【課題】トーションバー上のアルミニウム配線の物性変化に起因するアクチュエータの駆動特性の変化を抑制することによりプレーナ型アクチュエータの経時的安定性を向上させる。
【解決手段】トーションバー３に不純物拡散による拡散導通部９を形成し、拡散導通部９上にトーションバー３の軸方向で複数に分断した配線パターンのアルミニウム配線６を配置する。これにより、アルミニウム配線の捩れ剛性がトーションバー全体の捩れ剛性に及ぼす影響を小さくでき、アルミニウム配線の捩れ剛性が変化してもアクチュエータの駆動特性の変化を抑制できるようになる。 （もっと読む）

【課題】感度とノイズに対して最適な性能につながり、信号対雑音比（ＳＮＲ）を最適化する。単一のマイクロフォンパッケージに集約された複数の互いに対等な変換器素子により、ＳＮＲの改善を成し遂げる。
【解決手段】マイクロフォンを提供する。該マイクロフォンは、筐体と、前記筐体に位置する音響ポートと、前記筐体と結合された基板と、前記基板上に配置された集積回路と、前記基板上に取り付けられた２以上のＭＥＭＳ変換器であって、該変換器は並列に接続された、ＭＥＭＳ変換器を有する。 （もっと読む）

【課題】捩れ運動が繰返されるトーションバー部分に設けた引出し配線の金属疲労を低減する。
【解決手段】固定部に可動部を揺動可能に軸支するトーションバー３に、可動部側の駆動コイルと固定部側の電極端子を接続する引出し配線６を設ける構成のプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、シリコン基板で形成しその上面に引出し配線６を設けたトーションバー下層部３Ａ上に、ガラス材で形成したトーションバー上層部３Ｂを陽極接合することにより、捩り応力の小さいトーションバー中心位置に引出し配線６を設ける構成とした。 （もっと読む）

【課題】反射面を備える可動板の有効面積を確保しつつ、可動板の慣性モーメントを低減させた光偏向器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】反射面と側面を備える可動板と、所定の軸の周りに可動板を回動可能に支持する支持部とを有し、可動板の側面が軸に向かって窪んでいる。 （もっと読む）

【課題】外部への熱の影響が抑制されて安全性が高いとともに高効率の触媒反応が可能なマイクロリアクターを提供する。
【解決手段】マイクロリアクター１を、筐体２と、この筐体内の真空密閉キャビティ３内に配設されたマイクロリアクター本体４と、マイクロリアクター本体の少なくとも１つの面に位置する発熱体７とを備えるものとし、発熱体７は、筐体２を貫通するリードピン１１を介して外部電源と接続可能であるとともに、このリードピン１１と発熱体７を温度ヒューズ１２を介して接続する。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性に優れたミラー装置を提供する。
【解決手段】ミラー基板に対して回動可能に支持されるミラーと、ミラー基板と対向する電極基板の上に形成された駆動電極と、ミラーをミラー基板に連結する弾性部材とを備え、ミラー基板は、第１の開口を有し、ミラーは、弾性部材により第１の開口内で回動可能に支持され、ミラーの質量をｍ、ミラー装置に加わる加速度をＧ、弾性部材のバネ定数をｋとするとき、ミラーと弾性部材との間隔ｄ１〜ｄ４は、ｄ＝ｍＧ／ｋの変位量ｄの値より大きくなるように設定する。これにより、ミラーアレイに加速度Ｇが加わった場合でも、ミラー基板２００の可動部材は、この可動部材と隣接する部材に接触しないので、破損するのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】光反射部の変形を低減することのできる光学デバイス、光スキャナ及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】板状の可動板２１１と、可動板２１１を回動可能に支持する一対の軸部材２１２、２１３と、一対の軸部材２１２、２１３を捩り変形させ、可動板２１１を回動させる駆動手段６とを備え、可動板２１１は、光を反射する光反射部２１１ａと、光反射部２１１ａと一対の軸部材２１２，２１３との間に配置される接続部２１１ｂ、２１１ｃとを有する。 （もっと読む）

