3次元モジュール
【課題】MEMS等の機能素子への影響を抑えることができる小型な3次元モジュールを提供する。
【解決手段】電極基板30と駆動基板40を接合させる基板間接合部材21は、導電性応力吸収部材46と応力吸収接合部材60を有し、導電性応力吸収部材46は、電極基板30と駆動基板40を電気的に接続させつつ、例えば駆動基板40が熱や外力等によって反って駆動基板40に応力が生じた際、この応力を吸収するために所望する方向に変形し、応力吸収接合部材60は、電極基板30と駆動基板40を機械的に接合する。
【解決手段】電極基板30と駆動基板40を接合させる基板間接合部材21は、導電性応力吸収部材46と応力吸収接合部材60を有し、導電性応力吸収部材46は、電極基板30と駆動基板40を電気的に接続させつつ、例えば駆動基板40が熱や外力等によって反って駆動基板40に応力が生じた際、この応力を吸収するために所望する方向に変形し、応力吸収接合部材60は、電極基板30と駆動基板40を機械的に接合する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、MEMS等の機能素子を実装した3次元モジュールに関する。
【背景技術】
【0002】
MEMS(Micro Electro Mechanical System)等の機能素子を実装したマルチチップモジュールは、例えば特許文献1に開示されている。この特許文献1について、図11を参照して簡単に説明する。チップ上のデバイス(積層DRAM部A、微細受動素子部B、DSP部C及びセンサMEMS部D)が表面に実装された第1基板131〜第4基板134を積層状態に接合して構成され、これら基板には、表裏に貫通して一端がデバイスもしくは多層の配線と接続された貫通配線135が設けられていると共に、下層全ての基板に実装されたデバイスの実装領域に対応して挿通孔136が設けられている。
【0003】
このマルチチップモジュールは、複数のデバイス間の配線構造を容易に、かつ実装デバイスへの影響を抑えて構築されている。
【特許文献1】特開2006−173458号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
このマルチチップモジュールは、図11に示すようにチップ上のデバイスが表面に実装された複数の基板を積層状態に接合して構成されている。また下層の全ての基板には、実装されたデバイスの実装領域に対応して挿通孔、又は切欠き領域が設けられている。これら積層構造や、挿通孔又は切欠き領域は、一方の基板の振動等が他方の基板に影響することや、例えば基板が反ったり歪んだ際に生じる応力等を抑えるために設けられている。このように積層している複数の基板と、各基板間に挿通孔、又は切欠き領域がマルチチップモジュールに配置されるため、マルチチップモジュール全体の実装面積が少なくとも平面方向に大きくなり、モジュールを小型化することが困難である。
【0005】
本発明は、これらの事情に鑑みてなされたものであり、MEMS等の機能素子への影響を抑えることができる小型な3次元モジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、目的を達成するために、機能素子を実装した第1の基板と、他の部品を実装した第2の基板と、を重なるように3次元に積層接合し、前記第1の基板と前記第2の基板を電気的、且つ機械的に接合させる3次元モジュールであって、前記第1の基板と前記第2の基板の間に介在し、前記第1の基板と前記第2の基板を接合させる基板間接合部材は、弾性を有し、前記第1の基板と前記第2の基板を機械的に接合させる応力吸収接合部材と、導電性を有し、前記第1の基板と前記第2の基板を電気的に接続させつつ所望の方向に変形可能な導電性応力吸収部材と、を具備することを特徴とする3次元モジュールを提供する。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、MEMS等の機能素子への影響を抑えることができる小型な3次元モジュールを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0008】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。
図1乃至図4を参照して第1の実施形態について説明する。
図1に示すように第1の部材であるマイクロミラーチップ10は、略中央に配置されている開口部11を有するミラー支持部12と、開口部11に配置され、ミラー支持部12に接続支持される機能素子である可動ミラー部14と、ミラー支持部12と可動ミラー部14を機械的、且つ連続的に接続している支持本体部であるヒンジ部13を有している。
【0009】
ミラー支持部12は、略平面であり、例えば矩形形状を有し、開口部11においてヒンジ部13によって可動ミラー部14を支持するミラー支持部材である。開口部11は、ミラー支持部12の外形と相似する形状、または矩形形状を有していることが好適である。可動ミラー部14は、後述する静電引力によってヒンジ部13を支点として可動する(傾く)。
【0010】
ミラー支持部12と可動ミラー部14とヒンジ部13は、可動ミラー部14がヒンジ部13を支点として可動するため、例えば略10μm〜略20μmという非常に薄い厚みを有している。
【0011】
図2や図3に示すようにマイクロミラーチップ10は、接合部材20を介して電極基板30と接合し、厚み方向にて電極基板30に積層している。図3に示すようにミラー支持部12と電極基板30の間隔は、接合部材20によって所望に保持される。接合部材20は、導電性を有するハンダやAu等である。
【0012】
図2に示すように3次元モジュール1には、図1に示すマイクロミラーチップ10と、電極基板30と、第2の基板である駆動基板40と、が厚み方向に並べられ3次元に積層接合しており、それぞれが電気的且つ機械的に接続されている。マイクロミラーチップ10と、電極基板30と、駆動基板40において、互いに向かい合う面は、平面である。
【0013】
図2に示すように電極基板30の表面30aには、駆動電極31と接合電極32が設けられている。また図3に示すように電極基板30の裏面30bには裏面接合電極33が設けられ、電極基板30には貫通電極34が電極基板30の厚み方向に貫通している。駆動電極31は、可動ミラー部14と対向し、可動ミラー部14を可動させる静電引力を可動ミラー部14に加える。接合電極32は、接合部材20と電気的且つ機械的に接合し、また貫通電極34を介して裏面接合電極33と電気的に接続している。
【0014】
接合部材20はミラー支持部12と接合電極32と接合することで、マイクロミラーチップ10は電極基板30と積層接合する。
【0015】
また電極基板30と駆動基板40の間には、電極基板30と駆動基板40を積層接合させる基板間接合部材21が介在している。基板間接合部材21は、後述する導電性応力吸収部材46と応力吸収接合部材60を有している。
図2と図3に示すように駆動基板40には、裏面接合電極33と対向するように接合電極41が配置されている。接合電極41には、3次元モジュール1の駆動を制御する例えばIC42といった機能素子以外の他の部品がバンプ43を介して実装されている。IC42は、周囲を例えば樹脂などの封止材44によって補強されている。また接合電極41は、駆動基板40を駆動基板40の厚み方向に貫通している貫通電極45と接合している。
【0016】
導電性応力吸収部材46は、導電性を有し、接合電極41と裏面接合電極33の間に設けられ、電極基板30と駆動基板40を電気的に接続させつつ、例えば駆動基板40が熱や外力等によって反ったり歪み、反りや歪みにより駆動基板40に応力が生じた際、この応力を吸収するために所望する方向に変形可能である。
