【課題】溶接によって生じるひずみの影響を低下させつつ、構造体と基台が接触することで生じる振動時の騒音を抑制することができる光スキャナの製造方法、および前記光スキャナを提供する。
【解決手段】ミラー部を有する平板状の構造体と、構造体を支持する基台とが準備される（Ｓ１〜Ｓ４）。準備された構造体と基台とを重ねた状態で、構造体と基台とが重なる重複領域の複数点においてレーザスポット溶接が行われることで、構造体が基台に固定される（Ｓ５）。構造体が基台に固定された後に、固定された構造体と基台との隙間に接着剤が充填される（Ｓ６）。隙間に充填された接着剤が硬化されて（Ｓ８）、製造工程は終了する。 （もっと読む）

【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１と、光反射部２１１を備え、かつ所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部２１と、可動部２１に連結し、かつ前記可動部２１の回動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、を有し、可動部２１は、可動部２１の板厚方向からの平面視にて四角形の四隅の部分をそれぞれ矩形に欠いた形状（十字状）をなす。 （もっと読む）

【課題】可動ミラーの傾斜に伴う可動ミラーの変形の発生が防止された光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器１００は、可動ミラー１１０と、可動ミラー１１０を第一の軸１８１まわりに傾斜可能に支持する一対のヒンジ１２０と、ヒンジ１２０をそれぞれ支持する一対の固定部１３０とを有している。可動ミラー１１０とヒンジ１２０と固定部１３０は、第一の軸１８１に直交する第二の軸１８２に沿って整列している。光偏向器１００はさらに、可動ミラー１１０を第一の軸１８１まわりに傾斜させる駆動素子たとえば一対の駆動電極１６０を有している。光偏向器１００はさらに、可動ミラー１１０の傾斜により可動ミラー１１０に生じる変形を緩衝する緩衝部１４０を有している。 （もっと読む）

【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の揺動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、揺動軸まわりに揺動可能な板状の可動板２１と、可動板２１から延出し、かつ可動板２１の揺動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、可動板２１の板面に固着された磁石４１１、４１２と、通電により磁石４１１、４１２に作用する磁界を発生させて可動板２１を揺動させるコイル４２とを有し、可動板２１は、その板厚方向からの平面視にて、揺動軸に対して垂直な方向で両側へ突出する１対の突出部２１５、２１６と、揺動軸に対して平行な方向で両側に突出する１対の突出部２１３、２１４とを有する十字状をなし、磁石４１１、４１２は、突出部２１３、２１４に固着されている。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の鏡面性と製造歩留りに優れたＭＥＭＳ走査型ミラーの製造方法を提供する。
【解決手段】空洞HOが形成されるハンドル層Hと表面が鏡面仕上げされたデバイス層B、Ｔとがシリコン酸化膜を介して接合されたウエハを準備する工程、デバイス層にＭＥＭＳ走査型ミラーの下層構成要素に対応しかつデバイス層に形成すべき下層構造体を形成する工程、下層構造体形成後のウエハのデバイス層にシリコン酸化膜を介して上層のデバイス層を形成するためのウエハを接合する工程、上層のウエハを加工して所定厚さの上層のデバイス層を形成する工程、上層のデバイス層にＭＥＭＳ走査型ミラーの上層構成要素に対応しかつ上層のデバイス層に形成すべき上層構造体を形成する工程、ハンドル層Hに空洞を形成する工程、下層構造体のシリコン酸化膜を除去してＭＥＭＳ走査型ミラーを完成させる工程とからなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は三次元構造体の製造効率の低下を招くことなく、電極パッドをシリコン基板に形成可能な三次元構造体の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の三次元構造体の製造方法は、シリコン基板T、B、Hを用いて形成された三次元微細構造体の電極パッド１６P３、１６P４の形成領域１６P３’、１６P４’に金Ａｕを堆積させる金属堆積工程と、シリコン基板T、B、Hを熱により酸化させて金Ａｕの形成領域以外の表面にシリコンの酸化膜ＳiO₂を形成する酸化膜形成工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１と、光反射部２１１を備え、かつ所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部２１と、可動部２１に連結し、かつ前記可動部２１の回動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、を有し、可動部２１は、可動部２１の板厚方向からの平面視にて四角形の四隅の部分をそれぞれ矩形に欠いた形状（十字状）をなし、連結部２３、２４の回動中心軸に垂直な断面は、可動部２１の第１の面から前記第１の面に対向する第２の面側に向けて幅が漸増する形状をなす。 （もっと読む）

