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Fターム[3C081BA21]の内容

マイクロマシン (28,028) | 形状、構成 (11,743) | 構成要素 (3,421)

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【課題】マイクロマシン構成部材の片持梁の幅を大幅に減じることにより、より高い周波数に適したものにするための方法を提案する。
【解決手段】少なくとも1つの第1の給電線路41が第1の平坦な面21に配置されており、少なくとも1つの第2の給電線路42が、第1の平坦な面21とは反対側に配置された、片持梁の第2の平坦な面22に配置されており、第1の給電線路41が第1の平坦な面21において機能エレメント3まで延びており、第2の給電線路42が、第1の平坦な面21と第2の平坦な面22との間の局所的な電気接続部43,431,432を有する。 (もっと読む)


【課題】微細加工デバイスの素子間を絶縁するための装置および方法を提供すること。
【解決手段】一実施形態では、微細加工デバイスは、基層と、微細加工の熱的素子と、微細加工の熱的素子に接触して、基層上の微細加工の熱的素子を支持する非犠牲エーロゲル層とを備える。非犠牲エーロゲル層は、微細加工の熱的素子と基層の間に、熱的絶縁、電気的絶縁、または音響絶縁のうち少なくとも1つをもたらすように配置される。 (もっと読む)


【課題】反応や分析のステップ数や量を制限しない、且つ、製造が容易であるマイクロ流体システム用支持ユニットの製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも、(イ)第一の支持体に少なくとも一つの中空フィラメントを任意の形状に固定する工程、(ロ)中空フィラメント内の全部または一部にモノリス前駆体を充填する工程、(ハ)モノリス前駆体の全部または一部を反応させ、モノリス構造体を作製する工程、を備えることを特徴としたマイクロ流体システム用支持ユニットの製造方法である。 (もっと読む)


【課題】小型化を図りつつ、可動板を互いに直交する2つの軸のそれぞれの軸まわりに安定してかつ大きく回動させることのできるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー1は、支持部3と、光反射性を有する光反射部22を備える可動板2と、支持部3に対して変位可能に設けられた駆動部41と、駆動部41と可動板2とを連結する第1の軸部42とを備え、可動板2を支持部3に対して変位可能に連結する連結部4を含む4つの連結部と、駆動部41の中心に対して可動板2側の規制位置で第1の軸部42が可動板2の厚さ方向に変位するのを局所的に規制する1対の捩り梁部44とを有し、駆動部41の変位に伴って、1対の捩り梁部44の規制位置を支点として第1の軸部42を回動させる。 (もっと読む)


【課題】可動板を互いに直交する2つの軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることのできるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー1は、支持部3と、光反射部22を備える可動板2と、支持部3に対して変位可能に設けられた駆動部41、51、61、71と、駆動部41、51、61、71と可動板2とを連結する第1の軸部42、52、62、72とを備える4つの連結部4、5、6、7と、可動板2を支持部3に対して変位させる変位手段8とを有し、各連結部4、5、6、7は、駆動部41、51、61、71をZ軸方向に変位させるとともに第1の軸部42、52、62、72の延在方向およびZ軸の双方に直交する方向に延びる軸線まわりに回動させることにより、第1の軸部42、52、62、72をZ軸方向に屈曲変形させ、可動板2を変位させる。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成で、迷光が被投影面に照射されるのを防止することのできる光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー1は、光反射性を有する光反射部を備える可動板と、支持部と、可動板を支持部に対して回動可能に連結する1対の連結部とを有し、各連結部は、1対の梁部材で構成され、1対の梁部材間の距離は、可動板の回動中心軸(軸線a)に平行な方向からみたときに、可動板の一方の面側から他方の面側に向けて幅が漸増しており、1対の梁部材の前記一方の面側の端同士の間の距離をWとし、1対の梁部材の可動板の厚さ方向での厚さをtとしたとき、下記式(1)を満たす。
【数1】
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【課題】可動板を互いに直交する2つの軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることのできる光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー1は、支持部3と、光反射部22を備える可動板2と、支持部3に対して変位可能に設けられた駆動部41、51、61、71と、駆動部41、51、61、71と可動板2とを連結する第1の軸部42、52、62、72とを備える4つの連結部4、5、6、7と、可動板2を支持部3に対して変位させる変位手段8とを有し、各連結部4、5、6、7は、各駆動部41、51、61、71は、Z軸方向に変位可能に設けられ、各第1の軸部42、52、62、72は、駆動部41、51、61、71の変位に伴って、Z軸方向に屈曲変形するように構成され、変位手段8は、各駆動部41、51、61、71をZ軸方向に変位させる。 (もっと読む)


【課題】フォースセンサの小型化に伴い、外部からの荷重により支持部に機械的強度を越える応力が発生し、支持部が破壊する問題が発生した。
【解決手段】センサ基板とベース基板との間にストッパを設け、センサ基板の撓みを制限し、支持部に機械的強度を越える応力が発生することを防止した。よって、前記ストッパを設けることで、支持部が破壊することなく荷重を計測できる小型なフォースセンサを提供する。 (もっと読む)