【0017】
導電性応力吸収部材46は、応力吸収部48と、導電性固定部材50を有している。
応力吸収部48は、先端48aを超音波振動によって接合電極41と金属接合させ、一部であり所望する部位(例えば中端48b)を湾曲させ、基端48cを所望する部位(例えば先端48a)と金属接合させることでリング形状を形成しており、例えばAu線等で形成される配線部材である。
【0018】
詳細には、先端48aが接合電極41と金属接合することで、先端48aの一部である突起部51が形成される。上述した基端48cは、この突起部51と金属接合する。中端48bは、3次元モジュール1の平面方向に湾曲している湾曲部となる。このように形成された応力吸収部48は、駆動基板40に応力が生じた際、中端48bを湾曲させて、所望する方向に変形し、応力を吸収する。なお突起部51は、導電性応力吸収部材46(応力吸収部48)の一部である。また応力吸収部48がリング形状を形成し、中端48bが湾曲するならば、基端48cは例えば中端48bといった応力吸収部48の所望する部位と金属接合しても良い。
【0019】
導電性応力吸収部材46は1つの接合電極41に1つ配置される。また導電性応力吸収部材46は、IC42の周囲に近接配置されることが好適である。
【0020】
また導電性固定部材50は、図3に示すように電極基板30側に近接する応力吸収部48の先端(例えば中端48b)と裏面接合電極33を電気的に接続させることで、電極基板30と駆動基板40を電気的に接続させる。導電性固定部材50は、導電性接着剤等からなる。なお導電性固定部材50は、応力吸収部48の電極基板30側に位置する先端と裏面接合電極33を電気的に接続させているが、これに限定される必要はなく、中端48bが湾曲できれば、応力吸収部48の所望する部位と裏面接合電極33を電気的に接続させてもよい。
【0021】
また応力吸収接合部材60は、駆動基板40の外周に配置され、ポリイミドなどの弾性を有し、裏面30bと機械的に接合することで、電極基板30と駆動基板40を機械的に接合させる。また応力吸収接合部材60は、例えば駆動基板40が熱や外力等によって反ったり歪み、反りや歪みにより駆動基板40に応力が生じた際、この応力を吸収するために所望する方向に変形可能である。
【0022】
応力吸収接合部材60は、図2に示すように矩形形状を有する弾性体であり、図3に示すように裏面接合電極33と接合電極41とIC42と導電性応力吸収部材46と突起部51等を囲っている。応力吸収接合部材60は、電極基板30と駆動基板40と略同一、または上述したように裏面接合電極33と接合電極41とIC42と導電性応力吸収部材46と突起部51等を囲っていれば電極基板30と駆動基板40よりも小さくてもよく、またIC42の周囲に近接してもよい。また応力吸収接合部材60は、導電性応力吸収部材46と略同じ高さを有している。
【0023】
応力吸収接合部材60は、導電性応力吸収部材46と同一基板(図1に示す駆動基板40)上に配置される。
【0024】
なお可動ミラー部14は、ミラー支持部12に設置でき、所望のミラー駆動特性を得ることができれば1つに限定する必要はなく、直線(列)状に配設されてもよい。もちろん可動ミラー部14は、複数の列状に配置されても良い。また可動ミラー部14は図1に示す方向とは直交する方向に傾いてもよい。また図1に示す方向に傾く可動ミラー部14と、図1に示す方向と直交する方向に傾く可動ミラー部14が組み合わさっても良い。このように可動ミラー部14の傾き方向は限定されない。
【0025】
また図2に示すようにマイクロミラーチップ10は4つの接合部材20によって電極基板30と接合し、その際、接合部材20は可動ミラー部14の周辺に配置され、接合部材20に対応するように接合電極32と貫通電極34と裏面接合電極33と導電性固定部材50と導電性応力吸収部材46等が設けられている。しかしながら、マイクロミラーチップ10と電極基板30が接合し、電極基板30と駆動基板40が接合し、導電性応力吸収部材46と応力吸収接合部材60が例えば駆動基板40に生じる応力を吸収するのであれば、接合部材20と接合電極32と貫通電極34と裏面接合電極33と導電性固定部材50と導電性応力吸収部材46等の数や配置は限定される必要はない。
【0026】
また導電性応力吸収部材46は、IC42の周辺に4つ配置されているが、電極基板30と駆動基板40を電気的に接続させつつ、例えば駆動基板40に生じる応力を吸収するのであれば、導電性応力吸収部材46の配置や数は限定されない。
【0027】
次に本実施形態の作用について説明する。
マイクロミラーチップ10は、接合部材20によって電極基板30と積層接合する。
IC42は、バンプ43によって接合電極41に実装され、周囲を封止材44によって補強される。
【0028】
先端48aが超音波振動によって接合電極41と金属接合すると、金属接合により接合電極41に突起部51が形成される。次に中端48bが3次元モジュール1の平面方向に湾曲している状態で、基端48cは超音波振動によって突起部51と金属接合する。これにより図3に示すようなリング形状の導電性応力吸収部材46が形成される。このように1つの導電性応力吸収部材46は、接合電極41に1つ配置される。
【0029】
また応力吸収接合部材60が裏面接合電極33と接合電極41とIC42と導電性応力吸収部材46と突起部51等を囲うように駆動基板40の外周に配置され、裏面30bと接合する。また中端48bが導電性固定部材50によって裏面接合電極33と接合する。これにより駆動基板40と電極基板30が電気的且つ機械的に接合する。よってマイクロミラーチップ10と駆動基板40と電極基板30が積層状態で接合し、図3に示すような3次元モジュール1が形成される。
【0030】
3次元モジュール1が実装されている際、または実装された後において、図4に示すように例えば駆動基板40が外力等によって反った際、一般に応力が駆動基板40に生じ、この応力は電極基板30に伝達される。しかしながら導電性応力吸収部材46と応力吸収接合部材60は、反り量に応じて所望する方向に変形し、応力を吸収し、電極基板30に応力が伝達されることを防止(抑制)する。
【0031】
よって可動ミラー部14と駆動電極31の間隔は、接合部材20によって所望に保持される状態を維持する。これによりマイクロミラーチップ10と電極基板30は所望の間隔を維持し、3次元モジュール1は、所望な性能(例えば光学性能)と形状を維持する。なおこの間隔は接合部材20によって所望に調整されるため、3次元モジュール1は間隔に応じて所望な性能(例えば光学性能)と形状を維持することになる。
【0032】
このように本実施形態は、同一基板(図1に示す駆動基板40)上に、且つIC42の近接する周囲に、駆動基板40に生じた応力を吸収するために所望する方向に変形可能な導電性応力吸収部材46と応力吸収接合部材60を配置し、導電性応力吸収部材46と応力吸収接合部材60によって電極基板30と駆動基板40を接合させている。また本実施形態は、1つ導電性応力吸収部材46に対して接合電極41が1つでよく、接合電極41(導電性応力吸収部材46)間や導電性応力吸収部材46と応力吸収接合部材60の間には切欠きや挿通孔などを設けていない。
【0033】
よって本実施形態は、駆動基板40を平面方向に小さくすることができる。これにより本実施形態は、3次元モジュール1の平面方向における実装面積を小さくすることができ、3次元モジュール1を小型にすることができる。
【0034】
