外周部を貫通し、且つアクチュエータ層６０の第１および第２板状部材６２１，６２２まで至る微小な孔（貫通孔）が複数個設けられ、該複数の貫通孔に導電性を有する素材（導電材料）が充填されることで、配線部６２１ａ，６２１ｂ，６２２ａ，６２２ｂに代わる複数の配線が形成され、該複数の配線に対して、配線Ｃ１ａ，Ｃ１ｂ，Ｃ２ａ，Ｃ２ｂ，Ｃ３，Ｃ４、スイッチＳｗ、および電源Ｐｓが外部から電気的に接続されるようにしても良い。
【００９７】
◎また、上記実施形態では、フォトクロミック材料として、ジアリールエテンが採用されたが、これに限られない。例えば、アゾベンゼンなどの他のフォトクロミック材料が採用されても良い。但し、ジアリールエテンの方が、第１および第２波長光の照射開始から第１および第２光変位素子部６４１，６４２が伸縮するまでに要する時間が短い、いわゆる応答性が優れている面で好ましい。そして、光の照射に対する伸縮の応答性が高まれば、所望のタイミングで駆動力を発生させることができる。
【００９８】
◎また、上記実施形態では、アクチュエータ層６０において、２枚の第１および第２可動部６１，６２が設けられたが、これに限られず、少なくとも、第１および第２可動部６１，６２のうちの一方が設けられれば良い。
【００９９】
◎また、上記実施形態では、弾性部７１，９１がそれぞれ枠部Ｆ７，Ｆ９の２箇所に固設されたが、これに限られず、種々の構成を採用しても良い。但し、上述の如くレンズ部８１の光軸を傾けることなく、レンズ部８１を移動させるためには、弾性部７１，９１がそれぞれ枠部Ｆ７，Ｆ９の２箇所以上で固設されることが好ましい。また、弾性部７１，９１の態様としては、例えば、弾性部７１，９１をそれぞれ中央部分で２分割して、２分割された弾性部７１の一方および他方の一端を枠部Ｆ７にそれぞれ固設することで合計２箇所に固設するとともに、２分割された弾性部９１の一方および他方の一端を枠部Ｆ９にそれぞれ固設することで合計２箇所に固設するような構成も考えられる。
【０１００】
◎また、上記実施形態では、第１および第２可動部６１，６２によって移動される対象物（移動対象物）が、オートフォーカス装置を構成する光学レンズであったが、これに限られない。例えば、移動対象物は、手振れ補正機構を構成する光学レンズや光ピックアップ装置を構成する光学レンズなど、その他の光学レンズであっても良いし、更に、光学レンズ以外の種々の小型の移動対象物であっても良い。つまり、本発明は、移動対象物を移動させるアクチュエータ一般に適用することができる。なお、手振れ補正機構としては、例えば、第１および第２可動部の動きにより、移動対象物である光学レンズが上下左右に２次元的に駆動する構成を挙げることができる。
【０１０１】
ここで、本発明を適用して製造されたアクチュエータを含む具体例について簡単に説明する。図１８は、対物レンズ５０５を移動させるアクチュエータを含む光ピックアップ装置７００の構成例を示す断面模式図である。
【０１０２】
光ピックアップ装置７００は、光源７０１から射出される光ビームを光ディスク７０６の情報記録面７０７に集光させ、該情報記録面７０７で反射される光ビームを受光素子７０８で受光して、情報を読み取るものである。そして、この光ピックアップ装置７００では、情報記録面７０７の形状に合わせて、光ビームのフォーカス位置を調節する必要がある。そこで、本具体例に係る光ピックアップ装置７００には、上記実施形態に係るアクチュエータ層６０、平行バネ下層７０、および平行バネ上層９０を用いて対物レンズ７０５を駆動することで光ビームの焦点を調節する駆動装置が搭載されている。
【０１０３】
図１８で示すように、光源７０１から射出された光ビームは、ビームスプリッター７０２を透過し、コリメータレンズ７０３で略平行光とされ、反射プリズム７０４にて反射されて、対物レンズ７０５に入射する。そして、対物レンズ７０５を保持する部分が、平行バネ下層７０の弾性部７１と、平行バネ上層９０の弾性部９１とによって挟持され、弾性部７１の下面にアクチュエータ層６０の第１および第２可動部６１，６２が当接されている。このため、第１および第２可動部６１，６２の変形により、弾性部７１の押し上げ、ならびに弾性部７１の弾性力による押し下げが生じ、対物レンズ７０５が光軸に沿って上下に駆動可能とされている。また、対物レンズ７０５で屈折された光は、光ディスク７０６に入射し、情報記録面７０７に集光される。そして、情報記録面７０７で反射された光は、入射してきた光路を逆に辿り、ビームスプリッター７０２で反射されて受光素子７０８に至る。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】本発明の実施形態に係るカメラモジュールを搭載した携帯電話機の概略構成を例示する模式図である。
【図２】カメラモジュールの構成例を模式的に示す分解斜視図である。
【図３】カメラモジュールを構成する各層の構成例をそれぞれ示す平面図である。
【図４】カメラモジュールを構成する各層の構成例をそれぞれ示す平面図である。
【図５】アクチュエータ層の詳細な構成を説明するための図である。
【図６】アクチュエータ層の詳細な構成を説明するための図である。
【図７】アクチュエータ層に電圧を印加するための電気回路を例示する図である。
【図８】可動部の動作を説明するための図である。
【図９】可動部の動作を説明するための図である。
【図１０】カメラモジュールの構造を示す図である。
【図１１】カメラモジュールの構造を示す図である。
【図１２】第３レンズ層に含まれるレンズ部の駆動態様を説明するための図である。