【課題】一対のトーションバーで可動部を固定部に揺動可能に軸支するアクチュエータを、高調波成分を含む鋸歯状波形の駆動信号で駆動する場合に、鋸歯状波形信号の直線部分を長くし、且つ、高調波成分に起因する可動部の共振振動を抑制する。
【解決手段】鋸歯状波形データを格納する波形メモリ1と、目標振れ角情報から鋸歯状波形信号の振幅を演算する振幅演算部2と、振幅演算部2からのデジタル信号をアナログ信号に変換するD/A変換器3と、アナログの鋸歯状波形信号に含まれる可動部が共振振動する共振周波数成分を減衰するローパスフィルタ4と、可動部の実際の振れ角を検出する振れ角センサ7と、可動部の目標位置を示す駆動信号と可動部の実際位置を示すセンサ信号の偏差に基づいて駆動信号を調整するPID制御部5と、調整された駆動信号に基づいてアクチュエータ10に駆動信号を供給する駆動信号供給部6と、を備えて構成した。 (もっと読む)


【課題】可動板を互いに直交する2つの軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることのできる光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】貫通孔411に挿通された永久磁石811が、アライメント面41X,41Yに固定されることにより、永久磁石811を変位部41の所望の位置に位置決めして固定することができる。詳しくは、永久磁石811のX軸方向寸法の中心およびY軸方向寸法の中心が、回動中心軸X1,Y2の交点と一致させることができる。これにより、電源813,833からコイル812,832に交番電圧を印加することにより、永久磁石811が傾斜し、回動中心軸Y2からずれることなく、駆動梁43を捩じり変形させつつ、変位部41が回動中心軸Y2まわりに安定して傾斜する。これにより、可動梁42は、回動中心軸X1からずれて傾いた屈曲をすることなく、可動部2を安定して回動させることができる。 (もっと読む)


【課題】小型の構成でありながら、移動鏡15を構成する反射膜15aの大きな移動量および並進性を確保しつつ、反射膜15aの面精度を向上させて反射光の波面の乱れを抑制する。
【解決手段】駆動機構18の板ばね部31・32は、互いに対向して配置されている。支持体33・34は、板ばね部31・32の間で互いに離間して配置され、それぞれが板ばね部31・32と連結されている。駆動部35は、板ばね部31・32の対向方向に、支持体34に対して支持体33を平行移動させる。支持体34の移動方向において、支持体33・34の厚さは、板ばね部31・32よりも厚く、支持体33における移動方向に垂直な一端面に、反射膜15aが形成されている。支持体33は、反射膜15aが露出するように板ばね部31・32と連結されている。 (もっと読む)


【課題】光反射面(全反射ミラー)を安定して自在に回動させるための制御が容易である、光スキャナーを提供する。
【解決手段】光スキャナー1は、光反射面3aを有する反射板3と、反射板3を支持する支持部材41と、支持部材41を介して反射板3を保持する可動部2と、可動部2から光反射面3aと平行にそれぞれ延出し、中間部分に屈曲部7,8を有する一対の可動梁5,6と、可動梁5,6に直結し可動梁5,6を介して可動部2へ変位を付与する変位部21,31を有し、可動梁5,6の延出方向の端部にそれぞれ設けられた第1駆動装置20,30と、変位部21,31から延出し、光反射面3aと平行し且つ可動梁5,6の延出方向と直交している一対の駆動梁9,10と、駆動梁9,10を固定するための支持枠15と、可動部2へ、第1駆動装置20,30とは異なる変位を、直接付与する第2駆動装置40と、を備えていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】固定個所の変形などの影響を支持部は受けない構成とでき、デバイス部をホルダ部に固定する位置精度を向上させつつ固定強度を良好にすることができる構造体及びその固定方法を提供する。
【解決手段】構造体はホルダ部1とデバイス部2と、を有する。デバイス部2は、一体的に形成された接着部3と弾性部4と支持部5とを備え、支持部5は弾性部4で接着部3に対して弾性支持される。ホルダ部1は、周辺部より高い段差部6を有する。接着部3は、ホルダ部1の周辺部に固定され、支持部5は、弾性変形した弾性部4の復元力により段差部6に当接させられている。 (もっと読む)


【課題】MEMSミラーに損傷を与えずにMEMSミラーを基板から分離する方法を提供する。
【解決手段】ミラーデバイス体が支持部4bに支持された基板20の支持部4bにレーザー光74を集光して照射し、支持部4bに改質部75を形成する改質部形成工程と、支持部4bに力を加えて支持部4bを切断しミラーデバイス体2と基板20とを分離する分離工程と、を有し、支持部4bの断面形状は台形に形成され、改質部形成工程では台形の平行な2辺のうち長い方の辺の側からレーザー光74を照射する。 (もっと読む)