また本実施形態は、導電性応力吸収部材46をIC42に近接配置させることで、駆動基板40を小型化することができ、3次元モジュール1を小型にすることができる。
【0035】
また本実施形態は、駆動基板40が反り、応力が駆動基板40に生じた際、導電性応力吸収部材46と応力吸収接合部材60を反り量に応じて変形させ、応力を吸収させ、電極基板30に応力が伝達されることを防止することができる。よって本実施形態は、マイクロミラーチップ10と電極基板30の間隔を所望に維持でき、可動ミラー部14への応力による影響を抑えることができ、3次元モジュール1の所望な性能と形状を維持することができる。
【0036】
次に図5乃至図7を参照して第2の実施形態について説明する。前述した第1の実施形態と同一部位については同符合を付し、その詳細な説明は省略する。
【0037】
駆動基板40には、図5に示すように1対の接合電極70a,70bがIC42の周辺に4組設けられている。接合電極70a,70bは、後述する突起部33aと対向する位置を通る延長線上に配置されている。
【0038】
図6に示すように各組の一方の接合電極70aには、第1の実施形態と同様に3次元モジュール1の駆動を制御するIC42がバンプ43を介して実装されている。また各組の接合電極70aは、駆動基板40を駆動基板40の厚み方向に貫通している貫通電極45と接合している。
【0039】
本実施形態における導電性応力吸収部材71は、導電性応力吸収部材46と同様であり、接合電極70a,70bと裏面接合電極33の間に設けられ、電極基板30と駆動基板40を電気的に接続させつつ、例えば駆動基板40が熱や外力等によって反ったり歪み、反りや歪みにより駆動基板40に応力が生じた際、この応力を吸収するために所望する方向に変形可能である。また導電性応力吸収部材71は、接合電極70a,70bと突起部33aを接続する。
【0040】
導電性応力吸収部材71は、応力吸収部72と、突起部33aと、導電性固定部73を有している。
応力吸収部72は、先端72aを超音波振動によって例えば接合電極70aと金属接合させ、一部であり所望する部位(例えば中端72b)を湾曲させ、基端72cを超音波振動によって例えば接合電極70bと金属接合させる。応力吸収部72は、例えばAu線等で形成される配線部材である。
【0041】
詳細には、先端72aが超音波振動によって接合電極70aと金属接合することで、突起部74aが形成される。また接合電極70bには、突起部74bが予め形成されている。基端72cは、超音波振動によって突起部74bと金属接合する。中端72bは、3次元モジュール1の厚み方向に湾曲している湾曲部となり、駆動基板40には接しておらず、突起部74a,74bによって高さ位置を調整されている。このように形成された応力吸収部72は、中端72bが湾曲するため、所望する方向に変形可能である。また中端72bが3次元モジュール1の厚み方向に湾曲しているため、応力吸収部72の高さは第1の実施形態における導電性応力吸収部材46の高さに比べて低い。なお突起部74a,74bは、導電性応力吸収部材71(応力吸収部72)の一部である。
【0042】
突起部33aは、図6に示すように例えばAuやはんだ等の金属であり、中端72bに対向するように裏面接合電極33に設けられている部材である。
【0043】
導電性固定部73は、突起部33aと中端72bを電気的に接続させる。導電性固定部73は、導電性接着剤等からなる。なお導電性固定部73は、突起部33aと中端72bを電気的に接続させているが、これに限定する必要はなく、中端72bが湾曲できれば、応力吸収部72の所望する部位と突起部33aを電気的に接続させてもよい。
【0044】
また駆動基板40の外周には、ポリイミドなどの弾性を有し、裏面30bと機械的に接合することで、電極基板30と駆動基板40を機械的に接合し、電極基板30と駆動基板40に生じる応力を吸収するために所望する方向に変形可能な応力吸収接合部材60が配置されている。応力吸収接合部材60は、矩形形状を有し、裏面接合電極33とIC42と接合電極70a,70bと導電性応力吸収部材71と突起部33a,74a,74b等を囲っている。応力吸収接合部材60は、これらを囲っていれば電極基板30と駆動基板40よりも小さく、またIC42の周囲に近接してもよい。また応力吸収接合部材60は、導電性応力吸収部材71と略同じ高さを有し、駆動基板40に実装される部品の高さに規制される。
【0045】
応力吸収接合部材60は、導電性応力吸収部材71と同一基板(図5に示す駆動基板40)上に配置される。
【0046】
次に本実施形態の作用について説明する。
第1の実施形態と同様にマイクロミラーチップ10は、接合部材20によって電極基板30と積層接合する。
IC42は、バンプ43によって駆動基板40に配置されている接合電極41に実装され、周囲を封止材44によって補強される。
【0047】
先端72aが超音波振動によって接合電極70aと金属接合すると、金属接合により突起部74aが形成される。次に中端72bが3次元モジュール1の厚み方向に湾曲している状態で、基端72cは超音波振動によって突起部74bと金属接合する。
【0048】
また応力吸収接合部材60が裏面接合電極33とIC42と接合電極70a,70bと導電性応力吸収部材71と突起部33a,74a,74b等を囲うように駆動基板40の外周に配置され、裏面30bと接合する。またその際、中端72bは導電性固定部73によって突起部33aと接合する。これにより駆動基板40と電極基板30が電気的且つ機械的に接合する。よってマイクロミラーチップ10と駆動基板40と電極基板30が積層状態で接合し、図6に示すような3次元モジュール1が形成される。
【0049】
3次元モジュール1が実装されている際、または実装された後において、図7に示すように例えば駆動基板40が外力等によって反った際、一般に応力が駆動基板40に生じ、この応力は電極基板30に伝達される。しかしながら導電性応力吸収部材71と応力吸収接合部材60は、反り量に応じて所望する方向に変形し、応力を吸収し、電極基板30に応力が伝達されることを防止する。
【0050】
よって第1の実施形態と同様にミラー支持部12と電極基板30の間隔は、接合部材20によって所望に保持される状態を維持する。これによりマイクロミラーチップ10と電極基板30は所望の間隔を維持し、3次元モジュール1は、所望な性能(例えば光学性能)と形状を維持する。なおこの間隔は接合部材20によって所望に調整されるため、3次元モジュール1は間隔に応じて所望な性能(例えば光学性能)と形状を維持することになる。
【0051】
このように本実施形態は、上述した第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。また本実施形態は、応力吸収部72を例えばAu線等で形成される配線部材とし、中端72bを3次元モジュール1の厚み方向に湾曲させている。よって本実施形態は、導電性応力吸収部材71の高さを低くすることができるため、電極基板30と駆動基板40の間の間隔を小さくすることができる。つまり本実施形態は、3次元モジュール1の厚みを押えることができ、3次元モジュール1を薄くすることができる。
【0052】
また本実施形態は、突起部74a,74bによって中端72bの高さ位置を調整しているが、中端72bを駆動基板40に接触させず、中端72bを突起部33aに接触でき、高さ位置を調整できるのであれば、突起部74a,74bのどちらかは形成されていなくても良い。
【0053】
次に第2の実施形態の変形例について図8乃至図10を参照して説明する。なお図9では接合部材20や接合電極32等の一部の図示を省略している。
