【課題】構造体において発生する不要な周波数の振動を低減することができる光スキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、構造体２、圧電素子５、基台４、および突出部４４を備える。構造体２は、ミラー部２１、一対の捩れ梁部２２、および本体部２３を有する。ミラー部２１は、揺動軸Ｏを中心として揺動可能に支持される。一対の捩れ梁部２２は、ミラー部２１を揺動可能に支持する。本体部２３には、一対の捩れ梁部２２の各々のうち、ミラー部２１に接続する端部とは反対側の端部が接続される。圧電素子５は、本体部２３の一方の板面に接合され、ミラー部２１を共振揺動させるための振動力を発生させる。突出部４４は、基台４から突出し、本体部２３のうち圧電素子５が接合される板面の反対側の板面に固定される。 （もっと読む）

【課題】可動部上にミラー等の反射膜が形成されるアクチュエータを、反射膜の損傷を適切に抑制又は防止しながら製造する。
【解決手段】
反射膜（１７０）が形成される可動部（１２０）と、可動部を取り囲む支持部（１１０）と、可動部が揺動可能なように可動部と支持部とを接続するトーションバー（１３０）とを備えるアクチュエータの製造方法は、基板（２０１）上に可動部、支持部及びトーションバーを形成する第１工程（Ｓ１０６）と、可動部上に、反射膜を形成する第２工程（Ｓ１０５）と、可動部のうち反射膜が形成される側に、(i)反射膜の表面から突き出る高さを有し且つ(ii)他の構造物が反射膜に接触することを抑制する突起部（１８０）を形成する第３工程（Ｓ１０３）とを備える。 （もっと読む）

【課題】広い波長帯域の光から特定の波長を抽出可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、第一反射膜５５１及び第三反射膜５５３を有する第一基板５１と、第一反射膜５５１に第一ギャップＧ１を介して対向する第二反射膜５５２を有する第二基板５２と、第三反射膜５５３に第二ギャップＧ２を介して対向する第四反射膜５５４を有する第三基板５３と、第一ギャップＧ１を変更する静電アクチュエーター５６とを備え、平面視において各反射膜が重なる光干渉領域Ａｒ０を有し、第一及び第二反射膜５５１，５５２により構成される波長可変干渉部５７の複数の測定対象波長域のうちいずれか１つは、第三及び第四反射膜５５３，５５４により構成される波長固定干渉部５８の複数の透過可能波長域のうちのいずれか１つと重なる。 （もっと読む）

【課題】可動部上にミラー等の反射膜が形成されるアクチュエータを、反射膜の損傷を適切に抑制又は防止しながら製造する。
【解決手段】
反射膜（１７０）が形成される可動部（１２０）と、可動部を取り囲む支持部（１１０）と、可動部が揺動可能なように可動部と支持部とを接続するトーションバー（１３０）とを備えるアクチュエータの製造方法は、基板（２０１）上に可動部、支持部及びトーションバーを形成する第１工程（Ｓ１０６）と、可動部上に、反射膜を形成する第２工程（Ｓ１０５）と、可動部のうち反射膜が形成される側に、(i)反射膜の表面から突き出る高さを有し且つ(ii)他の構造物が反射膜に接触することを抑制する突起部（１８０）を形成する第３工程（Ｓ１０３）とを備える。 （もっと読む）

【課題】波長可変干渉フィルターにおける接続信頼性が高い分光測定装置を提供する。
【解決手段】分光カメラは、測定対象光が入射するテレセントリック光学系１１と、測定対象光のうち赤外光を第一光路Ｌ１に分離し、可視光を第二光路Ｌ２に分離する第一ダイクロイックミラー１２１と、第一光路Ｌ１内に配設され、固定反射膜を備えた固定基板、可動反射膜を備えた可動基板、及び電圧印加により可動基板を撓ませて反射膜間ギャップのギャップ量を変化させる静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター５と、第一光路Ｌ１の赤外光及び第二光路Ｌ２の可視光を射出光路Ｌ３に射出する第二ダイクロイックミラー１２６と、測定対象光を撮像する撮像部１３とを具備した。 （もっと読む）

【課題】磁石の剥離を防止することができ、磁路を設けることで磁石に作用する磁界の磁束密度を高くすることができ、可動部を第１の軸の周りに回動（搖動）させることのできるミラーデバイス、ミラーデバイスの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス１は、光反射性を有する光反射部１２を備える可動板１１と、１対の軸部材１３ａ、１３ｂと、可動板１１に設けられ、両極が第１の軸を挟んで配置された永久磁石２０と、可動板１１と永久磁石２０との間に介在して可動板１１と永久磁石２０とを接合し、半田で構成された半田層２１と、可動板１１と半田層２１との間に介在し、可動板１１よりも半田の濡れ性が高く、軟磁性体を含む下地層２２とを備え、可動板１１の平面視で、下地層２２は、永久磁石２０を包含し、下地層２２の少なくとも一部が永久磁石２０から突出している。 （もっと読む）