【課題】反射率の減少が防止されたＭＥＭＳ素子およびこれを用いた光スイッチ装置およびディスプレイ装置、ならびにＭＥＭＳ素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】支持層とデバイス層との間に絶縁層が介挿された構造を有し、前記支持層と前記絶縁層とに連通する開口部と、前記開口部に対応した前記デバイス層の領域に前記支持層とは反対側に変位可能に形成されかつ前記支持層側にミラー面を有する複数のマイクロミラー部とを有する本体部と、前記マイクロミラー部を変位させるための電圧を印加する電極が形成された基板と、を備え、前記本体部のデバイス層の表面と前記基板の表面とが接合されており、前記本体部の支持層側の前記開口部から前記マイクロミラー部へ光が入力される。 （もっと読む）

【課題】望ましくない変形の発生を可能な限り妨げることにより、６自由度までの光学素子またはアセンブリの正確な操作を可能とする、光学素子操作装置を提供する。
【解決手段】少なくとも３つのアクチュエータデバイスを介して、構造体について、光学素子を６自由度まで操作する装置であって、各アクチュエータデバイス９が、少なくとも２つの力制御アクチュエータを備え、各力制御アクチュエータが、１自由度の有効な力を生成すると共に、アクチュエータデバイス９の連結点１１が、光学素子７に直接作用する。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】エタロン５(波長可変干渉フィルター)は、固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２と、固定基板５１に設けられた固定反射膜５６と、可動基板５２に設けられ、固定反射膜５６とギャップを介して対向する可動反射膜５７と、固定基板５１に設けられた固定電極５４１と、可動基板５２に設けられ、固定電極５４１と対向する可動電極５４２と、を備え、可動電極５４２の固定電極５４１側の面には可動絶縁膜５４４が積層され、可動電極５４２は圧縮応力を有し、可動絶縁膜５４４は引張応力を有して構成された。 （もっと読む）

【課題】可動基板をエッチングする際の深さ寸法のばらつきを抑制し、保持部の厚み寸法の精度を向上できる干渉フィルターの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の干渉フィルターの製造方法は、固定基板と、可動部５２１および保持部５２２を備えた可動基板５２と、固定反射膜と、可動反射膜５７と、を備える干渉フィルターの製造方法であって、固定基板を製造する固定基板製造工程と、可動基板５２を製造する可動基板製造工程と、固定基板と可動基板５２とを接合する基板接合工程と、を備え、前記可動基板製造工程は、第一母材５２４Ａおよび第二母材５２５Ａを、プラズマ重合膜５２６Ｃを介して接合させる母材接合工程と、プラズマ重合膜５２６Ｃをエッチングストッパーとして、第二母材５２５Ａをエッチングして、保持部５２２を形成する保持部形成工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】干渉フィルターの反射膜間のギャップの変動を防止し、正確な分光特性を測定可能な光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】測色センサー４は、第１基板５１、第１基板５１に対向する第２基板５２、第１基板５１の第２基板５２に対向する面に設けられ固定ミラー、及び第２基板５２に設けられ、固定ミラーと所定のギャップを介して対向する可動ミラーを有するエタロン５と、エタロン５を透過した検査対象光を受光する受光素子４２と、エタロン５を保持する保持部材４３とを備える。エタロン５は、基板厚み方向に見る平面視において、第１基板５１及び第２基板５２が対向する光干渉領域Ａｒ１と、光干渉領域Ａｒ１から突出した突出領域Ａｒ２とを備える。保持部材４３は、突出領域Ａｒ２における、光干渉領域Ａｒ１とは反対側の一端側において、エタロン５を保持する。 （もっと読む）