第2の実施形態の導電性応力吸収部材71は、応力吸収部72と突起部33aと導電性固定部73を有しているがこれに限定する必要はない。
【0054】
本変形例における導電性応力吸収部材71は、応力吸収部72と、導電性固定部73と、応力吸収部72と相似な形状を有し、応力吸収部72と対向し、且つ交差する応力吸収部80からなっている。
【0055】
裏面30bには、図9に示すように1対の裏面接合電極81a,81bが駆動電極31の周辺に4組設けられている。
【0056】
各組の一方の裏面接合電極81aは、貫通電極34を介して接合電極32と電気的に接続している。裏面接合電極81bには、突起部82bが予め形成されている。
【0057】
応力吸収部80は、先端80aを超音波振動によって例えば裏面接合電極81aと金属接合させ、一部であり所望する部位(例えば中端80b)を湾曲させ、基端80cを超音波振動によって例えば裏面接合電極81bと金属接合させる。応力吸収部80は、例えばAu線等で形成される配線部材である。
【0058】
詳細には、先端80aが超音波振動によって裏面接合電極81aと金属接合することで、突起部82aが形成される。基端80cは、超音波振動によって突起部82bと金属接合する。中端80bは、3次元モジュール1の厚み方向に湾曲している湾曲部となり、電極基板30と駆動基板40には接しておらず、突起部82a,82bによって高さ位置を調整されている。このように形成された応力吸収部80は、中端80bが湾曲するため、所望する方向に変形可能である。また中端80bが3次元モジュール1の厚み方向に湾曲しているため、応力吸収部80の高さは第1の実施形態における導電性応力吸収部材46の高さに比べて低い。
【0059】
応力吸収部72と応力吸収部80は、交差しているため、例えば中端80bは中端72bと当接する。中端80bと中端72bが交差する交差点75において、導電性固定部73は、応力吸収部72と応力吸収部80を電気的に接続させる。導電性固定部73は、導電性接着剤等からなる。
【0060】
これにより本変形例は、第2の実施形態と同様の効果を得ることができる。また本変形例は、応力吸収部72と応力吸収部80を交差させているため、電極基板30と駆動基板40を容易に接続することができる。
【0061】
本発明は、上記実施形態と変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。
【図面の簡単な説明】
【0062】
【図1】図1は、本発明の第1の実施形態のマイクロミラーチップの斜視図である。
【図2】図2は、本発明の第1の実施形態の3次元モジュールの分解斜視図である。
【図3】図3は、図2に示す3次元モジュールをA−A線断面から見た図であり、詳細には3次元モジュールにおける接合断面図である。
【図4】図4は、第1の実施形態の3次元モジュールの基板反り発生時の接合断面図である。
【図5】図5は、本発明の第2の実施形態の3次元モジュールの分解斜視図である。
【図6】図6は、図5に示す3次元モジュールをB−B線断面から見た図であり、詳細には3次元モジュールにおける接合断面図である。
【図7】図7は、第2の実施形態の3次元モジュールの基板反り発生時の接合断面図である。
【図8】図8は、第2の実施形態における変形例の3次元モジュールの分解斜視図である。
【図9】図9は、応力吸収部と導電性固定部と応力吸収部80の配置を示す図である。
【図10】図10は、図8に示す3次元モジュールをC−C線断面から見た図であり、詳細には3次元モジュールにおける接合断面図である。
【図11】図11は、従来の一実施形態のマルチチップモジュールを示す断面図である。
【符号の説明】
【0063】
1…3次元モジュール、10…マイクロミラーチップ、11…開口部、12…ミラー支持部、13…ヒンジ部、14…可動ミラー部、20…接合部材、21…基板間接合部材、30…電極基板、31…駆動電極、32…接合電極、33…裏面接合電極、33a…突起部、34…貫通電極、40…駆動基板、41…接合電極、42…IC、43…バンプ、44…封止材、45…貫通電極、46…導電性応力吸収部材、48…応力吸収部、50…導電性固定部材、51…突起部、60…応力吸収接合部材。
【技術分野】
【0001】
本発明は、MEMS等の機能素子を実装した3次元モジュールに関する。
【背景技術】
【0002】
MEMS(Micro Electro Mechanical System)等の機能素子を実装したマルチチップモジュールは、例えば特許文献1に開示されている。この特許文献1について、図11を参照して簡単に説明する。チップ上のデバイス(積層DRAM部A、微細受動素子部B、DSP部C及びセンサMEMS部D)が表面に実装された第1基板131〜第4基板134を積層状態に接合して構成され、これら基板には、表裏に貫通して一端がデバイスもしくは多層の配線と接続された貫通配線135が設けられていると共に、下層全ての基板に実装されたデバイスの実装領域に対応して挿通孔136が設けられている。
【0003】
このマルチチップモジュールは、複数のデバイス間の配線構造を容易に、かつ実装デバイスへの影響を抑えて構築されている。
【特許文献1】特開2006−173458号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
このマルチチップモジュールは、図11に示すようにチップ上のデバイスが表面に実装された複数の基板を積層状態に接合して構成されている。また下層の全ての基板には、実装されたデバイスの実装領域に対応して挿通孔、又は切欠き領域が設けられている。これら積層構造や、挿通孔又は切欠き領域は、一方の基板の振動等が他方の基板に影響することや、例えば基板が反ったり歪んだ際に生じる応力等を抑えるために設けられている。このように積層している複数の基板と、各基板間に挿通孔、又は切欠き領域がマルチチップモジュールに配置されるため、マルチチップモジュール全体の実装面積が少なくとも平面方向に大きくなり、モジュールを小型化することが困難である。
【0005】
本発明は、これらの事情に鑑みてなされたものであり、MEMS等の機能素子への影響を抑えることができる小型な3次元モジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、目的を達成するために、機能素子を実装した第1の基板と、他の部品を実装した第2の基板と、を重なるように3次元に積層接合し、前記第1の基板と前記第2の基板を電気的、且つ機械的に接合させる3次元モジュールであって、前記第1の基板と前記第2の基板の間に介在し、前記第1の基板と前記第2の基板を接合させる基板間接合部材は、弾性を有し、前記第1の基板と前記第2の基板を機械的に接合させる応力吸収接合部材と、導電性を有し、前記第1の基板と前記第2の基板を電気的に接続させつつ所望の方向に変形可能な導電性応力吸収部材と、を具備することを特徴とする3次元モジュールを提供する。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、MEMS等の機能素子への影響を抑えることができる小型な3次元モジュールを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0008】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。
図1乃至図4を参照して第1の実施形態について説明する。
図1に示すように第1の部材であるマイクロミラーチップ10は、略中央に配置されている開口部11を有するミラー支持部12と、開口部11に配置され、ミラー支持部12に接続支持される機能素子である可動ミラー部14と、ミラー支持部12と可動ミラー部14を機械的、且つ連続的に接続している支持本体部であるヒンジ部13を有している。