【課題】性能の劣化を生じることなく、走査光の走査量を正確に測定することが可能であり、かつ小型で安価な光走査装置を提供する。
【解決手段】複数の光学素子１と、該光学素子を保持するホルダ２と、ホルダ２を光学素子１の光軸に垂直な方向に移動可能に支持する支持手段３，４，５，６と、ホルダ２を光学素子１の光軸に垂直な方向に移動させる駆動手段と、発光素子とを備え、前記発光素子からの光が光学素子１を透過し、光学素子１を移動させることにより、透過光を走査して照射する光走査装置において、
支持手段が、複数の山と谷を有する波板状に形成されたバネ構造体であり、
山と谷の高さ方向が、ホルダ２の光学素子１を搭載した面と平行になるように配置された第１のバネ構造体３，５と、垂直になるように配置された第２のバネ構造体４，６とからなることを特徴とする光走査装置である。 （もっと読む）

【課題】フィルタ特性の中心波長ずれを修正可能な波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長選択スイッチ３００は、波長多重された光信号が入力される入力ポート３０１と、光信号が出力される出力ポート３０２と、光信号を分波および合波する分波合波器３０４と、光信号を波長ごとに偏向し得る光偏向器アレイ３０６と、入力ポート３０１と出力ポート３０２を分波合波器３０４と光偏向器アレイ３０６を介して結合させる光学部材３０３を有している。光偏向器アレイ３０６は、分波合波器３０４の分波方向に配列された複数の光偏向器３０５と、光偏向器３０５から外れた光信号を受光しその光量を反映した電気信号を出力する光検出部３０７を有している。波長選択スイッチ３００はさらに、光偏向器アレイ３０６の位置を変更し得る位置変更部３０９と、光検出部３０７による検出結果に基づいて位置変更部３０９をサーボ制御する制御部３０８を有している。 （もっと読む）

【課題】マイクロミラー装置およびマイクロミラーアレイのフィルファクタを向上させる
。
【解決手段】電極１５−１〜１５−４は、可動梁１２−１〜１２−４に対向して配置され
る。これにより、固定電極をミラーに対向して配置したするよりも、各ミラー１４を高密
度に配置することができるので、結果として、フィルファクタを向上させることができる
。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化および低コスト化を図りつつ、第２の軸部材に複合応力が生じることを防止または抑制することができ、可動板を第１の軸および第１の軸に直交する第２の軸の周りに回動（搖動）させることのできるミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス１は、枠状部材１４と、１対の第２の軸部材１５ａ、１５ｂと、光反射性を有する光反射部１２を備える可動板１１と、１対の第１の軸部材１３ａ、１３ｂと、枠状部材１４に設けられ、長手形状をなす第２永久磁石２０ａと、可動板１１に設けられ、長手形状をなす第１永久磁石２０ｃとを備え、第２永久磁石２０ａは、その軸線が第２の軸部材１５ａ、１５ｂの軸線に対して直交するように配置され、第１永久磁石２０ｃは、その軸線が第１の軸部材１３ａ、１３ｂの軸線に対して傾斜するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化および低コスト化を図りつつ、駆動の際、可動板に撓みが生じることを防止または抑制することができ、可動板を第１の軸および第１の軸に直交する第２の軸の周りに回動（搖動）させることのできるミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス１は、枠状部材１４と、１対の第２の軸部材１５ａ、１５ｂと、光反射性を有する光反射部１２を備える可動板１１と、１対の第１の軸部材１３ａ、１３ｂと、枠状部材１４に設けられ、長手形状をなす第２永久磁石２０ａ、２０ｂと、可動板１１に設けられ、長手形状をなす第１永久磁石２０ｃとを備え、第２永久磁石２０ａ、２０ｂは、その軸線が第２の軸部材１５ａ、１５ｂの軸線に対して傾斜するように配置され、第１永久磁石２０ｃは、その軸線が第１の軸部材１３ａ、１３ｂの軸線に対して直交するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成によって櫛歯電極間に精度よく段差構造が形成され、かつ、全体の小型化を可能とするマイクロスキャナを提供すること。
【解決手段】反射ミラー（１０）の自由端に形成された第１の櫛歯電極（１３ａ，１３ｂ）と、第１の櫛歯電極（１３ａ，１３ｂ）と対向し互いの櫛歯が交互に噛み合うように配置された第２の櫛歯電極（１５ａ，１５ｂ）と、第２の櫛歯電極（１５ａ，１５ｂ）と梁（１８）を介して結合された接触部（１９）と、接触部（１９）の上部または下部の少なくとも一方と向かい合う位置に固定配置された電極部（２０）と、を有し、接触部（１９）と電極部（２０）との間に静電引力を発生させて、接触部（１９）を変位させる構成とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成によって櫛歯電極間に精度よく段差構造が形成され、かつ、全体の小型化を可能とするマイクロスキャナを提供すること。
【解決手段】反射ミラー（１０）の自由端に形成された櫛歯電極を有する第１の櫛歯部（１３ａ，１３ｂ）と、第１の櫛歯部（１３ａ，１３ｂ）と対向し互いの櫛歯が噛み合うように配置された櫛歯電極を有する第２の櫛歯部（１５ａ，１５ｂ）と、反射ミラー（１０）および第２の櫛歯部（１５ａ，１５ｂ）の一方の面に対向するようにスペースを開けて配置された透光性基板（２２）と、透光性基板（２２）を固定端として第２の櫛歯部（１５ａ，１５ｂ）の一部であって第２のトーションバー（１６）の軸から外れた位置を押圧する押圧部材（２３）と、具備する構成とする。 （もっと読む）