【課題】所望する反り量のミラーを製造することができるミラー装置の製造方法を提供する。
【解決手段】回動可能に支持された平板状のミラーを有するミラー基板を用意する第１のステップと、ミラーの一の面に第１の金属層を形成する第２のステップと、ミラーの他の面に第２の金属層を形成する第３のステップと、電極基板上にミラー基板を載置し、電極とミラーとを対向配置する第４のステップとを有し、表面層２３２及び裏面層２３３の少なくとも一方の厚さを制御する。これにより、ミラー２３０の反り量を制御して、所望の曲率半径を有するミラー２３０を製造することができる。 （もっと読む）

【課題】 正確に可動部の位置検出を行うことができ、しかも、小型化を図ることのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 デバイス基板に設置された枠状の固定部と、固定部の内側にトーションバーを介して回動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部４と、可動部４の表面に設置され光の入射角度に応じて異なる色を反射する構造発色体８と、構造発色体８に光を照射する発光器９と、発光器９から照射され構造発色体８により反射された光を受光する受光器１０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】チップによって規制されることなく、一対の静磁界発生手段を接近させて静磁界が駆動コイルに効率よく作用するようにしたプレーナ型電磁アクチュエータ。
【解決手段】枠部１と、枠部１に対してトーションバー２，２により回動可能に軸支された可動板３と、可動板３に敷設されて通電により磁界を発生する駆動コイル４とを備えたチップ５と、このチップ５のトーションバー２，２と平行な駆動コイル部分に静磁界を与える一対の静磁界発生手段６，６とをベース基板７上に搭載するプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、ベース基板７にザグリ部９を設けて、チップ５をザグリ部９内に収納させ、チップ５の上面とベース基板７の上面とがほぼ面一となるようにし、互いに対向する一対の静磁界発生手段６，６を、可動板３を挟んでベース基板７の上面とチップ５の上面とに跨って載置する構成とした。 （もっと読む）

【課題】光スイッチに設けられる一対のミラーアレイにおいて、駆動電圧の高電圧化や製造の難しさを回避しつつ、ミラーを効率的に配置する。
【解決手段】ミラーアレイ２２０３ａ，２２０３ｂのミラー２０３の配置をミラーの傾斜角θの異方性を考量して最適化する。これにより、駆動電圧を高電圧化することなく、ミラー１５３の走査可能領域を有効利用することができ、効率的なミラー配置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】良品歩留まりの高い状態でミラー基板が形成できるようにする。
【解決手段】ミラー基板２３００では、基部２３０１，連結部２３３２ａ，連結部２３３２ｂ，可動枠２３０３，ミラー連結部２３３４ａ，ミラー連結部２３３４ｂ，及びミラー２３３５の各間隙に、充填された状態で保護層２３０７ａを備えている。これにより、上述した構造体が回動などの動作を抑制された状態となり、外部からの機械的振動による破損や損傷から保護されるようになる。 （もっと読む）

【課題】可動子の大変位が可能なムービングマグネット型の電磁駆動型アクチュエータの提供。
【解決手段】固定部２と、可動子１と、可動子１を固定部２に連結して支持する１又は複数の可撓性の支持部３と、可動子１に形成された永久磁石４と、永久磁石４の周囲に磁界を発生させるコイル５とを備え、コイル５が発生させた磁界により可動子１を変位させる電磁駆動型アクチュエータ。可動子１及び支持部３は、シリコン窒化膜により一体形成されており、永久磁石４は、ＲＥ₂ Ｆｅ₁₄ＢとＭとを交互に堆積させた多層膜構造を有する膜状の永久磁石である。但し、ＲＥは希土類金属元素の何れか１つ、ＭはＴａ，Ｔｉ，Ｎｂ，Ｚｒ及びＭｏの内の少なくとも１つ。 （もっと読む）