【0009】
ミラー支持部12は、略平面であり、例えば矩形形状を有し、開口部11においてヒンジ部13によって可動ミラー部14を支持するミラー支持部材である。開口部11は、ミラー支持部12の外形と相似する形状、または矩形形状を有していることが好適である。可動ミラー部14は、後述する静電引力によってヒンジ部13を支点として可動する(傾く)。
【0010】
ミラー支持部12と可動ミラー部14とヒンジ部13は、可動ミラー部14がヒンジ部13を支点として可動するため、例えば略10μm〜略20μmという非常に薄い厚みを有している。
【0011】
図2や図3に示すようにマイクロミラーチップ10は、接合部材20を介して電極基板30と接合し、厚み方向にて電極基板30に積層している。図3に示すようにミラー支持部12と電極基板30の間隔は、接合部材20によって所望に保持される。接合部材20は、導電性を有するハンダやAu等である。
【0012】
図2に示すように3次元モジュール1には、図1に示すマイクロミラーチップ10と、電極基板30と、第2の基板である駆動基板40と、が厚み方向に並べられ3次元に積層接合しており、それぞれが電気的且つ機械的に接続されている。マイクロミラーチップ10と、電極基板30と、駆動基板40において、互いに向かい合う面は、平面である。
【0013】
図2に示すように電極基板30の表面30aには、駆動電極31と接合電極32が設けられている。また図3に示すように電極基板30の裏面30bには裏面接合電極33が設けられ、電極基板30には貫通電極34が電極基板30の厚み方向に貫通している。駆動電極31は、可動ミラー部14と対向し、可動ミラー部14を可動させる静電引力を可動ミラー部14に加える。接合電極32は、接合部材20と電気的且つ機械的に接合し、また貫通電極34を介して裏面接合電極33と電気的に接続している。
【0014】
接合部材20はミラー支持部12と接合電極32と接合することで、マイクロミラーチップ10は電極基板30と積層接合する。
【0015】
また電極基板30と駆動基板40の間には、電極基板30と駆動基板40を積層接合させる基板間接合部材21が介在している。基板間接合部材21は、後述する導電性応力吸収部材46と応力吸収接合部材60を有している。
図2と図3に示すように駆動基板40には、裏面接合電極33と対向するように接合電極41が配置されている。接合電極41には、3次元モジュール1の駆動を制御する例えばIC42といった機能素子以外の他の部品がバンプ43を介して実装されている。IC42は、周囲を例えば樹脂などの封止材44によって補強されている。また接合電極41は、駆動基板40を駆動基板40の厚み方向に貫通している貫通電極45と接合している。
【0016】
導電性応力吸収部材46は、導電性を有し、接合電極41と裏面接合電極33の間に設けられ、電極基板30と駆動基板40を電気的に接続させつつ、例えば駆動基板40が熱や外力等によって反ったり歪み、反りや歪みにより駆動基板40に応力が生じた際、この応力を吸収するために所望する方向に変形可能である。
【0017】
導電性応力吸収部材46は、応力吸収部48と、導電性固定部材50を有している。
応力吸収部48は、先端48aを超音波振動によって接合電極41と金属接合させ、一部であり所望する部位(例えば中端48b)を湾曲させ、基端48cを所望する部位(例えば先端48a)と金属接合させることでリング形状を形成しており、例えばAu線等で形成される配線部材である。
【0018】
詳細には、先端48aが接合電極41と金属接合することで、先端48aの一部である突起部51が形成される。上述した基端48cは、この突起部51と金属接合する。中端48bは、3次元モジュール1の平面方向に湾曲している湾曲部となる。このように形成された応力吸収部48は、駆動基板40に応力が生じた際、中端48bを湾曲させて、所望する方向に変形し、応力を吸収する。なお突起部51は、導電性応力吸収部材46(応力吸収部48)の一部である。また応力吸収部48がリング形状を形成し、中端48bが湾曲するならば、基端48cは例えば中端48bといった応力吸収部48の所望する部位と金属接合しても良い。
【0019】
導電性応力吸収部材46は1つの接合電極41に1つ配置される。また導電性応力吸収部材46は、IC42の周囲に近接配置されることが好適である。
【0020】
また導電性固定部材50は、図3に示すように電極基板30側に近接する応力吸収部48の先端(例えば中端48b)と裏面接合電極33を電気的に接続させることで、電極基板30と駆動基板40を電気的に接続させる。導電性固定部材50は、導電性接着剤等からなる。なお導電性固定部材50は、応力吸収部48の電極基板30側に位置する先端と裏面接合電極33を電気的に接続させているが、これに限定される必要はなく、中端48bが湾曲できれば、応力吸収部48の所望する部位と裏面接合電極33を電気的に接続させてもよい。
【0021】
また応力吸収接合部材60は、駆動基板40の外周に配置され、ポリイミドなどの弾性を有し、裏面30bと機械的に接合することで、電極基板30と駆動基板40を機械的に接合させる。また応力吸収接合部材60は、例えば駆動基板40が熱や外力等によって反ったり歪み、反りや歪みにより駆動基板40に応力が生じた際、この応力を吸収するために所望する方向に変形可能である。
【0022】
応力吸収接合部材60は、図2に示すように矩形形状を有する弾性体であり、図3に示すように裏面接合電極33と接合電極41とIC42と導電性応力吸収部材46と突起部51等を囲っている。応力吸収接合部材60は、電極基板30と駆動基板40と略同一、または上述したように裏面接合電極33と接合電極41とIC42と導電性応力吸収部材46と突起部51等を囲っていれば電極基板30と駆動基板40よりも小さくてもよく、またIC42の周囲に近接してもよい。また応力吸収接合部材60は、導電性応力吸収部材46と略同じ高さを有している。
【0023】
応力吸収接合部材60は、導電性応力吸収部材46と同一基板(図1に示す駆動基板40)上に配置される。
【0024】
なお可動ミラー部14は、ミラー支持部12に設置でき、所望のミラー駆動特性を得ることができれば1つに限定する必要はなく、直線(列)状に配設されてもよい。もちろん可動ミラー部14は、複数の列状に配置されても良い。また可動ミラー部14は図1に示す方向とは直交する方向に傾いてもよい。また図1に示す方向に傾く可動ミラー部14と、図1に示す方向と直交する方向に傾く可動ミラー部14が組み合わさっても良い。このように可動ミラー部14の傾き方向は限定されない。
【0025】
また図2に示すようにマイクロミラーチップ10は4つの接合部材20によって電極基板30と接合し、その際、接合部材20は可動ミラー部14の周辺に配置され、接合部材20に対応するように接合電極32と貫通電極34と裏面接合電極33と導電性固定部材50と導電性応力吸収部材46等が設けられている。しかしながら、マイクロミラーチップ10と電極基板30が接合し、電極基板30と駆動基板40が接合し、導電性応力吸収部材46と応力吸収接合部材60が例えば駆動基板40に生じる応力を吸収するのであれば、接合部材20と接合電極32と貫通電極34と裏面接合電極33と導電性固定部材50と導電性応力吸収部材46等の数や配置は限定される必要はない。
【0026】
また導電性応力吸収部材46は、IC42の周辺に4つ配置されているが、電極基板30と駆動基板40を電気的に接続させつつ、例えば駆動基板40に生じる応力を吸収するのであれば、導電性応力吸収部材46の配置や数は限定されない。