【課題】センサ配線のノイズを低減し、ミラーの傾きを高精度に検出することが可能な光走査装置及び光走査制御装置を提供することを目的としている。
【解決手段】ミラー及び前記ミラー支持部を挟むように対をなして設けられた第１の駆動梁と、第１の駆動梁の片側を前記捻れ梁と連結する連結梁と、連結梁上に形成されており、第１の駆動梁に駆動電圧が印加されて前記ミラーが揺動しているとき、捻れ梁の軸周りの揺動による連結梁の変位を検出する第１の圧電センサを有し、第１の圧電センサ手段は、上部電極配線がミラー及びミラー支持部を挟む一方の第１の駆動梁に向かって引き出され、下部電極配線がミラー及びミラー支持部を挟む他方の第１の駆動梁に向かって引き出される。 （もっと読む）

【課題】本発明によれば、第１の揺動軸を中心として揺動し得るように構成されたサポートフレーム、及びサポートフレームに固定されたミラーを備えた可動部材であり、サポートフレームの揺動によりミラーが揺動される、可動部材と、サポートフレームと共働するコイルと、サポートフレームとミラーとの間に設けられ、サポートフレームが第１の揺動軸を中心として揺動する際にサポートフレームの縁部からミラーに伝達されるワープの影響を低減させる境界部分とを具備し、サポートフレームが切欠領域をさらに備え、切欠領域が、
【解決手段】サポートフレームが第１の揺動軸を中心として揺動する際にコイルに対する応力を低減させるように、及び／又は前記アクチュエータの特性の中の温度依存性を低減させるように、コイルの少なくとも一部分に対して平行となるように構成されるアクチュエータが、提供される。 （もっと読む）

【課題】２軸動作が可能なミラー素子をより小さな領域により多く配列できるようにする。
【解決手段】基板１０１の上に離間して配置されたミラー１０２と、ミラー１０２の一端を１つの連結部１０３を介して連結して基板１０１の上で支持する第１支持部１０４と、ミラー１０２を挟んで第１支持部１０４に対向する第２支持部１０５と、第２支持部１０５に一端が支持されて他端がミラー１０２の他端に各々１つの連結部１０６ａ，１０６ｂを介して連結する２つの第１可動梁１０７および第２可動梁１０８と、第１可動梁１０７のミラー１０２側の他端を基板１０１より離れる方向および基板１０１に近づく方向の選択された第１方向に変位させるための第１駆動電極１０９と、第２可動梁１０８のミラー１０２側の他端を上記第１方向に変位させるための第２駆動電極１１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】ミラーアレイの構成を簡略化する。
【解決手段】ミラーアレイ１００は、ベース部２と、ベース部２に支持された複数のミラー１１０と、ミラー１１０に連結されてミラー１１０を駆動する複数のアクチュエータ１，１とを備え、ミラー１１０を互いに直交する主軸Ｘ及び副軸Ｙ回りに回動させる。アクチュエータ１は、副軸Ｙ方向に延びるアクチュエータ本体３と、アクチュエータ本体３の表面３１に積層された圧電素子４とを有し、圧電素子４を伸縮させることによってアクチュエータ本体３を傾動させるように構成されている。各ミラー１１０には、副軸Ｙを挟んで並ぶ２つのアクチュエータ１，１が主軸Ｘに対して一方の側だけに設けられている。 （もっと読む）

【課題】小型化可能であり、且つ、チャネルごとの透過帯域の幅が一定な波長選択スイッチを提供すること。
【解決手段】本発明に係る波長選択スイッチは、入出力ファイバアレイと、合分波用回折格子と、集光レンズと、複数のＭＥＭＳミラーから成るＭＥＭＳミラーアレイとを備える。前記ＭＥＭＳミラーアレイにおいて、隣接するＭＥＭＳミラー間の各ミラーピッチは、波長分散方向に沿って短波側から長波側へ進むにつれて増加する。前記波長選択スイッチにおいて、前記複数のＭＥＭＳミラーのうち最も短波側のＣＨに対応するＭＥＭＳミラー上に入射した信号光の径は、他の全てのＣＨに対応する複数のＭＥＭＳミラー上に入射した信号光の径より小さいことを特徴とする。 （もっと読む）