【課題】周囲温度変化や経時変化によりピエゾ抵抗素子の抵抗値に変動が生じた場合であっても、ミラー部の揺動を停止することなく、ピエゾ抵抗素子による検出結果の校正を行うことができる光走査装置及び画像表示装置を提供すること。
【解決手段】所定電位間に直列接続された一対のピエゾ抵抗素子R1,R3(R2,R4)を有する検出部を有し、光走査素子4のミラー部10の揺動軸Ly回りの揺動を開始した後、一対のピエゾ抵抗素子R1,R3(R2,R4)間の接続点N1(N2)の電圧変動率に基づき、光走査素子4が共振により反射面10aと直交する方向への揺動が加わっている状態であると判定すると、当該状態において接続点N1(N2)の電圧変動率が所定範囲内になったときの接続点の電圧に基づき、接続点N1(N2)の電圧のオフセット値を判定する。 (もっと読む)


【課題】光束を走査する期間において、駆動信号波形の直線性を向上させつつも、駆動信号波形生成のための演算負荷を小さくする。
【解決手段】両側から梁部で支持されたミラー部を有し、梁部の捻れ変位によりミラー部を揺動可能とした非共振型の光走査素子と、駆動信号によりミラー部を揺動させる制御部と、を備え、制御部は、駆動信号の波形を鋸波状波形Dとし、当該鋸波状波形Dのうち、光束を走査する期間の波形を直線波形Daとする一方、光束を走査しない期間の波形Dbの微分波形が、一つの周波数の1周期の波形、又は、2つの周波数の半周期の波形を互いに結合した波形、となり、かつ、当該光束を走査しない期間の波形の両端部のそれぞれが、光束を走査する期間の波形の傾きと同じ傾きとなるように光束を走査しない期間の波形を形成し、光束を走査しない期間の波形の両端部のそれぞれを光束を走査する期間の波形の両端部のそれぞれに連続させた。 (もっと読む)


【課題】光検出素子のミラー部の角度を検出する検出部の特性変化があった場合でも、光検出素子のミラー部の角度を精度よく検出することができる光走査装置及び画像表示装置を提供する。
【解決手段】ミラー部10を両側から支持する一対の梁部の捻れ変位によりミラー部10が揺動軸Ly回りに揺動してミラー部10により光束を走査する光走査素子と、光走査素子へ駆動信号を出力してミラー部10を揺動軸回りに揺動させる制御部と、ミラー部10の揺動軸Ly回りの角度を検出する検出部と、ミラー部10の揺動軸Ly回りの角度が、光束を走査する角度範囲外の所定角度以上となることを規制する規制部材17a,17bとを備え、制御部は、規制部材17a,17bに到達するようにミラー部10を揺動軸Ly回りに回動させ、検出部により規制部材17a,17bにミラー部が到達したと判定したときの検出部による検出結果に基づき、駆動信号の波形を調整する。 (もっと読む)


【課題】センサ素子にダメージを与えることなく、キャップ接合に用いる接着樹脂の残渣を低減できるセンサの製造方法を提供する。
【解決手段】センサ素子を形成した基板上に、該センサ素子を囲繞する平面形状の感光性接着樹脂を介して、前記センサ素子の上方を覆うキャップを接合してなるセンサの製造方法において、感光性接着樹脂の塗布前に、上記センサ素子を含む基板表面全体に、感光性接着樹脂の現像液に可溶の材料からなる下地層を形成しておく。そして、この下地層上に塗布した感光性接着樹脂を露光及び現像し、感光性接着樹脂の現像液によって、感光性接着樹脂の露光した領域と該露光領域の下に位置する下地層とを一緒に除去する。 (もっと読む)


【課題】光走査領域の近傍に設置しても、大きな光走査領域を確保することのできる画像形成装置を提供する。
【解決手段】画像形成装置100は、レーザー光LLを出射する光出射部200と、光出射部200から出射したレーザー光LLを反射する光反射部22を有し、光反射部22を互いに直交する回動中心軸X1、Y1にそれぞれ回動させて、光反射部22で反射したレーザー光LLを回動中心軸X1、Y1にそれぞれ走査する光スキャナー1と、回動中心軸X1、Y1の交点と光出射部200との相対的位置関係を一定に保ちつつ、光スキャナー1を所定の軸線まわりに回動させる駆動手段300とを有している。 (もっと読む)


【課題】静磁界発生手段による静磁界が駆動コイルに効率よく作用するようにして、駆動効率を向上させたプレーナ型電磁アクチュエータ。
【解決手段】固定部と、該固定部に対して一対のトーションバーにより回動可能に軸支された可動板と、通電により磁界を発生する駆動コイルとを備えたチップと、駆動コイルに静磁界を与える静磁界発生手段とを備えて構成したプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、駆動コイルは、可動板の周縁部にトーションバーの軸線に対して略対称に設けられ駆動電流が一方のトーションバー側から他方のトーションバー側に向かって通電される対称コイル部を有し、静磁界発生手段は、可動板の外から内、又は内から外のいずれか一方向に向かう静磁界が発生するように配置され、該静磁界が対称コイル部の全てに略垂直に交差するように、対称コイル部を形成して構成するとした。 (もっと読む)


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