【0027】
次に本実施形態の作用について説明する。
マイクロミラーチップ10は、接合部材20によって電極基板30と積層接合する。
IC42は、バンプ43によって接合電極41に実装され、周囲を封止材44によって補強される。
【0028】
先端48aが超音波振動によって接合電極41と金属接合すると、金属接合により接合電極41に突起部51が形成される。次に中端48bが3次元モジュール1の平面方向に湾曲している状態で、基端48cは超音波振動によって突起部51と金属接合する。これにより図3に示すようなリング形状の導電性応力吸収部材46が形成される。このように1つの導電性応力吸収部材46は、接合電極41に1つ配置される。
【0029】
また応力吸収接合部材60が裏面接合電極33と接合電極41とIC42と導電性応力吸収部材46と突起部51等を囲うように駆動基板40の外周に配置され、裏面30bと接合する。また中端48bが導電性固定部材50によって裏面接合電極33と接合する。これにより駆動基板40と電極基板30が電気的且つ機械的に接合する。よってマイクロミラーチップ10と駆動基板40と電極基板30が積層状態で接合し、図3に示すような3次元モジュール1が形成される。
【0030】
3次元モジュール1が実装されている際、または実装された後において、図4に示すように例えば駆動基板40が外力等によって反った際、一般に応力が駆動基板40に生じ、この応力は電極基板30に伝達される。しかしながら導電性応力吸収部材46と応力吸収接合部材60は、反り量に応じて所望する方向に変形し、応力を吸収し、電極基板30に応力が伝達されることを防止(抑制)する。
【0031】
よって可動ミラー部14と駆動電極31の間隔は、接合部材20によって所望に保持される状態を維持する。これによりマイクロミラーチップ10と電極基板30は所望の間隔を維持し、3次元モジュール1は、所望な性能(例えば光学性能)と形状を維持する。なおこの間隔は接合部材20によって所望に調整されるため、3次元モジュール1は間隔に応じて所望な性能(例えば光学性能)と形状を維持することになる。
【0032】
このように本実施形態は、同一基板(図1に示す駆動基板40)上に、且つIC42の近接する周囲に、駆動基板40に生じた応力を吸収するために所望する方向に変形可能な導電性応力吸収部材46と応力吸収接合部材60を配置し、導電性応力吸収部材46と応力吸収接合部材60によって電極基板30と駆動基板40を接合させている。また本実施形態は、1つ導電性応力吸収部材46に対して接合電極41が1つでよく、接合電極41(導電性応力吸収部材46)間や導電性応力吸収部材46と応力吸収接合部材60の間には切欠きや挿通孔などを設けていない。
【0033】
よって本実施形態は、駆動基板40を平面方向に小さくすることができる。これにより本実施形態は、3次元モジュール1の平面方向における実装面積を小さくすることができ、3次元モジュール1を小型にすることができる。
【0034】
また本実施形態は、導電性応力吸収部材46をIC42に近接配置させることで、駆動基板40を小型化することができ、3次元モジュール1を小型にすることができる。
【0035】
また本実施形態は、駆動基板40が反り、応力が駆動基板40に生じた際、導電性応力吸収部材46と応力吸収接合部材60を反り量に応じて変形させ、応力を吸収させ、電極基板30に応力が伝達されることを防止することができる。よって本実施形態は、マイクロミラーチップ10と電極基板30の間隔を所望に維持でき、可動ミラー部14への応力による影響を抑えることができ、3次元モジュール1の所望な性能と形状を維持することができる。
【0036】
次に図5乃至図7を参照して第2の実施形態について説明する。前述した第1の実施形態と同一部位については同符合を付し、その詳細な説明は省略する。
【0037】
駆動基板40には、図5に示すように1対の接合電極70a,70bがIC42の周辺に4組設けられている。接合電極70a,70bは、後述する突起部33aと対向する位置を通る延長線上に配置されている。
【0038】
図6に示すように各組の一方の接合電極70aには、第1の実施形態と同様に3次元モジュール1の駆動を制御するIC42がバンプ43を介して実装されている。また各組の接合電極70aは、駆動基板40を駆動基板40の厚み方向に貫通している貫通電極45と接合している。
【0039】
本実施形態における導電性応力吸収部材71は、導電性応力吸収部材46と同様であり、接合電極70a,70bと裏面接合電極33の間に設けられ、電極基板30と駆動基板40を電気的に接続させつつ、例えば駆動基板40が熱や外力等によって反ったり歪み、反りや歪みにより駆動基板40に応力が生じた際、この応力を吸収するために所望する方向に変形可能である。また導電性応力吸収部材71は、接合電極70a,70bと突起部33aを接続する。
【0040】
導電性応力吸収部材71は、応力吸収部72と、突起部33aと、導電性固定部73を有している。
応力吸収部72は、先端72aを超音波振動によって例えば接合電極70aと金属接合させ、一部であり所望する部位(例えば中端72b)を湾曲させ、基端72cを超音波振動によって例えば接合電極70bと金属接合させる。応力吸収部72は、例えばAu線等で形成される配線部材である。
【0041】
詳細には、先端72aが超音波振動によって接合電極70aと金属接合することで、突起部74aが形成される。また接合電極70bには、突起部74bが予め形成されている。基端72cは、超音波振動によって突起部74bと金属接合する。中端72bは、3次元モジュール1の厚み方向に湾曲している湾曲部となり、駆動基板40には接しておらず、突起部74a,74bによって高さ位置を調整されている。このように形成された応力吸収部72は、中端72bが湾曲するため、所望する方向に変形可能である。また中端72bが3次元モジュール1の厚み方向に湾曲しているため、応力吸収部72の高さは第1の実施形態における導電性応力吸収部材46の高さに比べて低い。なお突起部74a,74bは、導電性応力吸収部材71(応力吸収部72)の一部である。
【0042】
突起部33aは、図6に示すように例えばAuやはんだ等の金属であり、中端72bに対向するように裏面接合電極33に設けられている部材である。
【0043】
導電性固定部73は、突起部33aと中端72bを電気的に接続させる。導電性固定部73は、導電性接着剤等からなる。なお導電性固定部73は、突起部33aと中端72bを電気的に接続させているが、これに限定する必要はなく、中端72bが湾曲できれば、応力吸収部72の所望する部位と突起部33aを電気的に接続させてもよい。
【0044】
また駆動基板40の外周には、ポリイミドなどの弾性を有し、裏面30bと機械的に接合することで、電極基板30と駆動基板40を機械的に接合し、電極基板30と駆動基板40に生じる応力を吸収するために所望する方向に変形可能な応力吸収接合部材60が配置されている。応力吸収接合部材60は、矩形形状を有し、裏面接合電極33とIC42と接合電極70a,70bと導電性応力吸収部材71と突起部33a,74a,74b等を囲っている。応力吸収接合部材60は、これらを囲っていれば電極基板30と駆動基板40よりも小さく、またIC42の周囲に近接してもよい。また応力吸収接合部材60は、導電性応力吸収部材71と略同じ高さを有し、駆動基板40に実装される部品の高さに規制される。
【0045】
応力吸収接合部材60は、導電性応力吸収部材71と同一基板(図5に示す駆動基板40)上に配置される。
【0046】