【課題】製造が容易、且つ反応や分析の工程数や量を制限しないマイクロ流体システム用支持ユニットの製造方法を提供する。
【解決手段】第一の支持体２の表面に、第一の接着剤層１ａを形成するステップと、該第一の接着剤層１ａの表面に中空フィラメント５０１〜５０８を敷設するステップと、第一の接着剤層１ａと中空フィラメント５０１〜５０８の上に第二の接着剤層１ｂを形成するステップと、真空状態において、第二の接着剤層１ｂの表面に第二の支持体６を接着するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】組立てるのにより少ない手間ですみ、したがって製造するのにより少ない費用ですむ、密閉されたパッケージ装置の微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）を提供すること。
【解決手段】例示のパッケージ装置は、底部と蓋とを有するパッケージを含む。ＭＥＭＳダイが、上部感知プレート設計に従って作製された上部および下部プレートを含む。ＭＥＭＳダイは、底部に実装される。上部および下部プレートは、ＭＥＭＳ装置を収容する空洞を形成する。上部および下部プレートは、１つまたは複数のボンドパッドと、空洞を囲繞するシールリングとによって接着される。シールリングは、空洞をパッケージ内の空間に曝すことが可能である溝を含む。ゲッター材料が、上部プレート上のＭＥＭＳダイの上面に適用される。ゲッター材料は、蓋が底部に実装される間に、またはその後に活性化される。 （もっと読む）

【課題】面倒となり易い加工などを要することなく振動系の振動子の回転軸回りの慣性モーメントを可逆的に変化させことができる揺動体装置、これを用いる光偏向装置を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、回転軸70の回りに揺動可能に支持された振動子40を含む振動系と、振動子40を回転軸70の回りに揺動させるための駆動手段とを有する。振動子40には、形状記憶合金部10を含む形状可変部60が設けられている。 （もっと読む）

【課題】温度特性のあるセンサでも、安定して光スキャナの駆動状態検出を行うことができる光スキャナ装置を提供する。
【解決手段】回動可能に構成された光スキャナ部１と、光スキャナ部１を回動駆動させるための駆動部４とを備え、光スキャナ部１を回動させることにより、光スキャナ部１で反射した光を対象物に走査する光スキャナ装置１０であって、光スキャナ部１の駆動状態を検出する駆動検出部５と、光スキャナ部１周辺の温度を測定する温度測定部８と、光スキャナ部１に照射される光の照射量を出力する照射量提供部９と、測定された周辺温度と光の照射量に基づいて、駆動検出部５の検出結果を補正する検出結果補正部７と、駆動検出部５の補正後の検出結果に基づいて、駆動部４が光スキャナ部１を自己の共振周波数で捩り変形させるよう制御する駆動制御部６を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】ミラーの慣性モーメントをできるだけ減らしつつ、ミラーの剛性を維持して動撓みを抑制できる光偏向器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る光偏向器は、所定の軸に沿って回動可能に構成された、反射面を備えるミラー２と、ミラー２の反射面の裏面に形成された磁石配置用の窪み１４と、ミラー２の窪み１４に固定された磁石２２と、を有する。磁石２２は、磁石２２の側面に形成された接着剤２３によりミラー２に接合されていることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】可動体を揺動可能に支持する梁構造体の複数の曲がり梁の曲げ変形の態様の多様な組み合わせを、走査線間隔補正等の種々の用途に利用できる揺動体装置を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、可動体101、2つの揺動軸回りに揺動可能に可動体を支持枠105に支持する梁構造体、駆動手段と検出手段の少なくとも一方を有する。梁構造体は、ねじれ変形可能なねじり梁102と、曲げ変形可能な複数の曲がり梁103を有する。ねじり梁102は、一端が可動体に連結され、他端が接続部102を介して各曲がり梁の一端に連結され、各曲がり梁103の他端は支持枠105に連結される。駆動手段106乃至113は、駆動信号で、曲がり梁の曲げ変形の態様の組み合わせを選択し、少なくとも1つの揺動軸を選んで該揺動軸回りの可動体の角変位を起こす。検出手段は、曲がり梁の曲げ変形の態様の組み合わせに応じた作用を受け、少なくとも1つの揺動軸回りの可動体の角変位を検出する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ等の機能素子への影響を抑えることができる小型な３次元モジュールを提供する。
【解決手段】電極基板３０と駆動基板４０を接合させる基板間接合部材２１は、導電性応力吸収部材４６と応力吸収接合部材６０を有し、導電性応力吸収部材４６は、電極基板３０と駆動基板４０を電気的に接続させつつ、例えば駆動基板４０が熱や外力等によって反って駆動基板４０に応力が生じた際、この応力を吸収するために所望する方向に変形し、応力吸収接合部材６０は、電極基板３０と駆動基板４０を機械的に接合する。 （もっと読む）