【課題】分解能の低下を抑制できる光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】測色センサーは、固定反射膜５６を有する固定基板５１、固定基板５１に対向し、可動反射膜５７を有する可動基板５２、および固定基板５１に設けられた第一電極５４４を備えた波長可変干渉フィルター５と、モジュール基板３０と、波長可変干渉フィルター５およびモジュール基板３０を接合する異方性導電層３０１を備え、固定基板５１は、モジュール基板３０に対向する固定対向電極５１６Ａと、第一電極５４４および固定対向電極５１６Ａを電気的に接続する導電接続部５１６と、を有し、モジュール基板３０は、固定対向電極５１６Ａに対向するモジュール電極３０２を有し、異方性導電層３０１は、固定対向電極５１６Ａと、モジュール電極３０２とを導通させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高い共振周波数で駆動を行った場合であっても、非線形線振動の発生を低減しつつ、発生する応力を低減させ、ミラーの変形を防ぐことができる光走査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ミラー支持部２０を軸方向両側から捻れ梁３０により支持し、該捻れ梁３０の捻れにより前記ミラー支持部２０を軸周りに揺動させて駆動する光走査装置であって、
前記捻れ梁３０には、前記軸方向に略平行なスリット３１が設けられたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】梁部に高い振動疲労特性と揺動部に高剛性を持たせつつ小型化された振動素子を提供する。
【解決手段】振動素子は、基体３と、前記基体３から梁状に設けられた梁部２と、前記梁部２の前記基体３側とは反対の側に設けられたミラー部４とを備え、前記揺動部４の少なくとも一部及び前記梁部２は金属ガラスで一体に形成される。次に、真空中でＹＡＧレーザ１０を振動素子のミラー部４に照射して局所的な構造緩和を行う。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減させた波長可変干渉フィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】第一基板１２と、第二基板１１と、第一反射膜１７と、第二反射膜１６と、第一反射膜１７と第二反射膜１６とのギャップＧの大きさを変えることができるギャップ変更部１４と、を備え、第一基板１２は、第一反射膜１７が設けられた可動部１２１と、可動部１２１の厚み寸法よりも小さい厚み寸法に形成され可動部１２１を第二基板１１に対して進退移動可能に保持する保持部１２２と、を有する波長可変干渉フィルター１の製造方法であって、第一基板１２に第一反射膜１７及びギャップ変更部１４を形成する第一基板製造工程と、第二基板１１に前記第二反射膜１６及びギャップ変更部１４を形成する第二基板製造工程と、第一基板１２の温度を第二基板１１の温度よりも高くした状態で、第一基板１２と第二基板１１とを接合する接合工程と、を実施する。 （もっと読む）

【課題】往復振動するミラー基板を有するマイクロミラー装置において、ミラー基板の重畳増加を最小限に抑えつつ剛性を向上させて、ミラー基板を高速で往復振動させた場合でも、該ミラー基板の動的変形を確実に防止する。
【解決手段】ミラー基板１０３は、一対の捻り梁１０２で揺動可能に支持され、該捻り梁１０２をねじり回転軸として往復振動する。このミラー基板１０３の光反射面とは反対側の裏面に、該ミラー基板１０３の動的変形を抑えるための構造補強部材１０４を設け、これを三次元規則配列多孔体で構成する。三次元規則配列多孔体は、多数の微粒子による最密充填構造体を形成した後に、前記微粒子とは異なる材料からなる物質を空隙に充填して固化し、その後、微粒子を選択的に除去することによって、該微粒子の占めていた領域が空隙として残された構造のいわゆるインバースオパール構造体である。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供する。
【解決手段】エタロン５（波長可変干渉フィルター）は、固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２と、固定基板５１に設けられた固定反射膜５６と、可動基板５２に設けられ、固定反射膜５６とギャップを介して対向する可動反射膜５７と、固定基板５１に設けられた固定電極５４１と、可動基板５２に設けられ、固定電極５４１と対向する可動電極５４２と、を備え、可動電極５４２は、圧縮応力を有する圧縮電極層と、引張応力を有する引張電極層と、が積層されて構成された。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の重量増加を最小限に抑えつつ、ミラー部の剛性を高め、ミラーが往復振動した場合でも反りや変形が生じることを防止できるマイクロミラー装置を実現する。
【解決手段】対向する一対の捻り梁によって往復振動可能な状態でフレーム部材に連結されたミラー基板と、該ミラー基板に対して前記捻り梁を回転中心として往復振動させるための駆動手段を有するマイクロミラー装置において、前記ミラー基板101は、少なくとも応力制御の機能を有する応力制御層102と、反射層103と、増反射機能を有する増反射膜104を備え、前記応力制御層102は、引っ張り応力を有する層102-aと圧縮応力を有する層102-bとを交互に積層した多層構造であることを特徴とするので、質量の増加を最低限に抑えつつ剛性を高めることができ、ミラーの平坦性の確保や往復振動時の変形を効果的に抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】ガルバノミラーを高速かつ高精度に位置決めする。
【解決手段】ガルバノスキャナは、ガルバノミラーと揺動機構とシャフトと軸受けと半円状板とを備え、前記揺動機構は、前記半円状板の表裏面に取り付けられた１対の可動子ユニットと、前記１対の可動子ユニットを挟むように配された１対の固定子ユニットとを有し、前記揺動機構は、前記半円状板を介して前記ガルバノミラーを揺動させる際に、前記１対の可動子ユニットと前記１対の固定子ユニットとの間における反射面の面外方向の磁気的力が排除されるように磁気的力の主方向が前記反射面の面内方向及び回転軸に沿った方向と平行になるとともに、磁気的力を相殺するように、前記１対の固定子ユニットが前記１対の可動子ユニットを挟むように配された状態が維持される。 （もっと読む）