次に本実施形態の作用について説明する。
第1の実施形態と同様にマイクロミラーチップ10は、接合部材20によって電極基板30と積層接合する。
IC42は、バンプ43によって駆動基板40に配置されている接合電極41に実装され、周囲を封止材44によって補強される。
【0047】
先端72aが超音波振動によって接合電極70aと金属接合すると、金属接合により突起部74aが形成される。次に中端72bが3次元モジュール1の厚み方向に湾曲している状態で、基端72cは超音波振動によって突起部74bと金属接合する。
【0048】
また応力吸収接合部材60が裏面接合電極33とIC42と接合電極70a,70bと導電性応力吸収部材71と突起部33a,74a,74b等を囲うように駆動基板40の外周に配置され、裏面30bと接合する。またその際、中端72bは導電性固定部73によって突起部33aと接合する。これにより駆動基板40と電極基板30が電気的且つ機械的に接合する。よってマイクロミラーチップ10と駆動基板40と電極基板30が積層状態で接合し、図6に示すような3次元モジュール1が形成される。
【0049】
3次元モジュール1が実装されている際、または実装された後において、図7に示すように例えば駆動基板40が外力等によって反った際、一般に応力が駆動基板40に生じ、この応力は電極基板30に伝達される。しかしながら導電性応力吸収部材71と応力吸収接合部材60は、反り量に応じて所望する方向に変形し、応力を吸収し、電極基板30に応力が伝達されることを防止する。
【0050】
よって第1の実施形態と同様にミラー支持部12と電極基板30の間隔は、接合部材20によって所望に保持される状態を維持する。これによりマイクロミラーチップ10と電極基板30は所望の間隔を維持し、3次元モジュール1は、所望な性能(例えば光学性能)と形状を維持する。なおこの間隔は接合部材20によって所望に調整されるため、3次元モジュール1は間隔に応じて所望な性能(例えば光学性能)と形状を維持することになる。
【0051】
このように本実施形態は、上述した第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。また本実施形態は、応力吸収部72を例えばAu線等で形成される配線部材とし、中端72bを3次元モジュール1の厚み方向に湾曲させている。よって本実施形態は、導電性応力吸収部材71の高さを低くすることができるため、電極基板30と駆動基板40の間の間隔を小さくすることができる。つまり本実施形態は、3次元モジュール1の厚みを押えることができ、3次元モジュール1を薄くすることができる。
【0052】
また本実施形態は、突起部74a,74bによって中端72bの高さ位置を調整しているが、中端72bを駆動基板40に接触させず、中端72bを突起部33aに接触でき、高さ位置を調整できるのであれば、突起部74a,74bのどちらかは形成されていなくても良い。
【0053】
次に第2の実施形態の変形例について図8乃至図10を参照して説明する。なお図9では接合部材20や接合電極32等の一部の図示を省略している。
第2の実施形態の導電性応力吸収部材71は、応力吸収部72と突起部33aと導電性固定部73を有しているがこれに限定する必要はない。
【0054】
本変形例における導電性応力吸収部材71は、応力吸収部72と、導電性固定部73と、応力吸収部72と相似な形状を有し、応力吸収部72と対向し、且つ交差する応力吸収部80からなっている。
【0055】
裏面30bには、図9に示すように1対の裏面接合電極81a,81bが駆動電極31の周辺に4組設けられている。
【0056】
各組の一方の裏面接合電極81aは、貫通電極34を介して接合電極32と電気的に接続している。裏面接合電極81bには、突起部82bが予め形成されている。
【0057】
応力吸収部80は、先端80aを超音波振動によって例えば裏面接合電極81aと金属接合させ、一部であり所望する部位(例えば中端80b)を湾曲させ、基端80cを超音波振動によって例えば裏面接合電極81bと金属接合させる。応力吸収部80は、例えばAu線等で形成される配線部材である。
【0058】
詳細には、先端80aが超音波振動によって裏面接合電極81aと金属接合することで、突起部82aが形成される。基端80cは、超音波振動によって突起部82bと金属接合する。中端80bは、3次元モジュール1の厚み方向に湾曲している湾曲部となり、電極基板30と駆動基板40には接しておらず、突起部82a,82bによって高さ位置を調整されている。このように形成された応力吸収部80は、中端80bが湾曲するため、所望する方向に変形可能である。また中端80bが3次元モジュール1の厚み方向に湾曲しているため、応力吸収部80の高さは第1の実施形態における導電性応力吸収部材46の高さに比べて低い。
【0059】
応力吸収部72と応力吸収部80は、交差しているため、例えば中端80bは中端72bと当接する。中端80bと中端72bが交差する交差点75において、導電性固定部73は、応力吸収部72と応力吸収部80を電気的に接続させる。導電性固定部73は、導電性接着剤等からなる。
【0060】
これにより本変形例は、第2の実施形態と同様の効果を得ることができる。また本変形例は、応力吸収部72と応力吸収部80を交差させているため、電極基板30と駆動基板40を容易に接続することができる。
【0061】
本発明は、上記実施形態と変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。
【図面の簡単な説明】
【0062】
【図1】図1は、本発明の第1の実施形態のマイクロミラーチップの斜視図である。
【図2】図2は、本発明の第1の実施形態の3次元モジュールの分解斜視図である。
【図3】図3は、図2に示す3次元モジュールをA−A線断面から見た図であり、詳細には3次元モジュールにおける接合断面図である。
【図4】図4は、第1の実施形態の3次元モジュールの基板反り発生時の接合断面図である。
【図5】図5は、本発明の第2の実施形態の3次元モジュールの分解斜視図である。
【図6】図6は、図5に示す3次元モジュールをB−B線断面から見た図であり、詳細には3次元モジュールにおける接合断面図である。
【図7】図7は、第2の実施形態の3次元モジュールの基板反り発生時の接合断面図である。
【図8】図8は、第2の実施形態における変形例の3次元モジュールの分解斜視図である。
【図9】図9は、応力吸収部と導電性固定部と応力吸収部80の配置を示す図である。
【図10】図10は、図8に示す3次元モジュールをC−C線断面から見た図であり、詳細には3次元モジュールにおける接合断面図である。
【図11】図11は、従来の一実施形態のマルチチップモジュールを示す断面図である。
【符号の説明】
【0063】
1…3次元モジュール、10…マイクロミラーチップ、11…開口部、12…ミラー支持部、13…ヒンジ部、14…可動ミラー部、20…接合部材、21…基板間接合部材、30…電極基板、31…駆動電極、32…接合電極、33…裏面接合電極、33a…突起部、34…貫通電極、40…駆動基板、41…接合電極、42…IC、43…バンプ、44…封止材、45…貫通電極、46…導電性応力吸収部材、48…応力吸収部、50…導電性固定部材、51…突起部、60…応力吸収接合部材。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
機能素子を実装した第1の基板と、他の部品を実装した第2の基板と、を重なるように3次元に積層接合し、前記第1の基板と前記第2の基板を電気的、且つ機械的に接合させる3次元モジュールであって、