【図１３】第３レンズ層に含まれるレンズ部の駆動態様を説明するための図である。
【図１４】カメラモジュールの製造工程の手順を例示するフローチャートである。
【図１５】準備するシートの構成例を示す平面図である。
【図１６】準備するシートの構成例を示す平面図である。
【図１７】複数のシートを順次に積層させて接合する工程を模式的に示す図である。
【図１８】対物レンズを移動させるアクチュエータを含む光ピックアップ装置の構成例を示す断面模式図である。
【符号の説明】
【０１０５】
１０ 撮像素子層
１１ 撮像素子部
２０ 撮像センサホルダ層
３０ 赤外カットフィルタ層
４０ 第１レンズ層
４１，５１，８１ レンズ部
５０ 第２レンズ層
６０ アクチュエータ層
６１ 第１可動部
６１Ｂ 第１ベース部材
６１Ｕ 第１発光部
６１Ｖ 第２発光部
６２ 第２可動部
６２Ｂ 第２ベース部材
７０ 平行バネ下層
８０ 第３レンズ層
９０ 平行バネ上層
１００ 携帯電話機
４００ カメラモジュール
６０１ 固定枠層
６０２ 発光層
６０３ 光拡散層
６０４ 光変位素子層
６２１ 第１板状部材
６２２ 第２板状部材
６３１ 第１光拡散部
６３２ 第２光拡散部
６４１ 第１光変位素子部
６４２ 第２光変位素子部
７００ 光ピックアップ装置
ＣＢ 保護層
Ｆ６，Ｆ６１ 枠部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部と、
一端が前記固定部に固設され、且つ一方向に延設される板状の可動部と、
を備え、
前記可動部が、
一端が前記固定部に固設され、且つ前記一方向に延設される板状のベース部と、
前記ベース部の一方主面上において該ベース部と一体的に形成され、且つ第１の光の照射に応じて前記一方向に伸び、第２の光の照射に応じて前記一方向に縮む光変位部と、
を有することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載のアクチュエータであって、
前記ベース部が、
前記第１および第２の光をそれぞれ発する発光部を含むことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項３】
請求項２に記載のアクチュエータであって、
前記発光部が、
前記第１の光を発する第１の有機ＥＬ素子と、前記第２の光を発する第２の有機ＥＬ素子とを含むことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項４】
請求項１から請求項３の何れかに記載のアクチュエータであって、
前記光変位部が、
ジアリールエテンを用いて構成されることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１から請求項４の何れかに記載のアクチュエータと、
前記アクチュエータによって移動される光学レンズと、
を備えることを特徴とする撮像装置。
【請求項１】
固定部と、
一端が前記固定部に固設され、且つ一方向に延設される板状の可動部と、
を備え、
前記可動部が、
一端が前記固定部に固設され、且つ前記一方向に延設される板状のベース部と、
前記ベース部の一方主面上において該ベース部と一体的に形成され、且つ第１の光の照射に応じて前記一方向に伸び、第２の光の照射に応じて前記一方向に縮む光変位部と、
を有することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載のアクチュエータであって、
前記ベース部が、
前記第１および第２の光をそれぞれ発する発光部を含むことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項３】
請求項２に記載のアクチュエータであって、
前記発光部が、
前記第１の光を発する第１の有機ＥＬ素子と、前記第２の光を発する第２の有機ＥＬ素子とを含むことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項４】
請求項１から請求項３の何れかに記載のアクチュエータであって、
前記光変位部が、
ジアリールエテンを用いて構成されることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１から請求項４の何れかに記載のアクチュエータと、
前記アクチュエータによって移動される光学レンズと、
を備えることを特徴とする撮像装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【公開番号】特開２０１０−６０７０８（Ｐ２０１０−６０７０８Ａ）
【公開日】平成２２年３月１８日（２０１０．３．１８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２２４６８６（Ｐ２００８−２２４６８６）
【出願日】平成２０年９月２日（２００８．９．２）
【出願人】（３０３０００４０８）コニカミノルタオプト株式会社 (3,255)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年３月１８日（２０１０．３．１８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年９月２日（２００８．９．２）
【出願人】（３０３０００４０８）コニカミノルタオプト株式会社 (3,255)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]