前記第1の基板と前記第2の基板の間に介在し、前記第1の基板と前記第2の基板を接合させる基板間接合部材は、
弾性を有し、前記第1の基板と前記第2の基板を機械的に接合させる応力吸収接合部材と、
導電性を有し、前記第1の基板と前記第2の基板を電気的に接続させつつ所望の方向に変形可能な導電性応力吸収部材と、
を具備することを特徴とする3次元モジュール。
【請求項2】
前記導電性応力吸収部材は、
前記第2の基板に配置されている電極に先端を金属接合させ、所望する部位を湾曲させ、基端を所望する部位と金属接合させて、リング形状を形成し、前記第2の基板に応力が生じた際に湾曲している所望する部位を湾曲させて所望する方向に変形し、前記応力を吸収する応力吸収部と、
前記第1の基板に近接する前記応力吸収部の部位と、前記第1の基板に配置されている電極と、を電気的に接続させる導電性固定部と、
を有することを特徴とする請求項1に記載の3次元モジュール。
【請求項3】
前記導電性応力吸収部材は、
前記第2の基板に配置されている1対の電極の一方に先端を金属接合させ、他方に基端を金属接合させ、所望する部位を湾曲させ、前記第2の基板に応力が生じた際に所望する部位を湾曲させて所望する方向に変形させ、前記応力を吸収する応力吸収部と、
前記第1の基板に配置されている電極に配置され、所望する部位に対向する部材と、
前記応力吸収部と前記部材を電気的に接続させる導電性固定部と、
を有することを特徴とする請求項1に記載の3次元モジュール。
【請求項4】
前記応力吸収部は、Au線で形成される配線部材であることを特徴とする請求項2乃至3に記載の3次元モジュール。
【請求項5】
前記導電性応力吸収部材は、
前記第1の基板に配置されている1対の電極の一方に先端を金属接合させ、他方に基端を金属接合させ、所望する部位を湾曲させ、前記第2の基板に応力が生じた際に所望する部位を湾曲させて所望する方向に変形させ、前記応力を吸収する第1の応力吸収部と、
前記第2の基板に配置されている1対の電極の一方に先端を金属接合させ、他方に基端を金属接合させ、所望する部位を湾曲させ、前記第2の基板に応力が生じた際に所望する部位を湾曲させて所望する方向に変形させ、前記応力を吸収し、前記第1の応力吸収部と対向且つ交差している第2の応力吸収部と、
前記第1の応力吸収部と前記第2の応力吸収部が交差する交差部にて、前記第1の応力吸収部と前記第2の応力吸収部を電気的に接続させる導電性固定部と、
を有することを特徴とする請求項1に記載の3次元モジュール。
【請求項6】
前記第1の応力吸収部と前記第2の応力吸収部は、Au線で形成される配線部材であることを特徴とする請求項5に記載の3次元モジュール。
【請求項7】
前記導電性固定部は、導電性接着剤からなることを特徴とする請求項2,3,5に記載の3次元モジュール。
【請求項8】
前記応力吸収接合部材は、前記第1の基板と前記第2の基板と略同一、または前記第1の基板と前記第2の基板よりも小さい矩形形状の弾性体であることを特徴とする請求項2,3,5に記載の3次元モジュール。
【請求項9】
前記応力吸収接合部材は、前記導電性応力吸収部材と略同じ高さを有していることを特徴とする請求項2,3,5に記載の3次元モジュール。
【請求項1】
機能素子を実装した第1の基板と、他の部品を実装した第2の基板と、を重なるように3次元に積層接合し、前記第1の基板と前記第2の基板を電気的、且つ機械的に接合させる3次元モジュールであって、
前記第1の基板と前記第2の基板の間に介在し、前記第1の基板と前記第2の基板を接合させる基板間接合部材は、
弾性を有し、前記第1の基板と前記第2の基板を機械的に接合させる応力吸収接合部材と、
導電性を有し、前記第1の基板と前記第2の基板を電気的に接続させつつ所望の方向に変形可能な導電性応力吸収部材と、
を具備することを特徴とする3次元モジュール。
【請求項2】
前記導電性応力吸収部材は、
前記第2の基板に配置されている電極に先端を金属接合させ、所望する部位を湾曲させ、基端を所望する部位と金属接合させて、リング形状を形成し、前記第2の基板に応力が生じた際に湾曲している所望する部位を湾曲させて所望する方向に変形し、前記応力を吸収する応力吸収部と、
前記第1の基板に近接する前記応力吸収部の部位と、前記第1の基板に配置されている電極と、を電気的に接続させる導電性固定部と、
を有することを特徴とする請求項1に記載の3次元モジュール。
【請求項3】
前記導電性応力吸収部材は、
前記第2の基板に配置されている1対の電極の一方に先端を金属接合させ、他方に基端を金属接合させ、所望する部位を湾曲させ、前記第2の基板に応力が生じた際に所望する部位を湾曲させて所望する方向に変形させ、前記応力を吸収する応力吸収部と、
前記第1の基板に配置されている電極に配置され、所望する部位に対向する部材と、
前記応力吸収部と前記部材を電気的に接続させる導電性固定部と、
を有することを特徴とする請求項1に記載の3次元モジュール。
【請求項4】
前記応力吸収部は、Au線で形成される配線部材であることを特徴とする請求項2乃至3に記載の3次元モジュール。
【請求項5】
前記導電性応力吸収部材は、
前記第1の基板に配置されている1対の電極の一方に先端を金属接合させ、他方に基端を金属接合させ、所望する部位を湾曲させ、前記第2の基板に応力が生じた際に所望する部位を湾曲させて所望する方向に変形させ、前記応力を吸収する第1の応力吸収部と、
前記第2の基板に配置されている1対の電極の一方に先端を金属接合させ、他方に基端を金属接合させ、所望する部位を湾曲させ、前記第2の基板に応力が生じた際に所望する部位を湾曲させて所望する方向に変形させ、前記応力を吸収し、前記第1の応力吸収部と対向且つ交差している第2の応力吸収部と、
前記第1の応力吸収部と前記第2の応力吸収部が交差する交差部にて、前記第1の応力吸収部と前記第2の応力吸収部を電気的に接続させる導電性固定部と、
を有することを特徴とする請求項1に記載の3次元モジュール。
【請求項6】
前記第1の応力吸収部と前記第2の応力吸収部は、Au線で形成される配線部材であることを特徴とする請求項5に記載の3次元モジュール。
【請求項7】
前記導電性固定部は、導電性接着剤からなることを特徴とする請求項2,3,5に記載の3次元モジュール。
【請求項8】
前記応力吸収接合部材は、前記第1の基板と前記第2の基板と略同一、または前記第1の基板と前記第2の基板よりも小さい矩形形状の弾性体であることを特徴とする請求項2,3,5に記載の3次元モジュール。
【請求項9】
前記応力吸収接合部材は、前記導電性応力吸収部材と略同じ高さを有していることを特徴とする請求項2,3,5に記載の3次元モジュール。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【公開番号】特開2009−176947(P2009−176947A)
【公開日】平成21年8月6日(2009.8.6)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2008−14000(P2008−14000)
【出願日】平成20年1月24日(2008.1.24)
【出願人】(000000376)オリンパス株式会社 (11,466)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成21年8月6日(2009.8.6)
【国際特許分類】
【出願日】平成20年1月24日(2008.1.24)
【出願人】(000000376)オリンパス株式会社 (11,466)
【Fターム(参考)】
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